【課題】基板上に成膜したＷ膜の膜厚面内均一性を向上させることが可能であり、さらにはパーティクルの発生を減少させることが可能なＷスパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】Ｗスパッタリングターゲットは、スパッタリングされる面のＸ線回折により求められた結晶面（１１０）及び（２００）の結晶方位比率（１１０）／（２００）が０．１〜６．５であることを特徴とする。また、本発明の高純度Ｗスパッタリングターゲットの製造方法は、高純度Ｗ粉末を加圧焼結後、得られた焼結体をターゲット形状に加工後、ロータリー研磨およびポリッシングの少なくとも１種の研磨を施し、さらにエッチングおよび逆スパッタリングの少なくとも１種の研磨を施すことにより仕上げ加工することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜したＷ膜の膜厚面内均一性を向上させることが可能であり、さらにはパーティクルの発生を減少させることが可能なＷスパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】Ｗスパッタリングターゲットは、スパッタリングされる面のＸ線回折により得られた結晶面（１１０）のピークの半値幅が０．３５以下であることを特徴とする。また、本発明の高純度Ｗスパッタリングターゲットの製造方法は、高純度Ｗ粉末を加圧焼結後、得られた焼結体をターゲット形状に加工後、ロータリー研磨およびポリッシングの少なくとも１種の研磨を施し、さらにエッチングおよび逆スパッタリングの少なくとも１種の研磨を施すことにより仕上げ加工することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜したＷ膜の膜厚面内均一性を向上させることが可能であり、さらにはパーティクルの発生を減少させることが可能なＷスパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】Ｗスパッタリングターゲットは、スパッタリングされる面のＸ線回折により得られた結晶面（１１０）のピークの半値幅が０．３５以下であることを特徴とする。また、本発明の高純度Ｗスパッタリングターゲットの製造方法は、高純度Ｗ粉末を加圧焼結後、得られた焼結体をターゲット形状に加工後、ロータリー研磨およびポリッシングの少なくとも１種の研磨を施し、さらにエッチングおよび逆スパッタリングの少なくとも１種の研磨を施すことにより仕上げ加工することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空成膜装置で内部応力が大きい薄膜を成膜する際に、成膜工程中に付着する成膜材料の剥離を安定かつ有効に防止し、装置クリーニングや部品の交換などに伴う生産性の低下や成膜コストの増加を抑える。
【解決手段】Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｇ、ＡｕおよびＩｎから選ばれる金属元素の単体、もしくは前記金属元素を含む合金または化合物の薄膜を成膜する真空成膜装置の構成部品の製造方法であって、部品本体の表面にＣｕの含有比率が６５〜９５質量％の範囲のＣｕ−Ａｌ合金からなるＣｕ−Ａｌ合金膜を形成する工程と、前記Ｃｕ−Ａｌ合金膜に１．３３×１０^−３Ｐａ以下の真空雰囲気中で３００〜８００℃の温度でアニール処理を行う工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】液体燃料を収容する燃料タンクの姿勢に応じて、燃料タンク内に残存する液体燃料の残存量を出力する燃料電池を提供する。
【解決手段】 発電部と、前記発電部に供給される液体燃料を収容する燃料タンクと、前記燃料タンクに収容された液体燃料の液面を検出し、検出した液面に対応した液面検出値を出力する液面検出手段と、前記燃料タンクが所定の検出姿勢であるか否かを検出し、検出した姿勢に対応した姿勢検出信号を出力する姿勢検出手段と、を具備したことを特徴とする燃料電池。 （もっと読む）

【課題】真空成膜装置で内部応力が大きい薄膜を成膜する際に、成膜工程中に付着する成膜材料の剥離を安定かつ有効に防止し、装置クリーニングや部品の交換などに伴う生産性の低下や成膜コストの増加を抑える。
【解決手段】Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｇ、ＡｕおよびＩｎから選ばれる金属元素の単体、もしくは前記金属元素を含む合金または化合物の薄膜を成膜する真空成膜装置の構成部品１を製造する方法であって、部品本体２の表面に膜厚が300μm以上のＣｕ溶射膜３を形成する工程と、表面に前記Ｃｕ溶射膜３が形成された部品を、真空雰囲気中で加熱するアニーリング工程と、前記アニーリング工程後、水素雰囲気中にて前記加熱温度より低い温度で前記部品を還元する還元処理工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】Ｃｕのセルフイオンスパッタ法を適用する場合において、プラズマ状態を安定させて長時間にわたって自己維持放電を持続させることを可能にしたＣｕスパッタリングターゲットが求められている。
【解決手段】高純度Ｃｕからなるスパッタリングターゲットを用い、Ｃｕのセルフイオンスパッタ法によりＣｕ膜を製造するＣｕ膜の製造方法であって、前記高純度ＣｕはＡｇおよびＡｕから選ばれる少なくとも１種の元素を含有し、かつ前記ＡｇおよびＡｕの合計含有量が０．００５〜５００ｐｐｍの範囲であり、前記ＡｇおよびＡｕから選ばれる少なくとも１種の元素の含有量のバラツキがターゲット全体として±３０％以内である。 （もっと読む）

【課題】流路の閉塞を抑制し、且つ、シール性に優れたジョイント部材及び燃料電池を提供する。
【解決手段】燃料を収容するとともに燃料を排出するための燃料排出口を有する燃料タンクと、アノード、カソード、及び、アノードとカソードとの間に挟持された電解質膜を含んだ膜電極接合体と、燃料タンクから供給された燃料を注入するための燃料注入口と、を有する燃料電池本体と、燃料排出口と燃料注入口とにそれぞれ挿入されたジョイント部材と、を備え、ジョイント部材は、管状の剛体によって形成された連通管と、連通管よりも弾性を有する管状の弾性体によって形成され連通管の外周面をカバーするとともに連通管の外周面における一端部から外側に向かって突出し且つ燃料排出口の内面に密着したリング状の第１リップ部と、連通管の外周面における他端部から外側に向かって突出し且つ燃料注入口の内面に密着したリング状の第２リップ部と、を有するカバー部材と、を備えたことを特徴とする燃料電池。 （もっと読む）

【課題】安定して高い出力を得ることが可能な燃料電池を提供することを目的とする。
【解決手段】 電解質膜をアノードとカソードとで挟持した膜電極接合体と、前記膜電極接合体のアノード側に配置されアノードに向けて燃料を供給する燃料供給機構と、複数の開口部が形成されるとともに前記膜電極接合体のカソード側に配置され前記燃料供給機構との間に前記膜電極接合体を保持するカバープレートと、を有する燃料電池本体と、複数の貫通孔が形成され、前記燃料電池本体のカソード側の少なくとも一部を覆うとともに前記カバープレートから離間した放熱体と、を備えたことを特徴とする燃料電池。 （もっと読む）

【課題】出力性能に優れた燃料電池を提供する。
【解決手段】アノード触媒層８、及び、前記アノード触媒層８の一方の面に面して設けられたアノードガス拡散層９を含むアノード５と、カソード触媒層１１、及び、前記カソード触媒層１１の一方の面に面して設けられたカソードガス拡散層１２を含むカソード６と、前記アノード触媒層８及び前記カソード触媒層１１の間に配置された電解質膜７とを含む膜電極接合体１を備え、前記アノード５及び前記カソード６は、下記（１）〜（３）式を満たす。０．１９≦（Ｗ_c／Ｗ_a）≦１．２（１）０．１≦（Ｔ_c／Ｃ_d）≦０．５（２）０．１≦（Ｔ_a／Ａ_d）≦０．６（３）但し、Ｗcは前記カソード触媒層１１の貴金属目付け量、Ｗaは前記アノード触媒層８の貴金属目付け量で、Ｃdは前記カソード６の厚さで、Ｔcは前記カソード触媒層１１の厚さで、Ａdは前記アノード５の厚さで、Ｔaは前記アノード触媒層８の厚さを示す。 （もっと読む）