【課題】単結晶炭化ケイ素の液相エピタキシャル成長に要するコストを低減する。
【解決手段】フィード材１１及びシード材１２のそれぞれは、結晶多形が３Ｃである多結晶炭化ケイ素を含む表層を有する。フィード材１１及びシード材１２のそれぞれにおいて、表層の励起波長を５３２ｎｍとするラマン分光解析によって、結晶多形が３Ｃである多結晶炭化ケイ素に由来のＬ０ピークが観察される。Ｌ０ピークの９７２ｃｍ^−１からのシフト量の絶対値は、フィード材１１の方がシード材１２よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】安価な炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材を提供する。
【解決手段】単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材１２は、結晶多形が３Ｃである多結晶炭化ケイ素を含む表層を有する。表層のＸ線回折により、結晶多形が３Ｃである多結晶炭化ケイ素に対応した回折ピークとして、（１１１）結晶面に対応した１次回折ピークが観察され、（１１１）結晶面に対応した１次回折ピークの回折強度の１０％以上の回折強度を有する他の１次回折ピークが観察されない。 （もっと読む）

【課題】安価な単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材を提供する。
【解決手段】単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材１２は、結晶多形が３Ｃである多結晶炭化ケイ素を含む表層を有する。表層の励起波長を５３２ｎｍとするラマン分光解析によって、結晶多形が３Ｃである多結晶炭化ケイ素に由来のＬ０ピークが観察される。Ｌ０ピークの９７２ｃｍ^−１からのシフト量の絶対値が４ｃｍ^−１以上である。 （もっと読む）

【課題】炭化ケイ素エピタキシャル成長速度を高くできる単結晶炭化ケイ素エピタキシャル成長用フィード材を提供する。
【解決手段】単結晶炭化ケイ素エピタキシャル成長用フィード材１１は、結晶多形が３Ｃである多結晶炭化ケイ素を含む表層を有する。表層のＸ線回折により、（１１１）結晶面に対応した回折ピークが観察される。表層のＸ線回折により観察される（１１１）結晶面のうち、配向角度が６７．５°以上であるものの占める割合が８０％未満である。 （もっと読む）

【課題】タンタル容器の各箇所における浸炭処理の厚みを容易に制御することができ、均一な厚みで浸炭処理することができるタンタル容器の浸炭処理方法を提供する。
【解決手段】タンタルまたはタンタル合金からなるタンタル容器１に炭素を浸透させる浸炭処理方法であって、タンタル容器１を、チャンバー３内に設けられた支持部材５，６で支持し、チャンバー３内に配置する工程と、チャンバー３内を減圧及び加熱する工程とを有し、浸炭処理されにくい箇所の近傍に炭素源を設けることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ルツボ回転軸から炉外への熱逃げを抑制することができ、しかも、製造コストを安価に抑えることのできる金属単結晶引上げ装置を提供する。
【解決手段】単結晶引き上げ装置１は、シリコン体融液３を収納する石英ルツボ２と、石英ルツボ２を保持する黒鉛ルツボ４と、黒鉛ルツボ４を下部で固定保持するための受け皿５と、受け皿５を下部で支持し受け皿５及びルツボ２，４を回転させながら昇降させるルツボ回転軸６とを備えている。受け皿５とルツボ回転軸６との接合面には、低熱伝導部材１０が介在されている。低熱伝導部材１０は略管状に形成されており、低熱伝導部材１０の中央孔をルツボ回転軸６の凸部が挿通した状態で介在配置されている。これにより、受け皿５の底部下側に空隙部１１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】表面の親水性に優れ、摺動抵抗が小さいダイヤモンド状炭素被膜及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ケイ素を含むダイヤモンド状炭素被膜であって、表面エネルギーが３５ｍＪ／ｍ^２以上であることを特徴としており、ダイヤモンド状炭素被膜中におけるケイ素含有量は、３原子％以上であることが好ましく、スパッタリング法により形成することができる。 （もっと読む）

【課題】ある程度の低灰分化を図りつつ可撓性の低下を抑制することにより、所望の形状に成型する際、表面にひび割れが生じたり、欠けが生じることを抑制することにより、品質と歩留りとを飛躍的に向上させることができる膨張黒鉛シートを提供することを目的としている。
【解決手段】板状の膨張黒鉛シート３の一端が固定される回転体２と、上記膨張黒鉛シート３の他端に固定される錘７と、上記回転体２を回動した場合の上記膨張黒鉛シート３の曲げ位置を決定する曲げ位置決定部材５とを有する可撓性測定装置を用いた場合に、上記膨張黒鉛シート３の折り曲げ可能な回数を可撓性とする可撓性測定試験において可撓性が２５回以上であって、且つ灰分含有量が５００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】有機質樹脂を原料として使用し、これと共に特定の薬剤を賦活剤として使用することにより、優れた生産性と安全性、操業安定性の下で比表面積が大きく高性能の活性炭を製造できる方法、および比表面積が大きく高性能の活性炭を提供する。
【解決手段】本発明の活性炭は、比表面積が４００〜２０００ｍ²／ｇであることを特徴とする。活性炭は、メソポア体積が０．１６ｍＬ／ｇ以上であることが好ましい。本発明はまた、本発明の活性炭の製法であって、有機質樹脂を、アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、有機酸塩よりなる群から選択されるアルカリ土類金属化合物の少なくとも１種と混合し、非酸化性雰囲気で加熱焼成する工程を含む活性炭の製法を提供する。 （もっと読む）

【課題】高温域における電気抵抗率を簡易な構造で精度良く測定することができる電気抵抗測定装置を得る。
【解決手段】試料１０が設置される測定室１と、測定室１内で試料１０を保持するための保持部材４，５と、保持部材４，５に保持された試料１０に直流電流を通電し加熱するための直流電源１４と、試料１０の測定部における温度を測定するための温度測定手段と、試料１０の電気抵抗率を測定するための電気抵抗率測定手段とを備える電気抵抗測定装置であって、測定室１の外周部を構成する壁部１ａが、試料１０からの輻射による熱線を透過する材質から形成されており、試料１０からの熱線が、測定室１の壁部１ａに直接照射されて通り外部に放射されるように構成されていることを特徴としている。 （もっと読む）