【課題】配線構造によって安定した圧力測定が可能な静電容量圧力センサを提供すること。
【解決手段】
本発明の一実施形態に係る静電容量圧力センサは、第１絶縁層１ａ〜第３絶縁層１ｃを有する基板１と、基板１との間に基準チャンバ８が形成されるように、基板１と向き合うように配置されたダイアフラム２と、基板１上に設けられ、ダイアフラム２と対向した第１の電極６と、ダイアフラム２上でかつ第１の電極６と対向して設けられた第２の電極５と、第１の電極６に接続され、該第１の電極６と外部とを電気的接続するための配線４２と、第２の電極５に接続され、該第２の電極５と外部とを電気的接続するための第２の配線４２とを備える。上記配線４２は、第１絶縁層１ａを基板１の基準チャンバ８側から基板１の該基準チャンバ８と反対側に向かって貫通するとともに、各絶縁層間で屈曲されている。 （もっと読む）

【課題】バッチ処理することが可能で、スル−プットの向上が可能で、しかも、コンパクト化と省エネルギ−化が可能な加熱・冷却装置
【解決手段】互いに非連通の複数の基板収容室２３、３５と、これら複数の基板収容室に加熱ガス又は冷却ガスを導入する加熱冷却制御手段５０とを備え、加熱冷却制御手段は、複数の基板収容室の各々を個別に温度制御可能である。 （もっと読む）

【課題】電子刺激離脱（ＥＤＳ）によるガス放出量を一層低減することができる電離真空計を提供する。
【解決手段】軸状のイオンコレクタ１と、イオンコレクタ１の径方向の周囲に設けられたコイル状のグリッド２と、グリッド２の外側に設けられた熱電子放出フィラメント３と、グリッド２と導通を確保しつつ支持する支柱部６とを有する電離真空計であって、イオンコレクタ１の径方向において、グリッド２及びフィラメント３に対向する支柱部６の表面を被覆し、フィラメント３よりも低い電位に保たれるコーティング１６ａを備えることで、支柱部６の表面からのＥＤＳによるガス放出を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】冷却効率を向上させ、冷却処理を高速化できる冷却装置を提供する。他の課題は、加熱効率を向上させ、加熱処理を高速化できる加熱装置を提供する。
【解決手段】冷却装置は、チャンバ２１１と、基板１を保持するための基板キャリア２であって、チャンバの搬入口からチャンバ内部の停止位置に搬入されて、さらに前記チャンバの搬出口から搬出される基板キャリア２と、チャンバ内の停止位置に搬入された基板キャリア２の両側に配置された第１冷却板３ａ、及び第２冷却板３ｂと、第１冷却板３ａ又は第２冷却板３ｂのうち少なくとも一つに設けられ、基板にガスを放出するガス放出口４と、ガス放出口４にガスを供給するガス供給手段と、基板キャリア２に近接して第１冷却板及び第２冷却板を移動する移動手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 より大きな駆動源、直動ガイド能力を必要とせず、小型化が可能な基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】 基板搬送装置は、第１駆動軸と、第１駆動軸に一端が連結されたアーム部と、基板を保持することが可能な基板保持部と、アーム部の他端と基板保持部を連結する連結部と、を有する。連結部は、アーム部に対して基板保持部を回転可能に支持する回転支持部と、回転支持部によって基板保持部が回転する回転軸の方向に、アーム部に対して基板保持部を上昇させ、または、降下移動させる移動部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 内軸用のマグネットと外軸用のマグネットとを一体とすることで、低コストのアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 アクチュエータは、中空構造を有し、中空構造の内側を真空排気可能に構成され、中空構造の外周側で第１コイル部を保持するハウジングと、ハウジングの内部において回転自在に支持され、外周に第２コイル部を有する内軸と、内軸の回転軸と同軸にハウジングの内部において回転自在に支持されており、内軸の外周側を囲むように配置されている円筒状の外軸と、外軸の外周側で第１コイル部に対向し、外軸の内周側で第２コイル部に対向する磁石と、内軸とハウジングの一方に設けられた整流子と、内軸とハウジングの他方に設けられ、内軸が少なくとも回転する際には整流子と摺接するブラシと、を備え、第２コイル部は、整流子とブラシを介して給電される。 （もっと読む）

【課題】フットプリントを低減できる基板ホルダーストッカ装置を提供する。
【解決手段】基板に真空処理を行うプロセスチャンバ内を搬送される基板ホルダーを収納する基板ホルダーストッカチャンバ１８は、複数の基板ホルダーをその板厚方向に並べて保持するとともに往復移動する可動式テーブルＡと、可動式テーブルＡと並設され、複数の前記基板ホルダーその板厚方向を並べて保持するとともに往復移動する可動式テーブルＢと、所定位置に停止した可動式テーブルＡ及び可動式テーブルＢのいずれか一方に保持された基板ホルダーを、可動式テーブルＡ及び可動式テーブルＢのいずれか他方に保持させるテーブル間移送機構３１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 駆動機構の高さをコンパクトにしたアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 アクチュエータは、第１ロータと、第２ロータと、ステータとを有する。第１ロータの回転軸を基準として、第１ロータおよび第２ロータおよびステータは同心円状に配置される。ステータは第１ロータと第２ロータとの間に配置されており、第１ロータと対向する第１コイルと、第２ロータと対向する第２コイルと、を有する。 （もっと読む）

【課題】ターゲット上の浸食を容易に均一に進めることができるマグネットユニットを提供する。
【解決手段】ターゲットを支持するカソード電極の背面側に、強磁性板材からなるヨーク４１２と、該ヨーク上に配置された環状の外部磁石ユニット４０２と、前記ヨーク上の前記外部磁石ユニットの内部に配置され、前記外部磁石ユニットと極性が異なる内部磁石ユニット４０１と、前記ヨークを該ヨークの回転中心４１１１を中心として回転させる回転機構と、を備え、前記内部磁石ユニットは、前記ヨークの回転中心から少なくともｎ（ｎは３以上の正の整数）の方向に放射状に伸びるｎ本の内部磁石で構成され、前記外部磁石ユニットは、前記ｎ本の内部磁石を取り囲むように配置された３ｎ−１角形以上の形状を有する３ｎ−１本以上の外部磁石で構成されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニット。 （もっと読む）

【課題】 駆動機構の高さをコンパクトにしたアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 アクチュエータは、第１ロータと、第１ステータと、第２ロータと、第２ステータとを備える。第１ロータの回転軸を基準として、第１ロータおよび第２ロータは同心円状に配置され、第１ロータの回転軸を基準として、第１ステータおよび第２ステータは同心円状に配置されている。 （もっと読む）