説明

キヤノンアネルバ株式会社により出願された特許

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【課題】基板を鉛直方向に向けて搬送する場合にも安定した高速搬送が可能な基板搬送装置及び真空処理装置を提供する。
【解決手段】基板3a、3bを保持するトレイ4a、4b、軸受(案内部材)6を介して搬送路7の上を移動するキャリア20、キャリア20を搬送路7に沿って移動させる駆動手段を具備する。駆動手段の駆動により搬送路に沿って基板を搬送路を含む面に対して鉛直方向に向けて搬送する。その際、駆動手段は搬送路に沿って取り付けられたラックギア16を有し、キャリア20とラックギア16との間に搬送路7に沿って防振材8を配置し、キヤリア20の搬送時の振動を抑制する。 (もっと読む)


【課題】基板を鉛直方向に向けて搬送する場合にも安定した高速搬送が可能な基板搬送装置及び真空処理装置を提供する。
【解決手段】基板3a、3bを保持するトレイ4a、4b、軸受(案内部材)6を介して搬送路7の上を移動するキャリア20、キャリア20を搬送路7に沿って移動させる駆動手段を具備する。駆動手段の駆動により搬送路に沿って基板を搬送路を含む面に対して鉛直方向に向けて搬送する。その際、搬送路7の床面との接触部分に搬送路7に沿って防振材8を配置し、キヤリア20の搬送時の振動を抑制する。 (もっと読む)


【課題】本発明における課題は、長期間使用しても放電の誘発を短時間で行うことができる冷陰極電離真空計を提供することにある。
【解決手段】本発明にかかる冷陰極電離真空計は、陽極2と、陽極2とともに放電空間9を形成するように配置された陰極1と、放電空間9内に配置され、陰極1と電気的に接続された放電開始補助電極25とからなり、放電開始補助電極25は、陽極2の軸長手方向と平行に配置された電極部26を有して構成されている。 (もっと読む)


【課題】 低いトリミング速度でレジストトリミングを実施することにより、高精度で寸法をコントロールすることが可能なレジストトリミング方法を提供する。
【解決手段】 反応ガスのプラズマを生成するプラズマ生成工程と、生成したプラズマからイオン及び電子を除去し、ラジカルを選択的に取り出す除去工程と、イオン及び電子が除去されたプラズマをレジストパターンに照射することで、レジストパターンをトリミングするトリミング工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】独立した複数の装置間で、複数の基板を処理する場合においても、基板受け渡しに待ちを生じない基板搬送処理装置を提供する。
【解決手段】第1の基板処理装置の第1のセパレーションチャンバーと第2の基板処理装置の第2のセパレーションチャンバーとが、基板受け渡しチャンバーを介して気密に接続されており、基板受け渡しチャンバーは、設置床面に対して垂直方向に積み重ねられた第1の基板受け渡しステージと第2の基板受け渡しステージとを有する。 (もっと読む)


【課題】基板移載時の基板支持姿勢を安定させることで高スループット化に寄与する基板支持装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るエンドエフェクターは、センタ孔9aを有する基板を鉛直姿勢で支持するものであり、進退方向及び上下方向の動作を駆動源よって制御されるアーム部材6aと、アーム部材6aに取り付けられ、基板9を支持する係止機構6bとを備え、係止機構6bは、センタ孔9a内側の縁部分が載せられる、上方に開放された窪み状の支持溝32が形成された支持ブロック8を有する。また、支持溝32は、センタ孔9a内側の縁部分と4箇所の接点31で接した状態で、鉛直姿勢の基板9を支持することができるため、基板支持姿勢を安定させることができる。 (もっと読む)


【課題】基板を回転させる機構のコスト低減に寄与する基板回転装置を提供する。
【解決手段】センタ孔を有する基板9を回転させてキャリアに支持された基板9の支持位置を変化させる基板回転装置は、駆動源に連結され、進退動、上下動及び左右動が可能なシャフトと、シャフトの端部側に固定され、センタ孔内側の縁部分を載せて基板9を鉛直姿勢で支持するための、上方に開放された支持溝が形成されたピック32とを有してなり、ピック32の回転中心とピック32との距離は、シャフトの上下動に伴い変化させることでピックの回転前後でキャリアに対する基板の位置の変化を抑え、基板9のワイパー動作を抑制できる。 (もっと読む)


【課題】形成された膜のステップカバレッジを大きくすることが可能であり、かつ低温領域で成膜することが可能な磁気抵抗効果素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態では、プラズマ源と成膜室を隔壁板により隔離したプラズマCVD装置により多層磁性層上に絶縁性の保護層を形成する。本方法によれば、磁気特性の劣化をもたらすことなく保護層を成膜でき、かつ、150℃未満の低温成膜も可能である。これにより、レジストを残留させたまま保護層の成膜が可能であり、多層構造の磁気抵抗効果素子の製造において工数低減も可能である。 (もっと読む)


【課題】装置振動等による基板の位置ずれを防止する。
【解決手段】基板処理装置は、基板搬送用の搬送ロボット30が配置された搬送チャンバ20と、搬送チャンバ20の周囲にスリットバルブ70を介して接続されたプロセスチャンバ10と、を備える。プロセスチャンバ10は、載置台11を備え、載置台11からリフトピン12に基板Wを移載することで搬送ロボット30への基板Wの受け渡しが可能になっている。リフトピン12を制御する移載制御部13は、搬送ロボット30が該当プロセスチャンバ10への基板の搬送動作を開始した後に、リフトピン12へ基板Wを移載させる。 (もっと読む)


【課題】抵抗変化型の不揮発性記憶素子において、抵抗変化動作に適したHfを含有する金属酸化物層からなる可変抵抗層を提供する。
【解決手段】第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に少なくとも2つの異なる抵抗状態に抵抗値が変化する可変抵抗層が挟持されてなる不揮発性記憶素子において、前記可変抵抗層が、少なくともHfとOを含有する金属酸化物層を含む可変抵抗層であって、HfとOのモル比率(O/Hf比)が0.30から1.90で表される組成を有していることを特徴とする不揮発性記憶素子。 (もっと読む)


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