【課題】大型の真空用ゲート弁において、シール材を交換するための大きな作業空間を予め確保しておく必要がなく、さらにはシール材の交換作業を容易に行うことができる真空用ゲート弁およびこの真空用ゲート弁におけるシール材の交換方法を提供すること。
【解決手段】弁箱４およびバルブケース２１間を往復移動することにより弁箱４内のゲート開口部１２を閉または開とする弁板１０と、を備えたゲート弁であって、バルブケース２１の下方に、Ｘ、Ｙ両方向に往復移動可能に構成された移動装置３０を着脱自在に取付けし、弁箱４とバルブケース２１との係合を解除した後、移動装置３０を操作することにより、バルブケース２１をＸ方向およびＹ方向に移動させ、シール材２４を交換するようにしたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】高い応力緩和特性と高い気密特性（シール性能）とが両立した充填材入りフッ素樹脂シートおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】フッ素樹脂、粉末充填材Ａ、粉末充填材Ｂおよび加工助剤を混合してシート形成用樹脂組成物を調製する工程、およびロール温度を４０〜８０℃として該組成物を圧延する工程を含み、粉末充填材Ａと粉末充填材Ｂとは、同一種であっても異種であってもよく、該粉末充填材Ａの平均粒子径Ｄ_A（５０）および該粉末充填材Ｂの平均粒子径Ｄ_B（５０）が、Ｄ_B（５０）≦０．７３Ｄ_A（５０）で表される関係式を満たし、該粉末充填材Ａの体積をＶ_Aおよび該粉末充填材Ｂの体積Ｖ_Bが１≦Ｖ_A／Ｖ_B≦３で表される関係式を満たし、該加工助剤が、分留温度が１２０℃以下である石油系炭化水素溶剤を３０質量％以上（加工助剤の重量を１００質量％とする。）含んでなることを特徴とする充填材入りフッ素樹脂シートの製造方法。 （もっと読む）

【課題】フッ素樹脂の充填率が低く充填材の充填率が高い場合であっても、高い応力緩和特性と高い気密特性（シール性能）とが両立した充填材入りフッ素樹脂シートおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】フッ素樹脂、充填材および加工助剤を含有するシート形成用樹脂組成物を、ロール温度を４０〜８０℃として圧延する工程を含み、該加工助剤が、分留温度が１２０℃以下である石油系炭化水素溶剤を３０質量％以上（ただし、加工助剤重量を１００質量％とする。）含んでなる
ことを特徴とする充填材入りフッ素樹脂シートの製造方法。 （もっと読む）

【課題】低い荷重でシール性を有するとともに、シール面全周領域における締め代のバラツキが生じても安定したシール性を発揮できるシール材を提供する。
【解決手段】リップ部１６にはリップ部１６の装着溝１２の底面１２Ｃに対する傾斜角度を変更させる屈曲部１８が形成されているため、相手部材２０からリップ部１６に反力が作用した場合でも、急激にシール反力が増加することなくリップ部１６の撓み量とシール反力とが略比例関係となる。この結果、シール面全周にわたりシール材１０の圧縮量に多少のバラツキが生じてもリップ部１６の弾性変形によりこれを許容でき安定したシール性を発揮できる。また比較的接触面積の少ないリップ部１６によりシールすることにより、少ない締め付け荷重によりシールを実現でき、オープナー開閉装置による自動開閉作業が前提となる半導体ウエハ用の運送・搬送容器のシール材として好適なものとなる。 （もっと読む）

【課題】ガスケット本体の外径側に少なくとも外輪が具備されているうず巻き形ガスケットにおいて、締付け荷重でベンディング現象が生じた場合に本体部分のシール面に隙間が生じたとしても、ガスケット全体としてはシール性の低下を抑制することができるうず巻き形ガスケットを提供する。
【解決手段】金属製の波形薄板４と石綿紙などの緩衝材５とを、うず巻状に巻回して構成されるガスケット本体６の少なくとも外周側に、該本体６の厚さ寸法より厚さの小さい金属製の外輪２４が嵌合されたうず巻き形ガスケット２０において、外輪の表面硬度が、これに当接するフランジ部材１の硬度よりも小さくなるように設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などのシール性能を持つ複合シール材の提供。
【解決手段】シール溝２内に収容される第１のシール部材６、第２のシール部材８、第３のシール部材９とからなる。第１のシール部材６は、その厚さ方向略中間部の径内方側から径内方に向かって横方向凸部１２が突出して形成され、第２のシール部材８は、シール溝２の外周側で第１のシール部材６の側端面に当接されるフランジ部１４と、このフランジ部１４からシール溝２の底面２６側に延びる略直線状の内壁部分１８とにより断面略Ｌ字状に形成され、これらが一体的に組み付けられた場合に、第１のシール部材６の横方向凸部１２と第２のシール部材８の内壁部分１８と第３のシール部材９との間に空所２０が確保され、かつ内壁部分１８の先端部１８ａは第３のシール部材９の側端面９ａに対して摺動自在に配置されている。 （もっと読む）

【課題】あり溝からの脱落を生じないあり溝用シール材の提供。
【解決手段】互いに対面する一対の部材の接合箇所において、あり溝６０内に装着されるあり溝用シール材１０の断面形状において、あり溝の底面６２と接触するとともに、あり溝の開口の最狭幅Ｇよりも若干幅狭に左右の隅角部が位置する底面部１２と、底面部の隅角部１４ａ，１４ｂよりも幅方向に突出し、前記あり溝の内側の斜辺と当接するように設けられた側面突出部１６ａ，１６ｂと、側面突出部から連続して形成された張出肩部１８であって、その隅角部２０ａ，２０ｂが、前記あり溝の開口側端面の位置よりもあり溝底面側に位置するとともに、あり溝の最狭部の位置よりもあり溝の開口側に位置する張出肩部と、張出肩部から連続するとともに、あり溝の開口よりも上方に突出して設置され、他方の部材９０の表面と当接される際には両部材間を封止するシール凸部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】ゲート開口部を大型化しなければならないであっても、少ない部品点数でその構造をコンパクトにできる真空用ゲート弁を提供すること。
【解決手段】ツーアクションタイプのゲート弁であって、
弁体２４は、ゲート開口部側方の離反位置および前記ゲート開口部と対面する対面位置との間の水平方向の移動のみを行なうサポートプレート８２と、サポートプレート８２と一体になって水平方向の移動を行った後、対面位置からゲート開口部２６を気密に封止する封止位置までの垂直方向の移動を行なうシールプレート８４と、を備え、サポートプレート８２とシールプレート８４との対向しあう内側面には、圧縮空気が供給された場合にシールプレート８４をサポートプレート８２から離反させるシール用膨張部材４２ａ、４２ｂならびに圧縮空気が供給された場合にシールプレート８４をサポートプレート８２に接近させるシール解除用膨張部材４３ａ、４３ｂがそれぞれ配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特に、半導体製造装置、液晶製造装置などに好適に使用されるあり溝用シール材で、あり溝内への装着性が良好で、かつ脱落抵抗力が高く、仮に大型化された真空用ゲート弁に使用された場合であっても、低荷重で十分なシール力を得ることができるあり溝用シール材を提供する。
【解決手段】シール面に形成されたあり溝４２に装着される閉環状のシール材２０であって、あり溝４２内に装着されるシール材本体２０ａの断面形状が、略三角形の栗形状を呈しており、あり溝４２の底面に対向する位置に形成された１つの頂部を第１の隅角部２４、残り２つの隅角部を第２の隅角部２６、第３の隅角部２８としたとき、第２の隅角部２６、第３の隅角部２８各々の少なくとも一部が前記あり溝の側面に当接し、第２の隅角部２６と第３の隅角部２８の間を連結する基端部３２の底面に、凹所３４が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パーフロロゴム（ＦＦＫＭ）よりも低価格で、着香しにくく、耐蒸気性、耐薬品性が優れたフッ素ゴム系のシール材を提供すること。
【解決手段】フッ素ゴムと、
このフッ素ゴム１００重量部に対して、少なくとも、
６〜１４重量部の表面改質されていてもよい真球状無孔質シリカ（非晶質二酸化ケイ素）充填剤、
６〜１４重量部の微粉末フッ素樹脂充填材、
０．１〜２０重量部の有機過酸化物加硫剤、および
０．１〜２０重量部の共架橋剤を配合してなるフッ素ゴム組成物、およびその組成物を加硫してなるシール材。 （もっと読む）