【課題】 熱のみによって励起したクリーニングガスを用い、処理室内に付着した高誘電率膜を含む堆積物を高速に除去する。
【解決手段】 処理室内に処理ガスを供給して基板上に高誘電率膜を形成する処理を行った後の処理室内にＢＣｌ_３、ＨＣｌ、Ｃｌ_２、ＳｉＣｌ_４、ＨＢｒ、ＢＢｒ_３、ＳｉＢｒ_４、およびＢｒ_２からなる群から選択される一種以上のガスを含むハロゲン系ガスと酸素系ガスとを供給する工程と、処理室内を真空排気する工程と、を１サイクルとして、このサイクルを所定回数行うことで、処理室内に付着した高誘電率膜を含む堆積物を除去して処理室内をクリーニングする工程を有し、ハロゲン系ガスと酸素系ガスとを供給する工程では、ハロゲン系ガスおよび酸素系ガスに対する酸素系ガスの濃度を７％未満とする。 （もっと読む）

【課題】ＮＯ_Ｘ低減効果を発揮する、実用的に価値のあるバーナの燃焼方法を提供する。
【解決手段】酸化剤流れと、燃料流れを供給して燃焼するバーナ１の燃焼方法であって、前記酸化剤流れは、前記燃料流れの周囲または前記燃料流れの近傍から噴出する１次酸化剤流れと、前記燃料流れを中心とした対称な位置から噴出する複数の２次酸化剤流れとからなり、前記複数の２次酸化剤流れを、個々に周期的変化をもって流量を変化して噴出することを特徴とするバーナ１の燃焼方法を採用する。 （もっと読む）

【課題】装置価格の上昇を抑えて製品収率を改善できる内部昇圧プロセスの空気液化分離方法及び装置を提供する。
【解決手段】昇圧して精製した中圧原料空気を第１中圧原料空気、第２中圧原料空気及び第３中圧原料空気に３分流し、第１中圧原料空気を主熱交換器で冷却して中圧塔に導入する工程と、第２中圧原料空気を昇圧して高圧原料空気とし、主熱交換器で冷却した後に減圧して中圧塔に導入する工程と、第３中圧原料空気を昇圧した後に主熱交換器で中間温度に冷却してから膨張タービンで中圧液化酸素の沸点より高い温度に膨張させて低圧原料空気とし、主熱交換器で冷却してから低圧塔に導入する工程と、低圧塔から抜き出した液化酸素を液化酸素ポンプで昇圧して中圧液化酸素とし、主熱交換器で気化させて中圧製品酸素ガスとする工程と、低圧塔から抜き出したガスをアルゴン塔で蒸留して製品アルゴンとする工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、板厚が３ｍｍ以下のフェライト系ステンレス鋼を非キーホール溶接した場合において、溶接ビードの蛇行の発生及びアンダーカットの発生を抑制可能で、かつ溶接ビードの裏波を良好な形状にすることの可能な溶接ガス及びプラズマ溶接方法を提供することを課題とする。
【解決手段】プラズマ溶接トーチ１０を用いて、板厚が３ｍｍ以下のフェライト系ステンレス鋼に対して非キーホール溶接を行なう際に使用する溶接ガス２２（パイロットガス２３及びシールドガス２４により構成されたガス）であって、タングステン電極１１とインサートチップ１２との間隙に流すパイロットガス２３が、流速２．１ｍ／ｓｅｃ以下の不活性ガスであり、シールドガス２４が、不活性ガスに０．５容量％以上４容量％以下の酸素ガスを加えた混合ガスである。 （もっと読む）

【課題】ＲＦＩＤタグが取り付けられたガスボンベにおいて、更なる信頼性の向上を図ると共に、ＲＦＩＤタグの交換が容易なガスボンベを提供する。
【解決手段】高圧ガスが充填されるボンベ本体２と、ボンベ本体２の表面を覆う被覆層３と、被覆層３に埋設されたＲＦＩＤタグ４とを備え、被覆層３は、繊維強化プラスチック層と透明樹脂層とを順に積層した構造を有し、ＲＦＩＤタグ４は、繊維強化プラスチック層と透明樹脂層との間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、オゾンを含む流体を扱うプロセスにおいて、簡便かつ小型化された設備で、オゾンが爆発下限値を超えて濃縮することを抑制可能なオゾン混合物の分解排出方法、及びオゾン混合物の分解排出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】オゾンと低沸点不活性ガスの混合流体の緊急排出において、予め高沸点不活性ガスを貯液した第１受液槽２３に貯留させたあと、高沸点不活性ガスと混合しながら、オゾン分解槽２７に導入する。この際に、オゾン分解槽２７での急激な温度上昇を避けるため、オゾン分解槽２７に導入する混合流体に、高沸点不活性ガスを適量混合させる。 （もっと読む）

【課題】イミダゾール環に結合しているアルキル基と、イミダゾール環を構成する炭素原子が、共に高い効率で重水素化されたイミダゾール誘導体の簡便な製造方法の提供。
【解決手段】重水及びアルカリ金属炭酸塩の存在下、下記一般式（Ｉ）で表される化合物を加熱して、該化合物のＲ^２及びイミダゾール環の４位の炭素原子を重水素化する重水素化されたイミダゾール誘導体の製造方法であって、前記一般式（Ｉ）で表される化合物１モルあたりの、前記アルカリ金属炭酸塩の使用量が０．３モル以下であり、前記加熱をマイクロ波の照射により行うことを特徴とする重水素化されたイミダゾール誘導体の製造方法［式中、Ｒ^１は炭素数１〜３のアルキル基、又は炭素数１〜３のヒドロキシアルキル基であり；Ｒ^２は炭素数１〜３のアルキル基であり；Ｅは電子吸引性基である。］。
［化１］
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【課題】微細配線を有する半導体装置の信頼性を向上させる。
【解決手段】本発明に係る半導体装置は、第１のＣｕ配線１０２と、第１のＣｕ配線１０２の上に設けられ、第１のＣｕ配線１０２からＣｕの拡散を防ぐ第１のバリア絶縁膜１０３とを備える。また、第１のバリア絶縁膜１０３の上には、第２のＣｕ配線１０５と、第１のＣｕ配線１０５の上に設けられ、第２のＣｕ配線１０５からＣｕの拡散を防ぐ第２のバリア絶縁膜１０６と、を備える。第１、第２のバリア絶縁膜１０３、１０６は、分枝アルキル基、及び、炭素−炭素二重結合を有するシリコン系絶縁膜からなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被対象物と原料ガスに含まれる二酸化炭素（^１３ＣＯ_２を含む）とを効率良く反応させることが可能なガス供給方法及びガス供給装置を提供することを課題とする。
【解決手段】テイラー渦流が発生し、かつ被対象物である生物が供給された空間（回転可能な内筒１２と静止する外筒１１との間に形成された空間）である環状部１３に、二酸化炭素を含む原料ガスを供給することにより、二酸化炭素と被対象物とを反応させる。 （もっと読む）

【課題】ＣＯ_２の分離回収装置の大型化を防ぐことができ、かつ分離回収コストが抑えられたＣＯ_２の分離回収方法を提供する。
【解決手段】ＣＯ_２含有の原料ガスから化学吸収法により、ＣＯ_２を分離回収するＣＯ_２の分離回収方法であって、ＣＯ_２吸収設備内において、原料ガス中のＣＯ_２を化学吸収媒体に吸収させる際に、前記ＣＯ_２吸収設備内にテイラー渦を発生させて、前記原料ガスと前記化学吸収媒体を接触させることを特徴とするＣＯ_２の分離回収方法を提供する。 （もっと読む）