説明

大陽日酸株式会社により出願された特許

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【課題】充填筒に充填したガス処理剤を有効に使用し、充填筒の交換の際にも排ガスを系外に放出することなく充填筒を安全に交換することができる排ガス処理方法を提供する。
【解決手段】ガス処理剤をそれぞれ充填した複数の充填筒10,20に排ガスを導入し、該排ガス中の有害成分を除去処理する排ガス処理方法において、前記複数の充填筒の内の一つの充填筒10に前記排ガスを導入して前記有害成分の除去処理を行い、該充填筒10から導出した処理ガスを検出手段30に導入して前記有害成分の有無を検出し、該検出手段から導出される処理ガスを他の充填筒20を経由して排出するとともに、該検出手段で有害成分を検出したときに、排ガスの導入を他の充填筒20に切り換えた後、該一つの充填筒10内の有害成分をパージし、パージガスを検出手段30を通じて他の充填筒20に導入し、検出手段30で有害成分が検出されなくなったら新たな充填筒に交換する。 (もっと読む)


【課題】有害ガスを含有するプロセス排ガスを高い除去効率で、かつ、安価に無害化する排ガス処理方法および排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】有害ガスを含有する排ガスを、燃料ガスを用いて加熱処理する工程と、加熱処理された排ガスを湿式スクラバー3内で処理液と反応させて処理する工程と、を有することを特徴とする排ガス処理方法を提供する。また、有害ガスを含有する排ガスを加熱処理可能に構成された燃焼式排ガス処理装置2と、前記燃焼式排ガス処理装置2によって加熱処理された排ガスを導入可能な湿式スクラバー3と、を備えることを特徴とする排ガス処理装置1を提供する。 (もっと読む)


【課題】装置コストの上昇を最小限に抑えつつ、従来よりも少ない動力原単位で製品低純度酸素を採取することが可能な低純度酸素の製造装置を提供する。
【解決手段】原料空気を熱交換によって冷却する熱交換器2と、冷却した原料空気を中圧窒素ガスと中圧酸素富化液とに深冷分離する中圧塔3と、中圧窒素ガスを間接熱交換によって液化して中圧液体窒素を得る主凝縮器10と、中圧塔3の底部から得た中圧酸素富化液の一部を気化し、第一のガス流体と第一の液流体とに分離する第一気化器5と、第一の液流体の一部を気化し、第二のガス流体と第二の液流体とに分離する第二気化器6と、第二のガス流体を昇温後に導入し、寒冷を発生させる膨張タービン7と、導入された流体を低圧窒素ガスと低圧低純度酸素とを分離する低圧塔8と、第二の液流体を低圧塔8に導入する経路L18と、を備える低純度酸素の製造装置1を選択する。 (もっと読む)


【課題】複雑な手順や準備を必要せずに、従来の分析方法と比較して高感度に、安定的にシリコン化合物ガス中の不純物であるシロキサン濃度を分析することが可能な分析方法を提供する。
【解決手段】分子構造中にSi−H結合を有するシリコン化合物ガス中の不純物の濃度を、ガスクロマトグラフ−質量分析計(GC−MS)を用いて分析する際に、パックドカラムとキャピラリーカラムとを組合せた分離カラムを用いることを特徴とするシリコン化合物ガス中の不純物濃度の分析方法を選択する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、燃料電池搭載車両への連続充填時の充填速度低下及び充填終了圧力低下を緩和することが可能な水素ステーションを提供することを課題とする。
【解決手段】圧縮機13と、圧縮機13により圧縮された水素ガスを貯蔵する第1の蓄圧器36−1,36−2,36−3と、圧縮機13と第1の蓄圧器36−1,36−2,36−3とを接続し、かつ圧縮された水素ガスを第1の蓄圧器36−1,36−2,36−3に供給する第1の水素ガス供給配管16と、第1の蓄圧器36−1,36−2,36−3から供給された水素ガスを冷媒により冷却する熱交換器41と、第1の水素ガス供給配管16から分岐され、拡張用蓄圧器ユニット65−1,65−2,65−3を構成する第2の蓄圧器68−1,68−2と接続される第1の拡張ユニット接続用分岐ライン46−1,46−2,46−3と、を有する。 (もっと読む)


【課題】長期連続運転が可能で、脈動の発生も防止することができ、安定した状態で低温液化ガスを送液できる低温液化ガスポンプを提供する。
【解決手段】低温液化ガスポンプ10は、低温液化ガス容器11の外部に配置される駆動部12と内部に配置されるポンプ部13と、ポンプ部のインペラ14と駆動部の駆動軸15とを接続するシャフト16と、シャフトを軸受を介して回転可能に収納するケーシング19とを備えている。シャフトは、駆動側の上部シャフト16aと従動側の下部シャフト16bとに分割されし、上部シャフトと下部シャフトとを磁気継手20によって非接触状態で磁気結合し、下部シャフトを磁気軸受17,18を介して非接触状態でケーシングに支持するとともに、ケーシング内と低温液化ガス容器内と連通させる連通孔26を有している。 (もっと読む)


【課題】ガス容器の交換等の際に、作業者が手順を間違えて操作を行った場合であっても、高圧ガスの大量流出を確実に防止して、甚大なトラブルを回避する。
【解決手段】高圧排気弁5は、第2空気圧ライン11内の空気圧が所定値以上の場合に開状態となる。インターロック手段2は、誤操作防止用治具1が開状態となると、第2空気圧ライン11を遮断すると共に、その遮断点の下流の圧力を解放することにより、空気圧を所定値未満にする。 (もっと読む)


【課題】基板表面の面内温度分布を解消し、基板表面に形成する薄膜の面内均一性を向上させて歩留まりを改善することができる気相成長装置を提供する。
【解決手段】基板保持部材20に設けた基板保持凹部23に基板22を保持し、加熱手段によって加熱される基板保持部材を介して基板を加熱するとともに、基板上に原料ガスを供給して基板表面に薄膜を形成する気相成長装置において、基板保持凹部は、基板の裏面に平行な平面部26と、平面部から上方に突出して上端に基板載置部27aが設けられた基板支持凸部27と、基板支持凸部に隣接する平面部に設けられた凹溝部28とを備えている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、従来の不活性ガスの精製方法と比較して、不活性ガスの精製を効率よく行うことの可能な不活性ガス精製方法を提供することを課題とする。
【解決手段】水素及び一酸化炭素を含む不活性ガスを精製する不活性ガス精製方法であって、不活性ガスに酸素を添加し、触媒を用いた反応により水素を水にする第1の工程と、第1の工程後、吸着剤により、不活性ガスから一酸化炭素、水、及び二酸化炭素を除去する第2の工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】医療用酸素ガス供給源の酸素ガス取出口に固着される酸素ガス取出ユニットと、カニューラなどが接続されるガス供給ユニットとの着脱を容易かつ確実に行うことができる呼吸用気体供給装置を提供する。
【解決手段】医療用酸素ガス供給源の酸素ガス取出口に固着される酸素ガス取出ユニットと、酸素ガス取出ユニットに着脱可能なガス供給ユニットとを備え、酸素ガス取出ユニットは、ガス供給ユニットが結合しているときにのみ開弁する逆止弁を備え、ガス供給ユニットは、酸素ガスの流量を設定する流量調節弁を備え、酸素ガス取出ユニット及びガス供給ユニットは、互いに係合して両ユニットを結合させる係合手段をそれぞれ備えるとともに、係合手段の係合状態を解除する係合解除手段と酸素ガスの流量がゼロに設定されているときに、係合解除規制手段による係合解除動作の規制を解除する規制解除手段を備えている。 (もっと読む)


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