【課題】サセプタの交換の際にサセプタの位置ずれの問題が生じない気相成長装置を得る。
【解決手段】本発明に係る気相成長装置は、サセプタ３が着脱可能に設置されて気相成長を行う反応炉５と、サセプタ３を搬送する搬送ロボット７と、搬送ロボット７及び反応炉５が収容されるグローボックス９と、グローボックス９内に設置されてサセプタ３の交換時にサセプタ３を一時的に載置する交換テーブル１１と、グローボックス９の側壁に設けられてサセプタ３の交換を行う交換ボックス１３とを備えた気相成長装置１であって、交換テーブル１１は、サセプタ３が載置されると回転して所定の回転位置で停止することでサセプタ３の回転方向の位置を決める位置決め装置１５を備えてなることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】メタンの発生を抑制し、高純度のアルゴンを得ることを可能としたアルゴンの製造方法を提供する。
【解決手段】原料空気を蒸留により窒素ガスと酸素とに分離し、アルゴンが濃縮された中間成分を抜き出して精留し、少量の酸素と窒素とを含む粗アルゴンガスを得た後、得られた粗アルゴンを精製して高純度のアルゴンを製造する方法であって、粗アルゴンガスに水素を加え、触媒反応にてアルゴンガス中の酸素を除去する脱酸素工程を含み、この脱酸素工程において、活性の低い触媒を用いて、粗アルゴンガス中の一酸化炭素がメタンに変化することを抑制する。 （もっと読む）

【課題】試料ガス中に含まれる硫黄化合物の濃度を炎光光度検出器を使用して迅速かつ正確に測定することができる硫黄化合物の分析方法を提供する。
【解決手段】試料ガス中に含まれる硫黄化合物の濃度を、炎光光度検出器を使用して測定する硫黄化合物の分析方法において、前記試料ガスにおける最も成分濃度が高いガスをキャリアガスとして用いる。試料ガスを同伴したキャリアガスは、従来の分離カラムに代えて設置した抵抗管１７を通って直接的に炎光光度検出器１９に導入する。抵抗管は、計量管前後の配管及び炎光光度検出器の導入配管よりも流路抵抗が大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】触媒層の膜厚をナノサイズのオーダーで基板全面に均質に形成することが可能であり、均質且つ形状の揃った高配向カーボンナノチューブを低コストで大量に合成することが可能な高配向カーボンナノチューブの製造方法を提供する。
【解決手段】触媒金属を溶媒に溶解させて触媒溶液を調整する工程と、触媒溶液をインクジェット法によって基板に塗布する工程と、基板を熱処理して溶媒を除去する工程と、を備えることを特徴とする高配向カーボンナノチューブの製造方法を選択する。 （もっと読む）

【課題】加熱対象物である粉体及び／又は液滴を散逸させることなく、火炎領域に十分な時間滞留させて、効率よく着熱させることを可能とする燃焼バーナを提供することである。
【解決手段】本発明の燃焼バーナは、粉体及び／又は液滴を供給する対象物供給路３と、燃料を供給する燃料供給路２，４とを同心状に交互に、かつ、これらの供給路のうち、最も内側と最も外側には燃料供給路が配置するように備える燃焼バーナであって、各供給路の先端には噴出口２ａ、３ａ、４ａがそれぞれ設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】原料粉体の融点に応じて圧力を調整しつつ、火炎長を適切に保つことができる無機質球状化粒子の製造方法、それに用いる無機質球状化粒子製造用バーナ及び無機質球状化粒子製造装置を提供する。
【解決手段】本発明の無機質球状化粒子の製造方法は、高圧雰囲気内でバーナによって発生させた火炎にキャリアガスによって原料粉体を投入して無機質球状化粒子を製造する無機質球状化粒子の製造方法であって、原料粉末の融点に応じて高圧雰囲気の圧力を調整するとともに、火炎長をキャリアガスの噴出速度によって調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】軸線を水平方向に向けて配置した真空容器の開口部を開閉する扉を開閉移動させるためスペースを最小限とし、省スペース化が図れる真空装置用扉開閉装置を提供する。
【解決手段】真空容器１１の開口部１１ａの前方床面に設けられて扉１２を収容可能な大きさを有するピット１５と、ピットの扉幅方向両側部に設けた鉛直方向に伸縮可能な一対の伸縮柱１６ａ，１６ｂ及び一対の伸縮柱の上端部に掛け渡した上フレーム１６ｃを有する門形フレーム１６と、上フレームに設けた扉吊持手段２０と、伸縮柱を伸縮させる伸縮手段とを備え、伸縮柱は、扉が真空容器の開口部を閉塞可能な上昇位置と、扉が真空容器の開口部を全開状態にしてピット内に収納される下降位置との間で伸縮可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、無機質原料粉体Ｘの粒径（平均粒度）に依存することなく、所望の粒径とされた無機質球状化粒子を効率よく生成可能な無機質球状化粒子製造用バーナ、無機質球状化粒子製造装置、及び無機質球状化粒子の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ノズル部２８の先端３３の中央に設けられ、かつキャリアガスに輸送された無機質原料粉体Ｘを輸送する原料粉体輸送孔３４と、原料粉体輸送孔３４に配置された溝幅変更部材３７と、原料粉体輸送孔３４に露出されたノズル部２８の先端３３の面と溝幅変更部材３７の先端部６１との間に設けられた環状の溝であり、かつ燃焼室３１にキャリアガスにより輸送された無機質原料粉体を噴出する原料粉体噴出用溝３９と、を有し、ノズル部２８の先端面３３ａに露出された原料粉体噴出用溝３９の幅Ｅを変更可能な構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、排ガス処理装置が排出する排ガスに含まれる水分、フッ酸、及び粉体を効率よく除去可能で、かつガス分析計用前処理装置のメンテナンスの頻度を低減することの可能なガス分析計用前処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】排ガス処理装置１１と接続され、排ガス処理装置１１が排出する排ガスに含まれる水分を除去する水分除去ユニット１５と、水分除去ユニット１５と接続され、水分が除去された排ガスに含まれるフッ酸を除去するフッ酸除去ユニット１６と、フッ酸除去ユニット１６及び分析計１２と接続され、水分及びフッ酸が除去された排ガスに含まれる粉体を除去し、該粉体が除去された排ガスを分析計１２に供給する粉体除去ユニット１７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】原料空気から少なくともキセノンおよびクリプトンのうち少なくとも１つを分離精製する方法において、不純物であるＮ_２Ｏを除去する分離精製方法を提供する。
【解決手段】原料空気を窒素と液体酸素に分離し、前記原料空気に含まれるキセノンおよびクリプトンのうち少なくとも１つを前記液体酸素中に濃縮する工程と、前記液体酸素を気化して酸素を生成する工程と、前記酸素中に含まれている炭化水素を、パラジウム触媒を用いて酸化する工程と、前記酸素中に含まれているＮ_２Ｏを、パラジウム触媒を用いて３５０℃以上の反応温度で熱分解する工程と、前記水蒸気および前記二酸化炭素を吸着により除去する工程と、前記酸素から、キセノンおよび／またはクリプトンを分離する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）