【課題】真空側空間に不純物ガスを放出しないモータ付属の仕切り構造を提供する。
【解決手段】前記開口部と前記透過板との間において、高圧側から低圧側に向かって前記固着部材、前記密閉部材の順に設けられてなる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、太陽電池モジュールの取付作業における作業性を向上させ、太陽電池モジュールの設置コストを低減することが可能なバックレール付き太陽電池モジュールおよびその設置方法を提供する。
【解決手段】第一長穴部３１ｂおよび第二長穴部３２ｂは、それぞれ第一開口部３１ａ、第二開口部３２ａからバックレール２０の長手方向Ｌに沿って互いに離間する方向に延びている。即ち、第一長穴部３１ｂは、第一開口部３１ａからバックレール２０の一方の端部２０ａに向かって延び、また、第二長穴部３２ｂは、第二開口部３２ａからバックレール２０の他方の端部２０ｂに向かって延びている。 （もっと読む）

【課題】均一な膜厚の薄膜を形成する技術を提供する。
【解決手段】蒸着材料から生成した蒸着材料ガスを、複数の主分散板２３〜２５の主分散孔７２を通過させ、均一に分散させる。主筐体２１と主分散板２３〜２５は、環状に形成し、主分散板２３〜２５の幅方向両端を主筐体２１で支持する。主分散板２３〜２５は撓まないので、均一な分散が行える。 （もっと読む）

【課題】誘導アンテナにより生成されるプラズマの状態が変わることを抑えつつ、誘電窓に付着したエッチング生成物の除去効率を高めることのできるプラズマエッチング装置を提供する。
【解決手段】プラズマエッチング装置１０は、基板Ｓを収容するとともに、誘電窓１２で封止された真空槽Ｃと、誘電窓１２の上方に配置され、真空槽Ｃ内にプラズマを生成する誘導アンテナ２１と、誘導アンテナ２１に接続され、誘導アンテナ２１に流れる電流を抑制する電流抑制コイル２４を備えている。また、プラズマエッチング装置１０は、アンテナ用整合器２３を介して容量電極２６、誘導アンテナ２１、及び電流抑制コイル２４に高周波電力を供給するアンテナ用高周波電源２２を備えている。誘導アンテナ２１及び電流抑制コイル２４からなる直列回路と容量電極２６とからなる並列回路が、アンテナ用整合器２３に接続されている。 （もっと読む）

【課題】光源から出射され被照射体に照射される光の光量を増加させることができる光照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線源（光源）としてのランプ４０から出射され、該ランプ４０の下方に配置された遮光マスクＭを透過した紫外線ＵＶを、該遮光マスクＭの下方に配置された被照射体としての貼り合わせ基板Ｗに照射させる紫外線照射装置において、遮光マスクＭの上方に設けられた支持部材としてのホルダ部材２４に吊下支持され、光透過性を有し、真空吸引により遮光マスクＭを吸着保持する吸着管３０を備える。 （もっと読む）

【課題】低コストでグラフェンを高速で製造できる量産性のよいグラフェンの製造方法を提供する。
【解決手段】反応容器１内に有機溶媒Ｓを収容する工程と、有機溶媒中に浸漬した一対の電極２間にパルス電圧を印加して有機溶媒Ｓを気化させ、このとき生じた気泡中でグロー放電を起こしてプラズマＰを発生させる工程と、プラズマ中の活性種により有機溶媒を分解してグラフェンＧを析出させる工程と、有機溶媒からグラフェンを回収し、この回収したグラフェンを乾燥する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】Ｍｏ層上に積層されたＡｌＮ層のエッチングにおいて、Ｍｏ層のエッチングを抑えることのできるプラズマエッチング装置、及び誘電体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】プラズマエッチング装置１０は、エッチング対象を収容する真空槽１１と、誘導アンテナ１９、アンテナ用高周波電源ＲＦ２、及びバイアス用高周波電源ＲＦ１から構成され、エッチング対象に引き込まれるプラズマを生成するプラズマ生成部とを備えている。エッチング対象は、下部Ｍｏ層上に積層されたＡｌＮ層であり、プラズマ生成部は、Ｎ_２ガスからプラズマを生成する。 （もっと読む）

【課題】一つ一つのデバイスに対する圧力測定が容易にできること。
【解決手段】基板１１と基板に対向する蓋部基板１４とによって密閉状態に形成された空間１５を有し、密閉空間内となる基板上に設けられたデバイス部１２と、密閉空間内となる蓋部基板１４に設けられ密閉空間内の圧力を測定する圧力測定部１３と、圧力測定手段に通電するとともに密閉空間外部と接続する出力配線１７と、出力配線に接続された出力パッド１８とを有する。 （もっと読む）

【課題】相対密度の高く、抵抗値のバラツキが小さいＣｕＧａＮａ系スパッタリング用ターゲット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るＣｕＧａＮａ系スパッタリング用ターゲットの製造方法は、ＣｕＧａ合金粉末と１００μｍ以下の平均粒度を有するＮａＣｌ粉末との混合粉末を作製し、上記混合粉末を加圧焼結する。ＣｕＧａ合金粉末に添加されるＮａ原料としてＮａＣｌ粉末を採用し、そのＮａＣｌ粉末の平均粒度を１００μｍ以下に制限することで、焼結体の相対密度を例えば９７％以上に高めることができるとともに、抵抗値のバラツキを例えば±１０％以下に抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】貴金属元素を含むエッチング生成物が真空槽内に堆積することを抑えることのできるプラズマエッチング装置、及びプラズマクリーニング方法を提供する。
【解決手段】プラズマエッチング装置１０は、基板Ｓが収容される真空槽Ｃと、真空槽Ｃにエッチングガスを供給するエッチングガス供給部１７ａと、真空槽Ｃにクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、真空槽Ｃ内のガスで該真空槽Ｃ内にプラズマを生成するプラズマ生成部とを備え、エッチングガスのプラズマで基板Ｓをエッチングし、クリーニングガスのプラズマで真空槽Ｃ内のエッチング生成物をクリーニングする。エッチング対象物が、イリジウム及び白金の少なくとも１つを含み、クリーニングガスが、六フッ化硫黄ガスと酸素ガスとが混合されたガスである。 （もっと読む）