【課題】相対密度の高く、抵抗値のバラツキが小さいＣｕＧａＮａ系スパッタリング用ターゲット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るＣｕＧａＮａ系スパッタリング用ターゲットの製造方法は、ＣｕＧａ合金粉末と１５０μｍ以下の平均粒度を有するＮａ₂ＣＯ₃粉末との混合粉末を作製し、上記混合粉末を加圧焼結する。ＣｕＧａ合金粉末に添加されるＮａ原料としてＮａ₂ＣＯ₃粉末を採用し、そのＮａ₂ＣＯ₃粉末の平均粒度を１５０μｍ以下に制限することで、焼結体の相対密度を例えば９８％以上に高めることができるとともに、抵抗値のバラツキを例えば±６％以下に抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】封着中の放電遅れの増大を抑制できるＰＤＰの製造方法を提供する。
【解決手段】
表面に走査電極２２と維持電極２３とが設けられた前面板２０と、表面に複数のリブ３４とアドレス電極３２とリング状の封着部材３９とが設けられた背面板３０とを、互いに対面させた状態で、真空槽内に配置する配置工程と、真空槽内を真空排気しながら、封着部材３９を加熱して軟化させた後、冷却して固化させ、前面板２０と背面板３０とを固定する封着工程とを有するＰＤＰの製造方法であって、配置工程の後、封着工程の前に、真空槽内に放電ガスとは異なる不活性ガスを導入して、前面板２０と背面板３０との間の放電空間５０の圧力を増大させる不活性ガス導入工程が設けられ、封着工程の後に、放電空間５０を真空排気して放電空間５０の圧力を減少させた後、放電空間５０に放電ガスを導入する封止工程が設けられている。 （もっと読む）

【課題】一つ一つのデバイスに対する圧力測定が容易にできること。
【解決手段】基板１１と基板に対向する蓋部基板１４とによって密閉状態に形成された空間１５を有し、密閉空間内となる基板上に設けられたデバイス部１２と、密閉空間内となる蓋部基板１４に設けられ密閉空間内の圧力を測定する圧力測定部１３と、圧力測定手段に通電するとともに密閉空間外部と接続する出力配線１７と、出力配線に接続された出力パッド１８とを有する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内の部材を支持する軸線方向に移動可能な棒状の支持部材をその軸線に直交する軸回りの自由度を含む所定数の自由度を持ってチャンバ外壁に傾動自在に連結する真空メカニカルジョイントであって、支持部材用のアクチュエータを真空チャンバの外部に配置し、且つ、真空チャンバの気密性も確保できるものを提供する。
【解決手段】チャンバ外壁１３に固定され、支持部材７が遊挿される孔８１３を有する固定ジョイント部材８１と、固定ジョイント部材８１に、チャンバ外壁１３の外側で所定数の自由度を持って傾動自在に連結される可動ジョイント部材８３とを備える。支持部材用のアクチュエータ８４を可動ジョイント部材８３に搭載する。また、支持部材７が挿通される可撓性及び伸縮性を有する筒状隔壁８５を設け、その一端部を孔８１３に連通する状態で固定ジョイント部材８１に気密に固定し、他端部を支持部材７に気密に固定する。 （もっと読む）

【課題】精製対象物を劣化させず、また、使用効率が高い精製装置を提供する。
【構成】精製対象物１６を供給室１０から少量ずつ気化室２０に供給し、気化室２０で昇華させる。気化室２０には複数の凝縮室５０ａ、５０ｂが接続されており、導入バルブ５１を開けて所望の凝縮室５０ａ、５０ｂに気化室２０で生成された生成気体を導入し、凝縮室５０ａ、５０ｂ内に配置された凝縮器５２に接触させ、析出させる。凝縮室５０ａ、５０ｂ内に導入した生成気体は、温度が順番に低くなる複数の凝縮器５２に、高温から低温の順序で接触し、精製対象物の昇華温度よりも低温の凝縮器５２に析出させる。析出後、冷却して凝縮器５２を取り出すときに、他の凝縮室５０ａ、５０ｂ内で凝縮器に析出させれば、気化室２０内での精製対象物の昇華を停止させる必要が無く、装置の使用効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】真空環境下でもガスが漏れ出ることがないモータを提供する。
【解決手段】ロータ１２の磁気部材２２と、ステータ１３との間には、隔壁部材１５が配されている。第一隔壁部材１６は、板状部１６ａと、この板状部１６ａの端部に一体に形成されたシール支持部１６ｂとからなる。板状部１６ａは、シャフト２１の軸方向に沿って広がり、ステータ１３のロータ１２側露出面を覆うように配されている。シール支持部１６ｂは、板状部１６ａよりも厚みが厚くなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストマスクに対する窒化ガリウム層の選択比を向上することができるドライエッチング方法を提供する。
【解決手段】フォトレジストマスクが積層された窒化ガリウム層のドライエッチング方法であって、ヨウ化水素ガス及びＢＣｌ_３ガスを含むエッチングガスのプラズマを生成し、該プラズマによって前記窒化ガリウム層をエッチングするとともに、前記エッチングガスのうち前記ヨウ化水素ガスの体積比率は、６０％以上８０％以下である。 （もっと読む）

【課題】機能性有機材料の電気的特性を簡便かつ精度よく測定することができる電極構造体、電極構造体の製造方法ならびにそれを用いた電気光学素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る電極構造体は、第１の電極層と、有機物層と、第２の電極層とを具備する。有機物層は、第１の電極層からの高さが第１の高さである第１の樹脂領域と、第１の電極層からの高さが第１の高さより小さい第２の高さである第２の樹脂領域とを有し、第１の電極層上に形成される。第２の電極層は、有機物層の第1の樹脂領域上に形成された第１の電極領域と、有機物層の第２の樹脂領域上に、第１の電極領域と分離して形成された第２の電極領域とを有する。 （もっと読む）

【課題】液滴の着弾地点を正確に制御できる技術を提供する。
【解決手段】吐出回路２２に吐出信号が入力されてから吐出された液滴が吐出対象物に着弾するまでの吐出必要時間よりも長い処理割当時間を設定し、吐出口１６が着弾地点の真上に到達する真上時刻よりも処理割当時間前の信号出力時刻に制御部１０が吐出部１３に吐出信号を出力する。遅延部２４には、処理割当時間と吐出必要時間の差である遅延時間が設定されており、遅延部２４は、入力された吐出信号を遅延時間遅らせて吐出回路２２に入力させ、吐出された液滴を真上時刻において吐出地点に着弾させる。同じ真上時刻において複数の吐出地点にそれぞれ吐出口１６が到達する場合は、各吐出口１６に対し、同じ信号処理時刻において吐出信号を出力すればいよい。 （もっと読む）

【課題】真空環境下でもガスが漏れ出ることがないモータを提供する。
【解決手段】第一支持体１６ｂはハウジング１１に取り付けられる。そして、第一隔壁１６ａの両端部は、第一支持体１６ｂに対して溶接部Ｍでそれぞれ溶接によって気密に接合されている。また、第一支持体１６ｂはハウジング１１に対してシール部材２５で気密に封止される。これによって、ハウジング１１の内壁と、第一隔壁部材１６によって囲まれたステータ１３が気密に封止される。 （もっと読む）