説明

株式会社アルバックにより出願された特許

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構成部品に形成された付着膜dを従来よりもさらに短時間で剥離し、洗浄液Sによるダメージを軽減することが可能な構造を有する成膜装置用構成部品及びこの構成部品の洗浄方法。上記構成部品の母材金属1よりも電気化学的に卑な金属膜層2を溶射、蒸着、スパッタリング、ラミネート等の方法により、母材金属1の表面に形成し、あるいは上記母材金属1よりも電気化学的に貴な第2金属膜層3を上記溶射等の方法により、金属膜層2の表面に形成することにより、金属膜層2が母材金属1もしくは第2金属膜層3との間で局部電池が形成され、母材金属1自体は洗浄液Sによるダメージを受けずに、極めて短時間で母材金属1に堆積した付着膜dを剥離することが可能となった。
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【課題】 主として、基板に入射する際のイオンビームの平行度調整が容易なイオン注入装置を提供する。
【解決手段】 イオン注入装置において、平行化電磁石10の内側磁極間隔Di、外側磁極間隔Doの一方又は両方を変更可能とする磁極間隔制御機構20を備え、この磁極間隔制御機構20は、平行化電磁石10の上部磁極12と下部磁極14との接合部に、上部磁極12が下部磁極14に対して軸回転可能となるように設けられた円筒状の回転軸22と、平行化電磁石10の上部磁極12と下部磁極14とを接合すると共に磁極間距離Di、Doを調整可能とするボルト24とを備えている構成とした。 (もっと読む)


【課題】静電チャックの吸着面において、さらに良好な面精度を実現できる分割静電チャック構造を提供する。
【解決手段】分割静電チャック構造を構成するベースプレート31と静電チャック30とをピエゾ素子アクチュエータに連なる絶縁性昇降支柱32a、32b、32cの上下両端により連接し、静電チャック30の各下面30B内で平面を成す少なくとも3点を、支柱32a、32b、32cの上端のそれぞれで支持することにより、静電チャック30を傾動可能とする。またベースプレート31の静電チャック30は、互いに隣接する静電チャック30から成る配列方向のうち、少なくとも1つの配列方向で電極の正負が互いに異なる配列とする。そして、静電チャック30上を走査するレーザ変位計により測定された傾斜状態に基づき、各静電チャック30が水平姿勢となるように、ピエゾ素子アクチュエータを伸縮する。 (もっと読む)


【課題】減磁、磁場低下、磁力線の漏洩などを誘引せず、所期の磁場強度を保つベーキング処理機構を備えたスパッタイオンポンプを提供する。
【解決手段】ポンプケース2の内側に、アノード7、一対のカソード6a、6bにより構成されるポンプセル2bを備え、ポンプケース2の外側に、両カソード6a、6bの対向方向に一対のマグネット8a、8bと、このマグネット8a、8bを囲繞するヨーク4とを取り付けたイオンポンプ1において、ポンプセル2bの側面部分にポンプケース2の外側から、プレート状の加熱用ヒータ9を取り付ける。また、空間部分2aに位置するポンプケース外側から、別の加熱用ヒータ3a、3bを取り付ける。さらに、マグネット8a、8bとヨーク4と加熱用ヒータ9、3a、3bとを取り付けたポンプケース2を保温箱11内に収容し、その際に、ポンプケース2と保温箱11との接触部分を非磁性材質の固定ねじ12のみに限定する。 (もっと読む)


【課題】 凍結乾燥前の薬液が充填されたバイアル瓶を無菌操作にて、安定して凍結乾燥機へ供給を行えるバイアル瓶の供給装置を得る。
【解決手段】 薬液が充填された複数のバイアル瓶1を設置し、薬液の凍結乾燥を行う凍結乾燥機12の棚13へ複数のバイアル瓶を供給するものにおいて、複数のバイアル瓶を凍結乾燥機に搬送するコンベヤ18と、コンベヤにより搬送されるバイアル瓶の数をカウントするカウントセンサ37と、カウントセンサにより所定の数のバイアル瓶が搬送された時にバイアル瓶の搬送を停止するストッパ28と、所定の数に達した複数のバイアル瓶をコンベヤ進行方向に移動して凍結乾燥機の棚の挿入位置に整列する整列ユニット32と、整列した複数のバイアル瓶をコンベヤの進行方向に対し直角の方向でバイアル瓶の側面を押し凍結乾燥機の棚に挿入する挿入プッシャ10とを備える。 (もっと読む)


【課題】精密な膜厚制御を行うことが可能なRu膜の形成方法及びトンネル磁気抵抗効果多層膜を提供する。
【解決手段】本発明は、基板20上にトンネル磁気抵抗効果多層膜を形成する場合において、一対の強磁性膜に挟まれる非磁性Ru膜をスパッタリング法によって形成する際、前記基板20に所定のバイアス電位を与える工程を有するものである。この場合、スパッタリングの際、基板20に対して所定の高周波電力を印加し、基板20の電位が−20〜−100Vとなるように制御することができる。 (もっと読む)


【課題】 筐体に支持された回転軸の軸受がラジアル方向へ振動することによる騒音の発生を防ぎ、かつ軸受へのアクシャル方向の負荷による損傷は生じないように支持された軸受支持構造を提供すること。
【解決手段】 ベローズポンプの筐体1に回転軸2の軸受3が嵌め込まれた軸受支持構造において、筐体1のネジ穴6に螺合された留めピン4によって、軸受3の外輪3aの周面をラジアル方向に押圧して、筐体1との間に隙間なく軸受3を固定する。 (もっと読む)


【課題】スペーサ粒子の吐出安定性の高い印刷装置を提供する。
【解決手段】
本発明のヘッドモジュール2は、内部フィルター30によって輸送室22と吐出室21に二分されたヘッド本体20を有している。スペーサ分散液は輸送路12を通って、流入口23から輸送室22へ供給され、輸送室22内部を流入口23から流出口24へ向かって流れた後、流出口24から輸送路22へ戻り、再び流入口23へ送られる。このように、スペーサ分散液の流れは、吐出室21とは内部フィルター22で隔たれた輸送室22で起こるので、スペーサ分散液の流速が変動しても、ノズルプレート26側の吐出室21は影響を受けず、ノズルプレート26の噴出孔から吐出される液量および液滴中のスペーサ個数の安定性が高い。 (もっと読む)


【課題】スペーサ粒子の吐出安定性の高い印刷装置を提供する。
【解決手段】
ヘッド本体20は内部フィルター30によって吐出室21と供給室22に分割されており、噴出口32からスペーサ分散液67を吐出する印刷状態では、供給室22内部でスペーサ分散液を流し、吐出室21内部でスペーサ分散液を流さないようにすれば、噴出口32からの吐出はスペーサ分散液の流れにより生じる圧力の影響を受け難い。逆に、吐出を行わない待機状態では、吐出室21と供給室22の両方でスペーサ分散液を流すようにすれば、スペーサ分散液67中のスペーサ粒子69の沈降が起こらず、内部フィルター30や噴出口32の目詰まりが置き難い。 (もっと読む)


成膜材料を用いて基板上に薄膜を形成する成膜装置の構成部品において、付着膜が破壊・剥離しにくい表面構造を有する上記構成部品であっても、洗浄時には短時間で容易に付着膜を除去できるような構造を持つ構成部品及びその洗浄方法。成膜装置の構成部品と上記薄膜の形成時にこの構成部品の表面に付着した上記成膜材料からなる付着膜との界面に洗浄液を浸入させるために、構成部品の裏面から表面に至る多数の貫通孔を設けることにより、付着膜を表面のみから洗浄液で溶解させる場合に比べて、短時間で容易に付着膜を剥離して除去することができるようになった。
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