説明

株式会社アルバックにより出願された特許

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【課題】 屈折率が小さく、光の透過性にも優れており、発光輝度の向上が期待される多孔質ITO膜の作製方法および低抵抗の多孔質ITO電極膜形成方法の提供。
【解決手段】インジウムと錫とアルコールとを含む有機溶液を用い、これを界面活性剤の存在下で加熱処理する。界面活性剤としては、ノニルフェノールエトキシレート、オクチルフェノールエトキシレートなどのようなノニオン界面活性剤を有機溶液に対して5〜20重量%使用する。 (もっと読む)


【課題】 十分に誘電率が低くかつ機械的強度の高い(層間絶縁膜を備えた)半導体装置を提供する。
【解決手段】 所望の素子領域の形成された半導体基板表面に、Si−O結合を主成分とする骨格の周りに多数の空孔が配置された誘電体薄膜を成膜する工程と、前記誘電体薄膜表面に、マスクを介してパターニングする工程と、パターニングのなされた前記誘電体薄膜表面に、テトラメチルシクロテトラシロキサン(TMCTS)、ヘキサメチルシラザン(HMDS)、トリメチルクロロシラン(TMCS)分子のうちの少なくとも1種を含むガスを接触させる工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】 プラズマクリーニング処理における正確かつ安価で効率的な終点検出方法及び終点検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 チャンバ内の圧力を一定に維持する圧力制御バルブの開度の時間的変化と、基板電極のバイアス電圧値の時間的変化と、高周波を入射するアンテナの電圧値の時間的変化との少なくともいずれか1つの時間的変化をモニタし、その開度、電圧値が一定値を示して変化しなくなった時点をプラズマクリーニング処理の終点として検出することにより、正確かつ安価で効率的な終点検出が可能となった。
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【課題】 化学量論組成比のモノマー組成でポリ尿素膜を作製することができるポリ尿素膜の形成方法及びポリ尿素膜形成装置を提供する。
【解決手段】 真空処理室中で原料モノマーを蒸発させて、これを基体上で重合させるようにした合成樹脂膜の形成方法であって、ジイソシアナート化合物を原料モノマーとして蒸発させ、同時に導入した水と反応させることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 カーボンナノチューブを高速成長せしめる従来の方法では、成長速度がガスの供給方法に強く依存しているため、長さや直径が揃ったカーボンナノチューブを再現性よく成長せしめることは困難である。
【解決手段】 反応室に炭素含有の原料ガスを導入し、熱CVD法によってカーボンナノチューブを基板表面に気相成長させる際に、この原料ガスの存在下で、カーボンナノチューブが成長し得る成長温度まで所定の基板昇温速度で基板を急速加熱して所定時間保持することで、基板表面にカーボンナノチューブを成長せしめる。 (もっと読む)


【課題】 静電チャックと基板との間にトレーを介在させることなく、静電チャックに複数枚の基板を設置できる静電チャックを提供する。
【解決手段】 本発明の静電チャック10は、そのチャック台13の上面に、複数のチャック領域16を備えている。各チャック領域16は、チャック台13の上面に複数突出形成された島状部17の各々の上面に形成されている。各島状部17の内部には、基板吸着用の双極型の電極層と、基板冷却用ガスの流出孔18がそれぞれ設けられている。この構成により、複数の基板が載置されたトレー上面にカバーを取り付けて基板をトレー40に保持する作業が不要となるので、作業性および生産性が向上し、基板の冷却効率も高められる。 (もっと読む)


【課題】 窒化炭素膜の窒素含有量を多くして、且つ窒素と炭素の化学結合が強固で緻密な膜にすることにより、硬さの大きい窒化炭素膜を作製する方法を提供する。
【解決手段】 被処理材の表面に硬質窒化炭素膜を形成するための方法であって、処理室内において、窒素ガス又はアンモニアガスを導入しながら、原料炭素類をホローカソード放電を利用して加熱、昇華させ、それと同時に被処理材の表面近傍にマイクロ波プラズマ放電を誘起して窒素及び炭素を活性化し、前記被処理材の表面に硬質窒化炭素膜を蒸着形成することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】低温プロセスで、アスペクト比の高い微細なホール、トレンチ等の上部でオーバーハングが発生することなく、カバレージ良くZrB膜等のバリア膜を形成する方法の提供。
【解決手段】基板を50〜450℃に加熱し、Zr(BH)ガスを0.1〜10秒の間、0.5〜200sccmの流量で導入し、真空チャンバー内の圧力がZr(BH)の導入時の圧力に比べ1/5以下になった時点で原料の吸着工程を終了し、チャンバー内へ触媒室で励起されたHガス及び/又はNHガスからなる反応ガスを0.1〜10秒の間、20〜1000sccmの流量で導入し、チャンバー内の圧力が、反応ガス導入時の圧力に比べ1/5以下になった時点で反応工程を終了させて、バリア膜を得る。 (もっと読む)


【課題】 圧電素子や表面弾性波素子により測定を行う場合、素子の中心周波数等を迅速に決定できるようにする。
【解決手段】圧電素子又は表面弾性波素子のアドミタンスの実数部又は虚数部をパラメータ(Y)とし、パラメータ(Y)の極値を与える極値周波数(fx)の決定方法であって、所定の周波数間隔(Δf)でパラメータ(Y)を測定し、パラメータ(Y)の実際の極値を与える周波数区間(Δfi)を特定し、前記周波数区間(Δfi)を挟む連続する少なくとも3つの周波数区間(Δfi-1,Δfi,Δfi+1)において、周波数(f)に対するパラメータ(Y)の変化量(ΔYi-1/Δf,ΔYi/Δf,ΔYi+1/Δf)を線形近似して条件式(ΔY/Δf=αf+β)を求め、この条件式(ΔY/Δf=αf+β)における変化量(ΔY/Δf)が0となる周波数(f)を極値周波数(fx)とするようにしたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】絶縁性の基板を吸着できる吸着装置を提供する。
【解決手段】表面が絶縁されている基体10上に第1、第2の電極11、12を露出して設け、絶縁性の基板7が第1、第2の電極11、12表面に接触するか、非常に近接して配置されるようにする。第1、第2の電極11、12間には、空間変化率の大きな電場が形成されるので、グラディエント力により、基板7は吸着装置1表面に吸着される。グラディエント力の大きさは電場の変化率の大きさに依存しているので、第1、第2の電極11、12間に電圧を印加し、1.0×106V/m以上の電場を形成するとよい。 (もっと読む)


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