株式会社アルバックにより出願された特許

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【課題】 基材の表面に高分子膜を形成させる蒸着重合に続いて熱処理を行なうことができて、その冷却に長時間を要せず、装置内に付着する重合物を容易に除去し得る蒸着重合装置を提供すること。
【解決手段】 真空槽11内に重合熱処理室21を設けてそれぞれ独立して真空排気可能とし、かつ重合熱処理室21の内面に近接して850℃以上の温度に加熱可能なヒータ23と開閉し得る加熱ヒータ24を設ける。また重合熱処理室21には開閉可能な仕切ゲート34を介して冷却槽41を接続し、冷却槽41と重合熱処理室21との間に基材Sを搬送するための搬送ローラ47を設ける。蒸着重合の後、重合熱処理室21の温度を上げて熱処理することができ、熱処理の後は850℃以上の温度に加熱して付着重合物を熱分解し排除し得る。 (もっと読む)


【課題】 高温超伝導体を超伝導臨界温度以下の温度まで冷却しなくても移動させられる移動子と磁気浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】 低温槽11内に移動可能に設けられたキャリア12から移動子2に設けられた搬送用磁石181、182に磁力を及ぼし、移動子2を磁気浮上させてキャリア12を移動させる前に、その移動軸線方向の誤差を修正する際、移動子2に設けた転動手段4によって低温槽上をころがり移動させて誤差を検出する。高温超伝導体を超伝導臨界温度以下の温度まで冷却しなくても済む。その場合、移動子2のころがり移動を低温槽11の長手方向に制限する制限機構を設けておけば、低温槽11上から落下する危険がなくなって都合がよい。 (もっと読む)


【目的】 基板温度が低温状態で基板上に形成された高分子膜に十分なポーリング処理を施して、焦電圧電性に優れた有機焦電圧電体の形成方法の提供。
【構成】 真空中で基板温度が低温で、高分子膜が形成可能な原料モノマーを蒸発させて、基板上に高分子膜を形成後、真空処理室内にガスを導入しながら、高分子膜の下部に設けた電極と、基板の前方に配置された針状の電極間に高電界を印加し、基板温度を昇温しながら高分子膜にポーリング処理を行う。
【効果】 高分子膜がオリゴマー状態から、未反応部分が膜内部で基板の昇温時に反応する際にポーリング処理が行われて、圧電性や焦電性が向上した有機焦電圧電体を容易にかつ効率よく形成することが出来る。 (もっと読む)


【目的】この発明の目的は、多孔質状の止まり穴のある被洗浄物の孔の内部や止まり穴の内部に付着した油脂等を洗い落とすことが可能な真空脱脂洗浄方法を提供することにある。
【構成】この発明は、洗浄室内の加熱された第1洗浄液に被洗浄物を浸漬して洗浄した後、その洗浄された前記被洗浄物を前記洗浄室より真空加熱室に搬入し、その搬入された前記被洗浄物を冷却してから、前記真空加熱室と洗浄室内を減圧し、前記加熱された第1洗浄液より蒸発した前記第1洗浄液の蒸気で前記被洗浄物を洗浄し、最後に、その洗浄された前記被洗浄物を真空乾燥するものである。 (もっと読む)



[目的] 操作が簡便で基準値を越えた漏洩マイクロ波が生じた場合には、ただちにこれを知ることができる漏洩マイクロ波検出器を提供すること。
[構成] ケーシング11内に少なくともプリントアンテナ12、検波回路21、増巾回路22及び電子ブザー24を内蔵させている。 (もっと読む)


【目的】この発明の目的は、歯車がいかなる回転数であっても、歯車同士が非接触の状態で係合することの可能な非接触歯車装置を提供することである。
【構成】この発明は、永久磁石よりなる複数の歯の歯先を同じ極性にした駆動側マグネット歯車5および従動側マグネット歯車8を各歯同士の磁気反発力または磁気吸引力によって非接触の状態で係合させて、駆動側マグネット歯車5の回転運動を従動側マグネット歯車8に伝達し、更に、伝達された従動側マグネット歯車8の回転運動を従動軸を介してワークに伝える非接触歯車装置において、上記従動側マグネット歯車のキー溝8cの幅より狭い幅のキーを上記従動軸のキー溝10aに嵌入することによって、狭い幅のキーと上記従動側マグネット歯車のキー溝8cとの間に隙間を形成しながら、上記従動側マグネット歯車8と従動軸10とをキー結合したことを特徴とするものである。 (もっと読む)


[構成] 真空処理室1aの両壁部19a、19bにフランジ加熱ヒ−タ14a、14bを埋設し、これ以外の各バレル10面が対向する外周壁部18には処理室加熱ヒ−タ13が埋設されている。また、真空排気系用配管51の壁部にも排気系加熱ヒ−タ15が埋設されており、更に蒸発源容器5a、5bのに接続されている導入管6a、6bにも導入管加熱ヒ−タ16a、16bが埋設されている。これら各加熱ヒ−タは各々独立して温度制御が可能である。導入管加熱ヒ−タ16a、16bを設けたことで導入管6a、6bにモノマが付着せず蒸発速度の低下が防止でき、排気系加熱ヒータ15を設けたことで真空排気系2の内壁にモノマが付着せず排気能力の低下が防止でき、蒸発レ−トが不安定となる要因を取り除くことができる。
[効果] 被蒸着物表面上に形成される高分子被膜の質を良好にする。 (もっと読む)


[目的] 蒸着重合装置における蒸発源容器の蒸発源噴出口にモノマを付着・堆積させず、モノマの蒸発レートを安定化させる。
[構成] 原料モノマA、Bが供給された蒸発源容器7の蒸発源貯蔵部14a、14bの外周部と蒸発源噴出口部13a、13bの外周部とに、それぞれ別個に蒸発源加熱ヒータ9a、9bと蒸発源噴出口加熱用ヒータ12a、12bとを設け、蒸発源加熱ヒータ9a、9bの温度よりも蒸発源噴出口加熱用ヒータ12a、12bの温度を若干高くする。これにより蒸発源噴出口部13a、13bの温度が低下するのを防ぎ、蒸発源容器7a、7b全体の温度がそれぞれ一定化するので、蒸発源噴出口13a、13bにモノマが付着・堆積することなくモノマA、Bの蒸発速度及び蒸発レートが常に安定化する。 (もっと読む)


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