【課題】 基材の表面に高分子膜を形成させる蒸着重合に続いて熱処理を行なうことができて、その冷却に長時間を要せず、装置内に付着する重合物を容易に除去し得る蒸着重合装置を提供すること。
【解決手段】 真空槽１１内に重合熱処理室２１を設けてそれぞれ独立して真空排気可能とし、かつ重合熱処理室２１の内面に近接して８５０℃以上の温度に加熱可能なヒータ２３と開閉し得る加熱ヒータ２４を設ける。また重合熱処理室２１には開閉可能な仕切ゲート３４を介して冷却槽４１を接続し、冷却槽４１と重合熱処理室２１との間に基材Ｓを搬送するための搬送ローラ４７を設ける。蒸着重合の後、重合熱処理室２１の温度を上げて熱処理することができ、熱処理の後は８５０℃以上の温度に加熱して付着重合物を熱分解し排除し得る。 （もっと読む）

【課題】 高温超伝導体を超伝導臨界温度以下の温度まで冷却しなくても移動させられる移動子と磁気浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】 低温槽１１内に移動可能に設けられたキャリア１２から移動子２に設けられた搬送用磁石１８₁、１８₂に磁力を及ぼし、移動子２を磁気浮上させてキャリア１２を移動させる前に、その移動軸線方向の誤差を修正する際、移動子２に設けた転動手段４によって低温槽上をころがり移動させて誤差を検出する。高温超伝導体を超伝導臨界温度以下の温度まで冷却しなくても済む。その場合、移動子２のころがり移動を低温槽１１の長手方向に制限する制限機構を設けておけば、低温槽１１上から落下する危険がなくなって都合がよい。 （もっと読む）

【目的】 基板温度が低温状態で基板上に形成された高分子膜に十分なポーリング処理を施して、焦電圧電性に優れた有機焦電圧電体の形成方法の提供。
【構成】 真空中で基板温度が低温で、高分子膜が形成可能な原料モノマーを蒸発させて、基板上に高分子膜を形成後、真空処理室内にガスを導入しながら、高分子膜の下部に設けた電極と、基板の前方に配置された針状の電極間に高電界を印加し、基板温度を昇温しながら高分子膜にポーリング処理を行う。
【効果】 高分子膜がオリゴマー状態から、未反応部分が膜内部で基板の昇温時に反応する際にポーリング処理が行われて、圧電性や焦電性が向上した有機焦電圧電体を容易にかつ効率よく形成することが出来る。 （もっと読む）

【目的】この発明の目的は、多孔質状の止まり穴のある被洗浄物の孔の内部や止まり穴の内部に付着した油脂等を洗い落とすことが可能な真空脱脂洗浄方法を提供することにある。
【構成】この発明は、洗浄室内の加熱された第１洗浄液に被洗浄物を浸漬して洗浄した後、その洗浄された前記被洗浄物を前記洗浄室より真空加熱室に搬入し、その搬入された前記被洗浄物を冷却してから、前記真空加熱室と洗浄室内を減圧し、前記加熱された第１洗浄液より蒸発した前記第１洗浄液の蒸気で前記被洗浄物を洗浄し、最後に、その洗浄された前記被洗浄物を真空乾燥するものである。 （もっと読む）

［目的］ 操作が簡便で基準値を越えた漏洩マイクロ波が生じた場合には、ただちにこれを知ることができる漏洩マイクロ波検出器を提供すること。
［構成］ ケーシング１１内に少なくともプリントアンテナ１２、検波回路２１、増巾回路２２及び電子ブザー２４を内蔵させている。 （もっと読む）

【目的】この発明の目的は、歯車がいかなる回転数であっても、歯車同士が非接触の状態で係合することの可能な非接触歯車装置を提供することである。
【構成】この発明は、永久磁石よりなる複数の歯の歯先を同じ極性にした駆動側マグネット歯車５および従動側マグネット歯車８を各歯同士の磁気反発力または磁気吸引力によって非接触の状態で係合させて、駆動側マグネット歯車５の回転運動を従動側マグネット歯車８に伝達し、更に、伝達された従動側マグネット歯車８の回転運動を従動軸を介してワークに伝える非接触歯車装置において、上記従動側マグネット歯車のキー溝８ｃの幅より狭い幅のキーを上記従動軸のキー溝１０ａに嵌入することによって、狭い幅のキーと上記従動側マグネット歯車のキー溝８ｃとの間に隙間を形成しながら、上記従動側マグネット歯車８と従動軸１０とをキー結合したことを特徴とするものである。 （もっと読む）

［構成］ 真空処理室１ａの両壁部１９ａ、１９ｂにフランジ加熱ヒ−タ１４ａ、１４ｂを埋設し、これ以外の各バレル１０面が対向する外周壁部１８には処理室加熱ヒ−タ１３が埋設されている。また、真空排気系用配管５１の壁部にも排気系加熱ヒ−タ１５が埋設されており、更に蒸発源容器５ａ、５ｂのに接続されている導入管６ａ、６ｂにも導入管加熱ヒ−タ１６ａ、１６ｂが埋設されている。これら各加熱ヒ−タは各々独立して温度制御が可能である。導入管加熱ヒ−タ１６ａ、１６ｂを設けたことで導入管６ａ、６ｂにモノマが付着せず蒸発速度の低下が防止でき、排気系加熱ヒータ１５を設けたことで真空排気系２の内壁にモノマが付着せず排気能力の低下が防止でき、蒸発レ−トが不安定となる要因を取り除くことができる。
［効果］ 被蒸着物表面上に形成される高分子被膜の質を良好にする。 （もっと読む）

［目的］ 蒸着重合装置における蒸発源容器の蒸発源噴出口にモノマを付着・堆積させず、モノマの蒸発レートを安定化させる。
［構成］ 原料モノマＡ、Ｂが供給された蒸発源容器７の蒸発源貯蔵部１４ａ、１４ｂの外周部と蒸発源噴出口部１３ａ、１３ｂの外周部とに、それぞれ別個に蒸発源加熱ヒータ９ａ、９ｂと蒸発源噴出口加熱用ヒータ１２ａ、１２ｂとを設け、蒸発源加熱ヒータ９ａ、９ｂの温度よりも蒸発源噴出口加熱用ヒータ１２ａ、１２ｂの温度を若干高くする。これにより蒸発源噴出口部１３ａ、１３ｂの温度が低下するのを防ぎ、蒸発源容器７ａ、７ｂ全体の温度がそれぞれ一定化するので、蒸発源噴出口１３ａ、１３ｂにモノマが付着・堆積することなくモノマＡ、Ｂの蒸発速度及び蒸発レートが常に安定化する。 （もっと読む）