株式会社アルバックにより出願された特許

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【課題】基材表面に塗布して焼成したときに耐薬液性に優れた多孔質シリカ膜を得ることが可能な前駆体塗布液を提供する。
【解決手段】多孔質シリカ膜の形成に用いられる前駆体塗布液の作製方法であって、官能基を有するアルコキシシランを界面活性剤と共に溶媒に溶解させ、この溶解させたアルコキシシランを触媒存在下で加水分解及び脱水縮合して第1のゾルを得る第1工程と、第1のゾルにテトラアルコキシシランもしくはその重合体を添加し、第1のゾルに含まれる脱水縮合物とテトラアルコキシシランもしくはその重合体を加水分解及び脱水縮合して第2のゾルを得る第2工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】照射されるイオンに金属不純物の混入することのない荷電粒子引出照射機構を提供する。
【解決手段】誘導結合プラズマ型のプラズマ発生手段により、プラズマ生成室200内に誘導結合プラズマを励起し、被処理体120にイオンでプラズマ処理を施す荷電粒子引出照射機構1であって、誘導結合プラズマから被処理体に向けて、誘導結合プラズマを引出し制御する複数の多孔電極10、20、30、40が、相互に離隔して平行に配置されており、かつ、全ての多孔電極がカーボン材料で構成されている。 (もっと読む)


【課題】蒸発材料の、蒸着対象物に対向する対向面内で、蒸発流密度の分布を均一にすることができる真空蒸着装置、これに用いられる電子銃及びその蒸着方法を提供すること。
【解決手段】真空蒸着装置100では、メインコントローラ14及び/または電子銃ドライバ59により、電子ビームBが、蒸発材料10の上面10aの外形にしたがって揺動するように、揺動コイル62が制御される。これにより、電子ビームが、その上面10a全体に均一に入射される。したがって、蒸発材料10の上面10aからの蒸発流分布(蒸発流密度)を均一にすることができる。その結果、成膜レートの安定化を図ることができ、基板Wに形成される蒸着膜の膜厚分布を均一にすることができる。 (もっと読む)


【課題】真空槽に導入されるプラズマと基板との間でプラズマに接する部材がプラズマ中の活性種を失活させることを抑えることのできるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマが導入される導入口12aを有する真空槽10と、導入口12aと処理の対象物との間でプラズマに接する中間部材と、を備えるプラズマ処理装置について、中間部材を、導入口12aの周囲に吊り下げられた金属製の支柱30と、支柱30に連結されて導入口12aと互いに向かい合う金属製の対向板31と、から構成する。そして、支柱30及び対向板31を、シリコン酸化膜35により被覆する。 (もっと読む)


【課題】色素吸着工程にかかる時間を短縮するとともに、バリア性の高い色素増感型太陽電池を製造することができる色素増感型太陽電池の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】導電性基板上に設けられた酸化物半導体層16に色素を吸着させた光電極と、対向電極12と、光電極及び対向電極12との間に介在する電解液とを備えた色素増感型太陽電池の製造装置において、導電性基板上に酸化物半導体層16が設けられた光電極の前駆体と対向電極12とがシール材13を介して固定されるとともに連通孔H1,H2を介してその内部空間が外部に連通されたセルCに接続され、セルCの内部空間を減圧する排気系25と、光電極の前駆体の水分吸着量を減少させるヒーター21と、色素が溶解又は分散された色素液DSを貯留する色素液貯留部28と、色素液貯留部28とセルCの供給側連通孔H2とを連通する流路を開閉する色素液制御弁V1とを備えた。 (もっと読む)


【課題】電動機で回転駆動されるインペラによりジェット水路に吸い込んだ外部の水を加圧し、この加圧した水を噴射して推力を得る電動機ウォータージェット推進機を、電動機が過熱されることを防止でき、メンテナンス性のよい構造とする。
【解決手段】吸込口11と、吐出口12と、吸込口から吐出口に通じるジェット水路13とを有するケーシング1を備える。ケーシングの吸込口側の端面14aを構成する隔壁14に連続して電動機ハウジング2をケーシングに一体に形成する。インペラに連結される駆動軸3を、隔壁を通して電動機ハウジング内に挿入し、電動機ハウジング内に存する駆動軸の部分に回転子61を設けると共に、電動機ハウジング内に固定子62を設けて電動機6を構成する。 (もっと読む)


【課題】信号遅延の抑制と絶縁性の向上との両立が可能な絶縁膜形成方法及び絶縁膜形成装置を提供する。
【解決手段】
シリコン貫通電極用の貫通孔が形成されたシリコン基板を備える基板Sに絶縁膜を形成するに際し、抵抗加熱ヒータ33Hによって加熱された基板Sを収容する反応室31Sに、酸素ガス及びキャリアガスであるアルゴンガスと混合されたZr(BHを供給する。そして、Zr(BHを上記基板S上で熱酸化することによって、基板Sの表面及び上記貫通孔の内側面にジルコニウム、ホウ素、及び酸素を含む絶縁膜の一つであるZrBO膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】多量の水素ガスを発生させることができる水素ガス発生方法及び水素ガス生成材を提供する。
【解決手段】本発明の水素ガス発生方法は、水素ガス生成材を、Sn及びBiの少なくとも一方を0.5〜20重量%の範囲で含有し、残部がアルミニウム及び不回避的な不純物とである薄片状のアルミニウム合金Aとし、このアルミニウム合金を水または食塩水と反応させてなる。このアルミニウム合金は、原料合金の溶湯を回転する水冷ロール7に接触させて冷却する工程を含むストリップキャスティング法により作製され、この水冷ロールの周速度を1m/sec〜20m/secの範囲に設定した。 (もっと読む)


【課題】硫化せず、高反射率を維持できる反射膜と、その反射膜を用いた装置を提供する。
【解決手段】
本発明の有機EL装置2aでは、有機EL膜36aから放出され、本体基板11a側に放出された発光光を反射膜40aで反射して、フロントパネル39aから放出させる。反射膜40aが有する銀薄膜は、銀以外の金属で酸化物を形成する添加金属を、銀と添加金属の合計原子数に対して0.5原子%以上含有し、酸素を、銀と前記添加金属と酸素の合計原子数に対して0.5原子%以上20原子%以下の範囲で含有する。添加金属の酸化物が銀薄膜中の銀微小粒子を覆うので、イオウを含むガスが銀と接触せず、硫化が発生しない。 (もっと読む)


【課題】ソースガスから選択的に抽出されたBイオンを、結晶基板の一方の主面側に注入して、必要なp型不純物濃度のプロファイルを形成することを可能とする、結晶太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】光を受光する受光面と、受光面と対向する裏面との間で光電変換機能を発現する、結晶基板101を備えた結晶太陽電池100の製造方法であって、減圧雰囲気とした真空槽内に結晶基板を配して、真空槽内にB分子を含むソースガスを導入し、ソースガスをプラズマ励起することにより、選択的にイオン化させたBイオンを抽出し、前記結晶基板100の片方の主面101b側に注入して、P型半導体層102を形成する工程を含む。 (もっと読む)


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