【課題】基材表面に塗布して焼成したときに耐薬液性に優れた多孔質シリカ膜を得ることが可能な前駆体塗布液を提供する。
【解決手段】多孔質シリカ膜の形成に用いられる前駆体塗布液の作製方法であって、官能基を有するアルコキシシランを界面活性剤と共に溶媒に溶解させ、この溶解させたアルコキシシランを触媒存在下で加水分解及び脱水縮合して第１のゾルを得る第１工程と、第１のゾルにテトラアルコキシシランもしくはその重合体を添加し、第１のゾルに含まれる脱水縮合物とテトラアルコキシシランもしくはその重合体を加水分解及び脱水縮合して第２のゾルを得る第２工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】照射されるイオンに金属不純物の混入することのない荷電粒子引出照射機構を提供する。
【解決手段】誘導結合プラズマ型のプラズマ発生手段により、プラズマ生成室２００内に誘導結合プラズマを励起し、被処理体１２０にイオンでプラズマ処理を施す荷電粒子引出照射機構１であって、誘導結合プラズマから被処理体に向けて、誘導結合プラズマを引出し制御する複数の多孔電極１０、２０、３０、４０が、相互に離隔して平行に配置されており、かつ、全ての多孔電極がカーボン材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】蒸発材料の、蒸着対象物に対向する対向面内で、蒸発流密度の分布を均一にすることができる真空蒸着装置、これに用いられる電子銃及びその蒸着方法を提供すること。
【解決手段】真空蒸着装置１００では、メインコントローラ１４及び／または電子銃ドライバ５９により、電子ビームＢが、蒸発材料１０の上面１０ａの外形にしたがって揺動するように、揺動コイル６２が制御される。これにより、電子ビームが、その上面１０ａ全体に均一に入射される。したがって、蒸発材料１０の上面１０ａからの蒸発流分布（蒸発流密度）を均一にすることができる。その結果、成膜レートの安定化を図ることができ、基板Ｗに形成される蒸着膜の膜厚分布を均一にすることができる。 （もっと読む）

【課題】真空槽に導入されるプラズマと基板との間でプラズマに接する部材がプラズマ中の活性種を失活させることを抑えることのできるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマが導入される導入口１２ａを有する真空槽１０と、導入口１２ａと処理の対象物との間でプラズマに接する中間部材と、を備えるプラズマ処理装置について、中間部材を、導入口１２ａの周囲に吊り下げられた金属製の支柱３０と、支柱３０に連結されて導入口１２ａと互いに向かい合う金属製の対向板３１と、から構成する。そして、支柱３０及び対向板３１を、シリコン酸化膜３５により被覆する。 （もっと読む）

【課題】色素吸着工程にかかる時間を短縮するとともに、バリア性の高い色素増感型太陽電池を製造することができる色素増感型太陽電池の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】導電性基板上に設けられた酸化物半導体層１６に色素を吸着させた光電極と、対向電極１２と、光電極及び対向電極１２との間に介在する電解液とを備えた色素増感型太陽電池の製造装置において、導電性基板上に酸化物半導体層１６が設けられた光電極の前駆体と対向電極１２とがシール材１３を介して固定されるとともに連通孔Ｈ１，Ｈ２を介してその内部空間が外部に連通されたセルＣに接続され、セルＣの内部空間を減圧する排気系２５と、光電極の前駆体の水分吸着量を減少させるヒーター２１と、色素が溶解又は分散された色素液ＤＳを貯留する色素液貯留部２８と、色素液貯留部２８とセルＣの供給側連通孔Ｈ２とを連通する流路を開閉する色素液制御弁Ｖ１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】電動機で回転駆動されるインペラによりジェット水路に吸い込んだ外部の水を加圧し、この加圧した水を噴射して推力を得る電動機ウォータージェット推進機を、電動機が過熱されることを防止でき、メンテナンス性のよい構造とする。
【解決手段】吸込口１１と、吐出口１２と、吸込口から吐出口に通じるジェット水路１３とを有するケーシング１を備える。ケーシングの吸込口側の端面１４ａを構成する隔壁１４に連続して電動機ハウジング２をケーシングに一体に形成する。インペラに連結される駆動軸３を、隔壁を通して電動機ハウジング内に挿入し、電動機ハウジング内に存する駆動軸の部分に回転子６１を設けると共に、電動機ハウジング内に固定子６２を設けて電動機６を構成する。 （もっと読む）

【課題】信号遅延の抑制と絶縁性の向上との両立が可能な絶縁膜形成方法及び絶縁膜形成装置を提供する。
【解決手段】
シリコン貫通電極用の貫通孔が形成されたシリコン基板を備える基板Ｓに絶縁膜を形成するに際し、抵抗加熱ヒータ３３Ｈによって加熱された基板Ｓを収容する反応室３１Ｓに、酸素ガス及びキャリアガスであるアルゴンガスと混合されたＺｒ（ＢＨ_４）_４を供給する。そして、Ｚｒ（ＢＨ_４）_４を上記基板Ｓ上で熱酸化することによって、基板Ｓの表面及び上記貫通孔の内側面にジルコニウム、ホウ素、及び酸素を含む絶縁膜の一つであるＺｒＢＯ膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】多量の水素ガスを発生させることができる水素ガス発生方法及び水素ガス生成材を提供する。
【解決手段】本発明の水素ガス発生方法は、水素ガス生成材を、Ｓｎ及びＢｉの少なくとも一方を０．５〜２０重量％の範囲で含有し、残部がアルミニウム及び不回避的な不純物とである薄片状のアルミニウム合金Ａとし、このアルミニウム合金を水または食塩水と反応させてなる。このアルミニウム合金は、原料合金の溶湯を回転する水冷ロール７に接触させて冷却する工程を含むストリップキャスティング法により作製され、この水冷ロールの周速度を１ｍ／ｓｅｃ〜２０ｍ／ｓｅｃの範囲に設定した。 （もっと読む）

【課題】基板面内の膜組成及び膜特性を均一に保持することが可能な薄膜製造方法および薄膜製造装置を提供する。
【解決手段】ステージ５２上の基板Ｗを加熱しつつ、ステージ５２と対向するガスヘッド５３から、蒸気圧の異なる複数の金属元素を含む第１の成膜用ガスが基板Ｗの中央に供給され、複数の金属元素を第１の成膜用ガスとは異なる組成比で含む第２の成膜用ガスが基板Ｗの周縁に供給されることで、基板Ｗ上に薄膜が製造される。チャンバ５１内では基板Ｗ上の中央から周縁に向かってガスの流れが発生するが、第１の成膜用ガスと第２の成膜用ガスとによって、基板Ｗ上のガスの分布を最適化することができる。 （もっと読む）

【課題】硫化せず、高反射率を維持できる反射膜と、その反射膜を用いた装置を提供する。
【解決手段】
本発明の有機ＥＬ装置２ａでは、有機ＥＬ膜３６ａから放出され、本体基板１１ａ側に放出された発光光を反射膜４０ａで反射して、フロントパネル３９ａから放出させる。反射膜４０ａが有する銀薄膜は、銀以外の金属で酸化物を形成する添加金属を、銀と添加金属の合計原子数に対して０．５原子％以上含有し、酸素を、銀と前記添加金属と酸素の合計原子数に対して０．５原子％以上２０原子％以下の範囲で含有する。添加金属の酸化物が銀薄膜中の銀微小粒子を覆うので、イオウを含むガスが銀と接触せず、硫化が発生しない。 （もっと読む）