【課題】部品の母材を傷付けることなくパリレン膜を効率よく除去することができる除膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置を用いて成膜対象物に対しパリレン膜を成膜したとき、この成膜装置の構成部品Ｂに付着したパリレン膜Ｐを除去する除膜方法において、パリレン膜Ｐが付着した構成部品Ｂたる防着板の表面にペレット状のドライアイスを吹き付けて衝突させるブラスト工程を含む。このブラスト工程に先立ち、防着板を加熱する加熱工程を更に含ませてもよい。 （もっと読む）

【課題】従動部又は駆動部の内部構造に改造を加える必要がなく、従動部の固有振動を容易に抑制することができる磁気結合式回転導入機、ロボット装置、回転導入方法を提供する。
【解決手段】互いに対向して配置され、互いの対向する表面にはそれぞれ、同一の回転軸線を中心とする円周に沿ってＮ極とＳ極の磁極が交互に並んで設けられた従動部と駆動部とを用いて、駆動部を回転軸線を中心に回転させ、駆動部の磁極から従動部の磁極にかかる磁力により、従動部を駆動部の回転方向と同じ方向に回転させる際に、従動部の固有振動数ωを予め求めておき、静止状態にある駆動部を、下記数式（１）を満たす加速時間ｔ_aだけ等増速加速度で加速させて回転速度ｂで回転させることにより、静止状態にある従動部を回転速度ｂで回転させる。すると、以後の従動部の固有振動が抑制される。
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【課題】サセプターのうち基板が配置される範囲内を均一な温度に維持できる成膜装置を提供する。
【解決手段】
回転部３０により板部２１を筒部２２と一緒に回転させながら、ヒーター２３によって板部２１と筒部２２とを加熱し、原料ガス導入部１３から真空槽１１内に原料ガスを導入し、板部２１の表面に配置された基板５１に薄膜を形成する成膜装置１０であって、板部２１のうち、基板５１が配置される範囲より外側には、基板５１が配置される範囲の厚みより厚みが薄い第一の熱抵抗部分４１が環状に設けられており、基板５１が配置される範囲内から外側に熱が逃げにくくなっている。 （もっと読む）

【課題】サセプタからの熱逃げが抑制され、かつサセプタ支持部材の熱による破損を防止できる成膜装置を提供する。
【解決手段】
ヒーター２３によってサセプタ２１を加熱し、原料ガス導入部１３から真空槽１１内に原料ガスを導入し、サセプタ２１の板部２１ａの表面に配置された基板５１に薄膜を形成する成膜装置１０であって、サセプタ２１の筒部２１ｂの端部とサセプタ支持部材３１との間には、サセプタ２１とは別の材質である熱抵抗部材２２が配置されており、サセプタ２１の熱が熱抵抗部材２２で遮られてサセプタ支持部材３１に伝わりづらくなっている。 （もっと読む）

【課題】充填剤８と透明性ガラス基板１との接着力を高め長期信頼性に優れたモジュールを製造可能とする。
【解決手段】透光性ガラス基板１上に、透明電極層２、光電変換層４、裏面電極層６を積層した太陽電池活性部１１を有する太陽電池モジュール１０の製造方法において、
太陽電池活性部の周辺部１２の透明電極、光電変換層、裏面電極を機械的研磨で除去する工程と、機械的研磨で除去する部分より太陽電池活性部側領域１２ｃに隣接した光電変換層４、裏面電極層６を光ビーム２１により除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フロースルーセルに装着される検出チップの対向面への貼り付きを防止し、弾性部材の圧縮率を一定にすることが可能な構造を提供することを目的とする。
【解決手段】 溶液に両側又は片側が浸される圧電素子を基板上に設けることにより構成される検出チップの固定構造であって、前記基板上の前記圧電素子を除く前記基板の端部を上下から挟持して固定するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で固定子のコアとコイルエンドを十分に冷却することができるキャンドモータを安価に提供する。
【解決手段】本発明のキャンドモータ１は、ケーシング２と、ケーシング２内に設けられ、シャフト９に取り付けられた回転子１０を収容する気密構造のキャン５と、ケーシング２内のキャン５によって隔離された固定子空間４Ａに配置された固定子４とを有する。ケーシング２に、固定子空間４Ａに連通し、ケーシング２の外部の空気を固定子空間４Ａに導入するための第１の通気口１１が設けられるとともに、第１の通気口１１に対して送風するファン１３が設けられている。ケーシング２のキャン５を挟んで反対側の位置には、ケーシング２内の空気を排出するための第２の通気口１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】Ｉ‐III‐VI化合物からなる量子ドットを形成することができる量子ドット増感太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】透明電極層２０を有する基板１１に形成された酸化物半導体層２１と、該酸化物半導体層２１上に形成されたＩ‐III‐VI族半導体からなる量子ドット２２とを有する光電極を備えた量子ドット増感型太陽電池の製造方法において、透明電極層２０が形成された基板１１に、酸化物半導体層２１を形成する工程と、酸化物半導体層２１が形成された基板１１を、Ｉ族元素及びIII族元素を含有する金属イオン溶液と、VI族元素含有溶液とに交互に接触させて、酸化物半導体層２１上にＩ‐VI族化合物を主成分とする微粒子を形成する工程と、Ｉ‐VI族化合物に、少なくともIII族元素をドープする工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板の表面と裏面に互いに異なるパターンの配線を形成できる配線基板製造方法、タッチパネル式表示装置製造方法、露光装置、配線基板、タッチパネル、タッチパネル式表示装置を提供する。
【解決手段】
直線偏光性を有する基板１２の表面と裏面に、透明な導電性薄膜３１ａ、３１ｂと、感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂとを順に形成し、感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂ上に、マスク３７ａ、３７ｂをそれぞれ配置し、マスク３７ａ、３７ｂに、基板１２を透過しない方向に偏光された露光光を照射し、マスク３７ａ、３７ｂを透過した露光光を、感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂにそれぞれ照射した後、現像し、現像された感光性レジスト膜３２ａ’、３２ｂ’間に露出した導電性薄膜３１ａ、３１ｂを除去し、第一、第二の配線１４ａ、１４ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でモータ部と駆動部を十分に冷却することができる偏心旋回駆動装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ケーシング２と、ケーシング２内に設けられた気密構造のキャン５と、ケーシング２内のキャン５によって隔離された固定子空間４Ａに配置された固定子４とを有する。キャン５内には、固定子４と対応する回転子１０を有し所定の回転軸Ｏを中心として回転可能に支持された筒状の回転シャフト９と、回転シャフト９内において回転軸に対して偏心して配置されるとともに回転軸と平行な回転軸を中心として回転可能に支持された旋回シャフト９ａとが設けられる。ケーシング２に、固定子空間４Ａに連通し、ケーシング２の外部の空気を固定子空間４Ａに導入するための第１の通気口１１が設けられるとともに、第１の通気口１１に対して送風するファン１３が設けられている。 （もっと読む）