【課題】簡単な構成でモータ部と駆動部を十分に冷却することができる偏心旋回駆動装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ケーシング２と、ケーシング２内に設けられた気密構造のキャン５と、ケーシング２内のキャン５によって隔離された固定子空間４Ａに配置された固定子４とを有する。キャン５内には、固定子４と対応する回転子１０を有し所定の回転軸Ｏを中心として回転可能に支持された筒状の回転シャフト９と、回転シャフト９内において回転軸に対して偏心して配置されるとともに回転軸と平行な回転軸を中心として回転可能に支持された旋回シャフト９ａとが設けられる。ケーシング２に、固定子空間４Ａに連通し、ケーシング２の外部の空気を固定子空間４Ａに導入するための第１の通気口１１が設けられるとともに、第１の通気口１１に対して送風するファン１３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】保護基板に開口部が設けられていることに起因するシール性の低下を防止することにより、光電変換体の劣化・腐食を防止し、太陽電池の出力低下や寿命減少などの性能低下を抑えた太陽電池モジュールを提供する。
【解決手段】本発明に係る太陽電池モジュール１Ａ（１）は、基板１１の一面１１ａに光電変換体１２が形成されてなる太陽電池１０と、光電変換体上に配された集電電極２０と、集電電極に一端が電気的に接続され且つ光電変換体上に配された取り出し電極２１と、基板の一面に光電変換体を少なくとも被覆するように配されたシール部材３０と、シール部材上に配された保護基板４０と、を備え、取り出し電極の他端２１ｂが、保護基板に設けられた開口部４１を通じて外側へ延設されており、開口部を少なくとも塞ぐように、シール部材と保護基板との間に ポリイソブチレン系又はブチル系の樹脂からなる封止部材５０が配されている。 （もっと読む）

【課題】フィルタの目詰まりが少なく粒子を容易に回収できる回収装置及び回収方法を提供する。
【解決手段】
内部に液体が収容されるタンク１１と、タンク１１の内部に配置され、内部を第一の容積２１と第二の容積２２に分離するフィルタ１２と、第一の容積２１にスラリーを供給するスラリー供給部１４と、タンク１１の第一の容積２１内の底面に設けられ開閉可能な主排出口１５と、第二の容積２２内の液体の懸濁度を測定する懸濁計１７と、第二の容積２２内の液体を排出させる排出装置１８と、第二の容積２２内の液体を第一の容積２１に移動させる還流装置１９と、懸濁計１７の測定結果が入力され、測定結果から排出装置１８と還流装置１９とを動作させる制御装置３１とを有し、フィルタ１２は液体が通過可能であり、第一の容積２１に露出された面は、下方に向けられ、付着した粒子が剥落しやすくなっている。 （もっと読む）

【課題】複数の搬送機構を有する搬送ロボットにおいて、スループットを向上させるとともに、搬送ロボット及びこれを配置する真空装置の高さを低く抑える技術を提供する。
【解決手段】回転軸Ｏを中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられた第１〜３の駆動軸１１〜１３と、第１の駆動軸１１によって駆動されて伸縮する上側搬送機構１Ａと、上側搬送機構１Ａに対して下方に配置されるとともに、第２の駆動軸１２によって駆動されて伸縮する左下側搬送機構２Ｌと、上側搬送機構１Ａに対して下方で左下側搬送機構２Ｌと同じ高さ位置に配置されるとともに、第３の駆動軸１３によって駆動されて伸縮する右下側搬送機構２Ｒとを備える。左下側搬送機構２Ｌと、右下側搬送機構２Ｒとが、第１〜第３の駆動軸１１〜１３を挟んで基板搬送方向Ｐの両側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】複数の搬送機構を有する搬送ロボットにおいて、スループットを向上させるとともに、搬送ロボット及びこれを配置する真空装置の高さを低く抑える技術を提供する。
【解決手段】第１及び第２の駆動軸１１、１２に固定された第１及び第２の上側駆動アーム２１、２２によって構成される上側搬送機構１Ａと、第２及び第３の駆動軸１２、１３に固定された第１及び第２の下側駆動アーム５１、５２によって構成される下側搬送機構１Ｂとを有する。第１〜３の駆動軸１１〜１３は同心状に設けられている。上側搬送機構１Ａは、第１の上側平行クランク機構４と第２の上側平行クランク機構５とによって構成される。下側搬送機構１Ｂは、第１の下側平行クランク機構６と第２の下側平行クランク機構７とによって構成される。 （もっと読む）

【課題】酸化マグネシウム膜の面内均一性を高めることの可能なスパッタ装置を提供することにある。
【解決手段】ターゲット表面１２ａに対して基板表面Ｓａを平行に配置する基板ステージ１１と、ターゲット表面１２ａに漏洩磁場を形成する磁気回路と、を有し、ターゲット表面１２ａにて法線方向の漏洩磁場が無い部位をエロージョン部位１２ｅとし、基板表面Ｓａの中心とエロージョン部位１２ｅとを結ぶ線を第１の直線Ｌ１とし、基板表面Ｓａの中心から該基板の径方向に延びる直線を第２の直線Ｌ２とすると、ターゲット表面１２ａの中心とエロージョン部位１２ｅとの距離が基板半径Ｒ１より大きく、第１の直線Ｌ１と第２の直線Ｌ２とのなす角度が４３．５°以上、５４．５°以下である。 （もっと読む）

【課題】微細な溝部の内部に隙間無く導電材料を埋め込み、導電性に優れた配線を得ることが可能な半導体装置の製造方法および半導体装置を提供する。
【解決手段】中間層の形成時に、第２コイル４６および第３コイル６１によってターゲット５３と基体１１との間に磁力線Ｍ１が通るように磁場を発生させることによって、溝部１２の内壁面に均一な厚みで中間層を成膜することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボット２_１，２_２を設置した搬送室１_１，１_２が並設され、搬送室の並設方向中間部を除く各搬送室の周囲複数箇所に処理室Ｆ１〜Ｆ４，Ｒ１〜Ｒ６が配置され、搬送室の並設方向中間部に設けられた基板の受渡し場所Ｍ１〜Ｍ３に、基板Ｓを各搬送ロボットとの間で受渡し自在に支持する基板支持部材３が配置された基板処理装置であって、スループットを向上できるようにしたものを提供する。
【解決手段】基板支持部材３は、基板Ｓを支持する少なくとも上下２段の支持部３１，３２を備える。また、上段支持部３２に支持される基板Ｓの下面から剥離したパーティクルが下段支持部３１に支持される基板Ｓに落下付着することを防止するため、上段支持部３２と下段支持部３１との間に遮蔽板３３を設ける。 （もっと読む）

【課題】亀裂がなく、かつ、抵抗が低いタングステン遮光膜を得ることが可能なタングステン遮光膜の製造方法およびタングステン遮光膜を提供する。
【解決手段】本発明のタングステン遮光膜の製造方法は、基板１１の一面１１ａに窒化タングステン膜を成膜する成膜工程と、窒化タングステン膜が形成された基板１１を熱処理する熱処理工程と、を少なくとも備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細な溝部の内部に隙間無く導電材料を埋め込み、導電性に優れた配線を得ることが可能な半導体装置の製造方法および半導体装置を提供する。
【解決手段】溝部１２を除いた基体１１の一面１１ａ、即ち溝部１２の頂面にエッチングカバー層１４を形成する。エッチングカバー層１４は、例えば、Ｔａ，Ｔｉまたはこれらを含む合金から構成される。エッチングカバー層１４の形成は、例えば、スパッタリング法を用いることが好ましい。 （もっと読む）