【課題】
鉄道建築限界内の支障物を車輌の走行状態において簡単に検出することができる建築限界支障物検出装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、車輌に固定され所定の長さのコーン型の投光光を車輌の前方または後方に投光する投光装置と、車輌に固定され投光光の反射光を所定の視野で受光するカメラと、視野の内側に設定された鉄道建築限界を示す範囲枠あるいはその範囲枠情報とを備えていて、視野において範囲枠あるいは範囲枠情報の内側（境界線上も含む，以下同じ）に所定値以上のレベルの反射光がカメラにより撮影されたときに支障物として検出するものである。鉄道建築限界内の支障物を走行状態において即座にかつ簡単に検出することができる建築限界支障物検出装置を提供することにある。 （もっと読む）

【課題】 表示パネルにチップ型半導体装置とＴＡＢ型半導体装置とを実装する上で、ＴＡＢ型半導体装置を予めＴＣＰから打ち抜いてトレーに収納させる必要をなくす。
【解決手段】 表示パネル１の長辺側張り出し部に実装されるＴＡＢ型半導体装置２ａの供給部１０及び短辺側張り出し部に実装されるＴＡＢ型半導体装置の供給部には、それぞれＴＣＰ２０ａの走行経路２１ａ等とが設けられており、打ち抜き金型２２ａ等により打ち抜くことによりＴＡＢ型半導体装置２ａ等が得られ、移載用ロボット３０のアーム３１の先端の吸着ヘッド３２でハンドリングされて、表示パネル１に実装される。 （もっと読む）

【課題】時間の掛かる調整を行うことなく、基板を平坦に支持しながら、基板の全面を検査する。
【解決手段】基板１を搭載するステージは、ステージベース１１及びブロック１２を含んで構成されている。ステージベース１１の上面には、細長い長方形のブロック１２が、所定の間隔で複数取り付けられている。ブロック１２は、ステージベース１１に取り付けられた後、機械加工によって上面が均一な高さに削られている。各ブロック１２には、吸着孔１３が所定の間隔で複数設けられている。吸着孔１３から空気を吸引することにより、ブロック１２によって支持された基板１が真空吸着されてステージに固定される。基板１のブロック１２で支持されていない部分には、光学系から検査光２が照射される。ステージに搭載された基板１の位置を検査光２の走査方向と直交する方向へ移動して、基板１のブロック１２で支持される箇所を変更する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置を小型化して、設置面積を小さくする。
【解決手段】光学ユニット２０ａ，２０ｂ，２０ｃは、検査光を基板１へ斜めに照射する投光系と、検査光が基板１の欠陥により散乱された散乱光を受光する受光系とを有する。基板１を搭載するステージ１０と光学ユニット２０ａ，２０ｂ，２０ｃとを互いに逆方向に移動して、検査光による基板１の走査を行う。移動前にステージ１０及び光学ユニット２０ａ，２０ｂ，２０ｃを配置するだけのスペースを設ければ、移動後も両者を配置することができるので、基板検査装置が小型化され、設置面積が小さくなる。また、装置の重心の移動が小さくなり、装置の歪みが抑制される。さらに、検査光による基板１の走査が短時間で行われ、検査時間が短縮される。 （もっと読む）

【課題】従来の磁気ディスクまたは磁気ヘッド検査装置は、磁気ディスクまたは磁気ヘッドを検査するための書込みおよび測定リソースを各ヘッドで占有する構成であり、磁気ヘッドや磁気ディスクの同時測定数を増やした場合に同磁気ヘッドの数だけ書込み／測定リソースを増やす必要があるため、装置の小形・低コスト化は困難である。
【解決手段】複数ディスク回転部または複数磁気ヘッドを持つ磁気ヘッドまたは磁気特性検査装置において、書込み信号発生部の出力信号を各磁気ヘッドに切替または分配する手段と、各磁気ヘッドから読出した信号を各測定リソースに切替または分配して出力する手段と、各測定リソースがどのディスク回転部に同期した測定をするかを切替える手段を具えることにより、複数のディスク回転部間または複数のヘッド間で書込み信号発生部および測定リソースを共有する。 （もっと読む）

【課題】基板を移動しながら、ブラシの洗浄力を低下させることなく、大型の基板を均一に洗浄する。
【解決手段】基板搬送機構は、基板１をローラに搭載して所定の速度で移動する。ブラシユニットは、複数のディスクブラシ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆを有し、ブラシユニットカバー２０内には、各ディスクブラシに対してブラシ高さ調整機構が設けられている。各ブラシ高さ調整機は、各ディスクブラシの高さをそれぞれ独立に調整して、各ディスクブラシが基板に接触する圧力を等しくする。ブラシ移動機構は、ブラシユニットカバー２０に連結されたリンク１４によって、ブラシユニットをスライドレール１３に沿って所定距離だけ往復させる。 （もっと読む）

【課題】 ＥＬパネルを構成する透明基板とマスク板とをアライメントするときに、透明基板の撓みによって透明基板とマスク板とを接触することを防止し、高精度にアライメントを行う。
【解決手段】 透明基板１とマスク板２とのアライメントは、夫々の角隅部に形成されたアライメントマーク１Ｍ及び２Ｍをカメラ５により観察して行われるが、カメラ５の被写界深度内で行うために、両アライメントマークはできる限り近接させた状態でアライメントを行う。このとき、透明基板１の中央部分に撓みが生じて透明基板１とマスク板２とを接触させないために、予め透明基板１を反自重方向に向けて僅かに凸形状に湾曲させた状態で、透明基板１とマスク板２とを近接させる。 （もっと読む）

【課題】 ガラス素材のような透明なディスク基板において、両面に加工された微小な凹
凸であるテクスチャの有無、均一性の判断を検査する装置を提供する。
【解決手段】 ガラス素材のディスク基板の両面に形成された、円周方向のテクスチャに
対し、レーザ光を照射して、該ディスク基板の表面粗さを測定する方法・装置において、
上記レーザ光を集束し、ディスク基板の表面に入射するレーザ光の光軸と、テクスチャの
角度を直角とし、ディスク基板表面からの散乱光とディスク基板裏面からの散乱光をセン
サ上に受光し、受光信号から散乱光強度出力を算出し、散乱光強度出力を表示するように
した。 （もっと読む）

【課題】 基板に形成されるアライメントマークに欠損、不良等が生じているか否かを検査可能なように基板をアライメントする。
【解決手段】 基板１の外形を基準として粗位置決めを行い、基板１に形成されるアライメントマークＡ１乃至Ａ４のうち、Ａ１およびＡ２が観察手段Ｃ１およびＣ２に検出できたときには、アライメントマークＡ１およびＡ２を基準として、基板１の回転方向のずれを調整し、各アライメントマークＡ１乃至Ａ４が対応する撮影手段Ｃ１乃至Ｃ４の有効視野の中心に位置するように移動する。この状態において、全てのアライメントマークＡ１乃至Ａ４が検出できるか否かを判定し、アライメントマークに欠損又は不良等が生じているかの検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 少量のエアを消費するだけで、基板を効率的に乾燥させ、かつ乾燥時にミストが発生して乾燥後の基板に付着するのを確実に防止できるようにする。
【解決手段】 コンベア手段１０により基板Ｓが搬送されて、洗浄ステージ１から乾燥ステージ２に移行して乾燥ユニット２０内に導かれるが、まず加熱通路２３において、上下に設けたプレートヒータ２５，２５により基板Ｓに付着している液が加熱されて、乾燥用空気流通路２４において基板Ｓの搬送方向と直交する方向に向けて乾燥用空気が吹付けられる。 （もっと読む）