説明

株式会社日立ハイテクコントロールシステムズにより出願された特許

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【課題】半導体製造装置へウェーハを供給、排出する搬送装置(以下ミニエンと略記する。)では、ウェーハ搬送において、ウェーハ異物付着が発生し易く、微小の異物であっても半導体製造装置に影響を与えてしまう場合があり、歩留まりが悪くなる。そのため、搬送室内全体のクリーン度を保つために、ファンフィルタユニット(FFU)からのダウンフローの均一性および吹き溜まりや巻き上がりを管理する必要がある。
【解決手段】風量管理するために、ウェーハ搬送ロボットの一部(アーム)に風量測定器を取り付けることにより、搬送室内の任意のポイントに測定ポイントを設けることを実現させる。風量測定器からの測定データは、ミニエン内制御コントローラで取り込みデータ管理を行う。 (もっと読む)


【課題】大規模MPU・大規模LSIを使用することで、絶対最大定格値の低下・静電耐圧の減少など故障発生要因の閾値低下により高信頼化が計れなかった。
また、電源投入時に各I/O基板を含めたシステムの異常を監視、異常情報を不揮発性記憶部に格納しても、大規模MPUの基本モニタが動作しない場合、自己診断情報を確認することができずに、原因解明の早期絞込みが困難であるという問題があった。
【解決手段】電源投入時に大規模MPUによる自己診断を行ない、システムに異常があれば立上げを停止する機能を有する小型で最小限の機能を持った故障率の低い小規模MPUを実装し、信頼性の高いシステムの構築を可能とする。また、各I/O基板に実装した書込み可能な不揮発性記憶部に自己診断時の診断情報および異常情報を格納することで、大規模MPUが異常で基本モニタが動作しない場合にも、早期原因の解明を可能とする。 (もっと読む)


【課題】ミニエンに対する着脱が繰返されてもロードポートが規定位置に設定されることを目的とする。
【解決手段】半導体検査装置を含む半導体製造装置にウェーハを自動搬送するミニエンバイロンメント装置と、前記ミニエンバイロンメント装置の前面に縦に着脱自在に取り付けられるミニエンメンテナンスパネル18と、前記ミニエンメンテナンスパネル18に上下左右の方向が調整自在に装着されるロードポート15と、前記ミニエンバイロンメント装置の前面に横並び設けられた一対の回転ローラ110と、前記ミニエンメンテナンスパネル18に設けられ、かつ嵌め込まれる一方の前記回転ローラ110の外周に接合する逆V字溝を上側にもつ上下左右位置合わせ穴21と、前記ミニエンメンテナンスパネル18に設けられ、かつ嵌め込まれる他方の前記回転ローラ110の外周に接合する水平の平坦面を上側にもつ水準合わせ穴22を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、独立した外部ブレーキ機構を設けることなく、少ない部品構成、且つ小型な構造で大きな制動力を得ることのできるブレーキが付加された搬送機構を提供する。
【解決手段】本発明は、架台に設けられている案内レールと、前記案内レールに取り付けられ、案内レールに沿って走行移動する移動案内部材と、前記移動案内部材に設けられるベースと、前記架台に設けられる固定マグネットレールと、前記固定マグネットレールの表裏両面に設けられ、固定マグネットレールの長手方向に間隔をとって並ぶ多数の走行推力用磁石と、前記ベースに設けられ、前記走行推力用磁石との磁気作用により走行推力を起こすモータコイルと、固定マグネットレールを両面から挟持するブレーキ手段を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、前記した従来技術の問題点を解消して、ロードポート装置と基板搬送ロボットとの相互間のデータ通信により安定した基板搬送が可能な基板搬送方法及びロードポート装置と基板搬送ロボットとの相互間のデータ通信により安定した基板搬送が可能な基板搬送システムを提供することである。
【解決手段】本発明の目的は、ロードポート装置のマッピング原点に位置決め基準を設け、基板搬送ロボットのティーチング作業でロードポート装置のマッピング原点をティーチングしてティーチングポイントとし、前記ティーチングポイントを前記ロードポート装置に送信し、前記ティーチングポイントを基準として基板の取り出しの可否を判定することにより、前記ロードポート装置と前記基板搬送ロボットの原点位置のマッチング及び前記ロードポート装置と前記基板搬送ロボットの位置データを共有し、前記ティーチングポイントを補正することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、構成が簡単で安価なウェーハハンドリングロボット装置およびロボットハンドを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、ロボット本体と、前記ロボット本体に設けられたアームと、前記アームに設けられ、ウェーハの搬送をするロボットハンドと、前記ロボット本体を制御する制御装置と、前記ロボット本体、および前記制御装置を載置する装置ベースと、前記装置ベースをアースに設置するアース手段を有し、前記ロボットハンドは、電気抵抗が10〜10Ωであることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】更新用プログラムの事前検証が容易にでき、かつ更新用プログラムによる実行運転と先の実行プログラムによる実行運転の切替えが迅速にできるプラント監視制御装置の提供。
【解決手段】プラントを制御するコントローラと、通信回線を介して接続され運転操作員による監視操作を行う監視操作卓と、実行系と待機系のメモリ空間とを有する分散型制御システム構成のプラント監視制御装置において、待機系のメモリ空間に更新用プログラム・パラメータのローディングを行うローディング機能と、更新用プログラム・パラメータによるシミュレーション試行後に、実行系のメモリ空間に存在する実行用プログラム・パラメータに基づく実行運転から更新用プログラム・パラメータによる実行運転に切替えたり、逆に更新用プログラム・パラメータによる実行運転から先の実行用プログラム・パラメータによる実行運転に切替えたりする切替機能を備える。 (もっと読む)


【課題】本発明は、メモリリークによるハングアップが回避でき、かつ、クライアントに対する情報サービスを継続して提供できる情報管理システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、クライアント端末と、前記クライアント端末に通信手段を介して接続される複数の情報管理サーバを有する情報管理システムにおいて、順次実行される前記情報管理サーバの再起動時期は、メモリリーク等によるハングアップの予想発生時期以前で、かつ再起動が互いに時間的に重ならないようにし、再起動中の情報管理サーバの業務処理を、他の情報管理サーバが代行することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、運転プログラムの改良更新が容易に行うことができるとともに、更新プログラムで実運転をした際に発生するトラブルに対してプラントの稼動を停止させることなく運転が継続できる遠隔監視システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、監視装置と、監視装置から離れた遠隔機場に置かれるプラントと、プラントを制御する制御装置と、遠隔機場に設けられ、制御装置に接続されるとともに公衆回線もしくは専用回線等の通信回線を介して監視装置に接続される現場装置を有し、現場装置に蓄積されるプラント情報を遠隔地から察知することによりプラントの運転状況を監視する遠隔監視システムであって、現場装置は、実運転機能部と、シミュレーション試行機能部と、実運転とシミュレーション試行を切替える切替え機能手段と、実運転に用いてプラントの制御・監視をする運転用プログラムが退避される運転用プログラム退避エリアとを備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】2線式伝送器の消費電流として許容される消費電流で、信号絶縁回路を構成することを目的とする。
【解決手段】低消費電力タイプのフォトカプラを2個用い、1つはパルス幅変調信号で駆動、もう1つをその反転信号で駆動し、それぞれの出力のターンオン時の信号をパルス幅信号の前縁、後縁として取り出すことにより、精度良くパルス幅変調信号の絶縁を行う。 (もっと読む)


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