【課題】本発明の目的は、非定常時のイベント対応業務においても業務従事者の記憶に頼ることなく、過去に実施した例のあるイベント対応の業務を確実に再実行するもので、業務の効率改善、信頼性向上を図るイベント対応の業務管理システムを提供することにある。
【解決手段】本発明は、画面表示するディスプレイと、キーボード入力装置又はポインティングデバイスと、外部から入力されるイベントの文字列を受信するイベント処理部と、文字列からキーワードを抽出するキーワード処理部と、抽出された前記キーワードに対応する業務の業務名称及び業務内容をリスト化し、リストに基づいて業務従事者により選択された前記業務の作業内容を表示処理する操作ガイダンス部と、選択された作業内容を操作ガイダンス部に通知処理する操作受信部とを有することを特徴とするイベント対応の業務管理システムにある。 （もっと読む）

【課題】バックアップ電源がないため保守作業が不要で機器構成が簡単かつ長寿命で、しかもプラントから受信するデータを確実に保存でき、データの信頼性が高いプラント用ネットワーク機器及びデータ修復方法を提供する。
【解決手段】プラントから送信されるデータが伝わるバス９に、コンピュータ１を介してデータを記録保存する大容量メモリ４と、コンピュータ３に電源を供給する平滑コンデンサを有する電源回路３と、電源遮断を監視する電圧監視回路２とを接続している。また、バスには論理回路を接続し、この論理回路６を介してデータの記録保存をする高速メモリ５を備えて構成することを特徴とするものである。大容量メモリ４と高速メモリ５には、不揮発性メモリを使用する。電圧監視回路２で電源遮断を電源遮断の監視し、電源遮断の時に高速メモリ５に一時的に記録したデータを、電源の復電時に高速メモリ５からデータを大容量メモリ４に格納修復する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送の際、基板への異物の付着を最小限に止め、ハンドの動作領域を小さくする最小限の外形寸法に抑えた軽量でコンパクトな基板把持ハンド装置と基板把持方法及びそれを用いた基板搬送装置並びに基板処理装置を提供する。
【解決手段】ハンド基板２００と、該ハンド基板上に設けられ左右に配置され前記基板１００の側面に接触する一対のアーム２０８と、該アーム２０８による前記基板１００への接触側に対して対向側で前記基板１００に接触するように前記ハンド基板上に設けられた駆動プレート２０４とを有し、前記アーム２０８と駆動プレート２０４との連動によって前記基板１００を把持する。 （もっと読む）

【課題】各モータの同期動作を容易に制御できると共に、省配線化及び小型化を実現できる多関節搬送装置を提供する。
【解決手段】複数のアーム２２・・５２が互いに関節を介して回転可能に連結され、前記関節に設置された複数のダイレクトドライブ方式のモータ２１０・・５１０を有し、該複数の各モータの駆動により前記各アームを回転させて最後の前記アームに搭載した被搬送体を搬送する多関節搬送装置において、前記各モータの制御に必要な電気信号を光信号に変換して伝達する制御装置１１１と、前記光信号を電気信号に変換すると共に電気信号を光信号に変換する信号変換器２１・・４１と、前記制御装置からの前記光信号を前記信号変換器に伝達する光通信手段１１３と、該信号変換器によって変換された前記電気信号によって前記各モータを駆動すると共に前記モータからの前記電気信号に基づいて前記各モータの駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】内部容積を小さくでき、真空排気と同時にウェーハのノッチアライメントが可能で、その時間を短縮できるロードロック装置とその方法及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】真空状態が形成可能なチャンバ３０１と、チャンバ３０１に設けられウェーハ３０５の出し入れを行うと共に大気状態と真空状態との双方において各開閉可能なゲートバルブ３１５と、ウェーハを回転可能に搭載する搭載手段３０６と、チャンバ内を真空状態にする真空排気手段３１０と、チャンバ内を大気状態に戻すためのパージ手段３０８と、搭載手段３０６搭載されたウェーハ３０５の中心位置と向きを検出する検出手段３２０と、搭載手段３０６を回転させる回転駆動部３０４と、検出手段３２０によって検出された出力に基づいて前記向きを所定の向きに配置されるように回転駆動部３０４を回転させる制御手段３１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】何らかの原因で製品不良が発生し、その原因を特定する際に原料に関する製造者、原料ロット等の特定や製造に関する作業者、製造装置、製品ロット等の特定を迅速に行うことが可能な製造実績データ管理システムを実現する。
【解決手段】原料不良が発生した場合に、製造管理コンピュータ２に格納された実績データに基づいてこの不良原料を含む全製品を特定する。不良原料の特定を行い、次に、その不良原料の購入先及び原料ロットＮｏの特定を行なう。続いて、製造管理コンピュータ２に格納された実績データを検索して不良原料ＬＯＴＮｏを含む品種を検索し、不良原料ＬＯＴＮｏを含む製造ＬＯＴＮｏを検索し、特定する。特定された製造ＬＯＴＮｏの製品コード、製品名を検索し特定し、不良原料を含む全製品を特定する。 （もっと読む）

【課題】プラントによる品種製造において、異なる原料の投入や投入配管ルートの変更および品種製造の改善といった修正を加える場合や、品種製造や原料の追加を行う場合において、迅速に適切な作業が行えるプラント制御装置を実現する。
【解決手段】製造の全体の流れの制御は親ＳＦＣで記述され、仕込弁等の制御機器の詳細な制御はタイムチャートにより記述され、タイムチャートは、縦方向に対象となる原料投入の仕込弁等の制御機器を示す出力信号リストが配置され、横方向には工程名称と原料投入の制御順番に当たるステップが合わせて配置される。現在ステップから次のステップへの移行は、移行する条件を論理式で表現し、条件式が真のときにステップが移行するように制御される。 （もっと読む）

【課題】オープンカセットを載置した傾転ドアの自動傾転を緩やかに行なってオープンカセットに内置される被処理基板への衝撃を緩和させることを目的とする。
【解決手段】オープンカセットケース内基板の出し入れをする出入口が設けられる固定フレーム部１０５と、固定フレーム部１０５に回動自在に支持され、かつ出入口より出し入れする基板積載カセットケース１１０を載置する傾転ドア１０１とを有し、カセットケース１１０を横置状態に回動する傾転ドア１０１の閉成動作力、および縦置状態に回動する傾転ドア１０１の閉成動作力を加えるエアシリンダ３０１、３０２と、傾転ドア１０１の回動を抑制する油圧ダンパ３０３，３０４を含むダンパを設けたこと。 （もっと読む）

【課題】ウェーハアライメント専用装置やウェーハアライメント用のアクチュェータを使用せずに、フットプリントを最小に抑えて、低発塵でかつ、高スループットなアライメント機能を有するウェーハの搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハを把持するウェーハ把持部４１と、前記ウェーハ把持部４１を支持するアーム部４０と、機台１とを有し、前記機台１は、機台座１０と、前記アーム部４０を固定支持し、かつ前記機台座１０に対して回転自在なる旋回基軸３とを有し、前記ウェーハ把持部４１は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサ５を有し、前記ウェーハが載置されるウェーハ置台１１を前記旋回基軸３が回転する回転軸心上に位置するように前記機台１に設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、把持部材が精密薄板材のエッジ部を把持する際の衝突力を小さくし得る精密薄板材の搬送装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、精密薄板材（１５）のエッジを把持する複数の把持部材（１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ，１１Ｂ，３２Ａ，３２Ｂ，３３）の移動速度を、前記精密薄板材（１５）のエッジに接触する直前に減速させる減速手段７を設けたのである。
上記構成とすることで、把持部材の精密薄板材への接触直前の移動速度を遅くできるので、把持部材の精密薄板材に対する衝突力は小さくなり、その結果、衝突による精密薄板材からの損傷粒子の発生を少なくすることができる。 （もっと読む）