【課題】接合ウェーハを破壊することなく、接合界面に間隙が生じていない場合であっても、局所的な接合部の接合強度を検査することができる検査装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ接合強度検査装置１００は、接合ウェーハ２００を保持する試料ステージ１６０と、テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生器１５１と、接合ウェーハ２００を透過又は反射したテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出器１５７と、テラヘルツ波検出器１５７によって検出したテラヘルツ波より接合ウェーハ２００のＴＨｚ波特性を演算する演算部と、を有する。演算部は、予め求めた基準試料のＴＨｚ波特性と接合強度の間の関係から、検査対象の接合ウェーハのＴＨｚ波特性に対応する接合強度を演算する。 （もっと読む）

【課題】データ管理方式が異なる２つのシーケンス制御ネットワークを接続するインタフェースモジュールにおいて、一方のシーケンス制御ネットワークとインタフェースモジュール間で通信異常が発生しても、他方のシーケンス制御ネットワークが誤ったデータに基づいてシーケンス制御を行うのを防止する。
【解決手段】シーケンス制御ネットワークへ送信する通信異常時用の送信データと、シーケンス制御ネットワークに対して送信データを送信するためのデータ送信シーケンスとを備える（Ｓ１，Ｓ２）。シーケンス制御ネットワークとの間で通信異常が発生したかどうかを判定し（Ｓ３）、一方のシーケンス制御ネットワークとの間で通信異常が発生した場合には、他方のシーケンス制御ネットワークへ送信する送信データを、他方のシーケンス制御ネットワークに対するデータ送信シーケンスに従って、他方のシーケンス制御ネットワークへ送信する（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットのθ軸が回転した時の角度誤差を検出することが可能であり、検出した角度誤差からθ軸の角度補正を行う機能を有する基板搬送装置を提供する。
【解決手段】アーム１３を有し基板７を搬送する搬送ロボット２と、基板７を外部に搬送するための開口部８とを備える。搬送ロボット２は、θ軸モータによりアーム１３を回転させ、Ｒ軸モータ１１０によりアーム１３を伸縮させる。開口部８のフレームに、投光器から受光器へセンサ光を投射する検出センサ４、４’を備える。搬送ロボット２が、アーム１３を伸縮して、開口部８を通して基板７を搬送する過程において、基板７が検出センサ４及び検出センサ４’のセンサ光を遮光し始めた時と、検出センサ４及び検出センサ４’がセンサ光の遮光が終了して再び受光し始めた時との、Ｒ軸モータ１１０の回転角度を用いて、θ軸モータの回転角度とアーム１３の回転角度との差である角度誤差αを求める。 （もっと読む）

【課題】流体を収容するタンクの流体レベルを、タンクから流体を取り出すための取り出し管を用いることなく、長時間に亙って正確に測定できる取り出し管が不要な流体レベル計測装置を実現する。
【解決手段】バランス管４１には取り出し管は無く、ソレノイドコイル４５がバランス管４１の外側に巻かれている。ソレノイドコイル４５の内部には磁性体４７を内包したフロート４６が配置されている。フロート４６の表面は、その外部から流体及び水素が侵入しないよう金属などのカバー５９で覆われている。バランス管４１内の液体レベルに応じて、フロート４６が移動すると共に、ソレノイドコイル４５のインダクタンスも変化する。このソレノイドコイル４５のインダクタンスを測定することによって取り出し管を用いることなくバランス管４１内の液体レベルを計測することができる。 （もっと読む）

【課題】汚泥炭化処理設備において、汚泥の自燃を考慮したうえで、炭化炉の燃焼温度を一定に保つことができる温度制御方法を提供する。
【解決手段】切出し装置が備える回転部の回転により汚泥を切出して炭化炉に供給し、炭化炉で汚泥を燃焼させて炭化処理する汚泥炭化処理の温度制御方法において、炭化炉内の温度を計測し（Ｓ２０２）、炭化炉内の温度が予め定めた温度以上（Ｓ２０３）に、予め定めた時間以上（Ｓ２０５）なっている場合には、切出し装置の回転部の回転数を減少させる（Ｓ２０６）。 （もっと読む）

【課題】煩雑な操作をすることなく所望のトレンドグラフを表示することが可能であり、かつ、異常発生時のプロセスデータが上書きされて保存できなくなることを防止できる計装用操作卓を提供する。
【解決手段】プロセス製造装置を監視制御するプロセス監視制御システムに用いられ、プロセス製造装置のプロセスデータを収集・蓄積する計装用操作卓１において、プロセス製造装置についての情報であるフィードバック制御情報１３Ａと、プロセスの工程についての情報であるシーケンス制御情報１３Ｂとを有する。プロセス製造装置からの警報を受信し、フィードバック制御情報１３Ａとシーケンス制御情報１３Ｂとに基づいて、警報を発生させたプロセス製造装置のプロセスデータ１３Ｃと、このプロセス製造装置に関連するプロセス製造装置のプロセスデータ１３Ｃとを取得し、取得したこれらのプロセスデータ１３Ｃをトレンドグラフ１１Ｂとして表示する。 （もっと読む）

【課題】プロセス制御装置のＣＡＮ通信回線上において、プロセス入出力部の通信異常を検知し、通信異常を起こしているプロセス入出力部を特定して、他のプロセス入出力部の通信に影響を与えないように通信を遮断することが可能な通信異常遮断装置を提供する。
【解決手段】ＣＡＮ通信回線で接続されるプロセス制御コントローラ１とプロセス入出力部６とを備えるプロセス制御装置に用いられる通信異常遮断装置３であり、ＣＡＮ通信回線上に設置され、プロセス制御コントローラ１との通信を送受信する第１のトランシーバと、プロセス入出力部６との通信を送受信する第２のトランシーバを備える。プロセス入出力部６〜８から受信した通信のドミナントが、設定時間内に設定回数以上、６ビット連続した場合には、第１のトランシーバと第２のトランシーバを接続してプロセス入出力部６からプロセス制御コントローラ１への通信を伝送している通信回線を切断する。 （もっと読む）

【課題】
フェムト秒レーザなどの高額な装置を追加することなく、テラヘルツ周波数を用いた物性測定の高速化を図る。
【解決手段】
フェムト秒レーザ１からのレーザはポンプ光３とプローブ光４に分け、ポンプ光３でテラヘルツ波発生素子６を照射する一方、プローブ光４はビームスプリッタ１６ａ、１６ｂ、１６ｃで４本に分岐し、夫々時間遅延ステージ１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄを介して複数のテラヘルツ波検出素子１０a〜１０dを照射する。テラヘルツ波検出素子１０a〜１０dは、プローブ光が照射された瞬間のテラヘルツ波受信強度に応じた電流を出力するので、プローブ光４ａ〜４ｄに波形測定範囲の４分の１ずつ遅れ時間を持たせることにより、
測定範囲を4分割して並行処理可能とし、物性測定の高速化を実現する。 （もっと読む）

【課題】
ファンフィルタユニットの風量を上げることなくダウンフローの流れを維持し、異物の巻き上げ等を抑えて高い局所クリーン性能を発揮する局所クリーン化搬送装置の提供。
【解決手段】
基板搬送ロボット１０３は往復移動することができ、実線２０２の位置へ移動した場合、局所クリーン化搬送装置１０１の側面に設けられた開口量調節機構Ａの開口量調節板４０２を作動して開口部４０２を開ことで、基板搬送ロボット１０３により押された空気が側面にぶつかって巻き上がらないようし、矢印４０３、４０４、４０５、４０６の様に外部へ排出する。
また、基板搬送ロボット１０３が遠ざかる場合は、開口部４０１が閉じ、外部からの空気の流入を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】
多元素同時分析を可能とし、運転に必要とされる洗浄作業や消耗品交換の保守作業を低減し、測定データをオンライン伝送する水質管理システムにも好適な蛍光Ｘ線水質計を提供する。
【解決手段】
測定試料の一部は脱泡槽１４の下部からノズル１３に導かれ、大気中に噴出することでセル等を用いずに流束を形成し、Ｘ線発生素子５からＸ線を投影する。陰極電圧可変用電源装置６はＸ線発生素子５が発生するＸ線のエネルギーが測定目的の元素に固有の蛍光Ｘ線エネルギーより大きくなるように調整され、流束から放射される固有の蛍光Ｘ線を半導体Ｘ線検出素子７で検出し、信号処理装置９で処理することで測定試料中に含まれる複数の元素を同時に測定し、その測定データを管理センターに伝送することで水質管理システムを構成する。 （もっと読む）