【課題】
試料へのダメージが少なく加工効率に優れたイオンミリング装置、更には平面加工および断面加工にも柔軟に対応できる処理能力の高い装置を提供する。
【解決手段】
個別に制御可能な複数のイオン銃3を一つ試料室5に設け、このイオン銃3に対応して複数の試料1を試料ステージ8に設置する。複数のイオン銃3および試料ステージ8は制御装置９によって個別に制御可能であり、複数のイオン銃3を同時に作動させ、試料ステージ8をスイング又は傾斜・回転するすることで、複数の試料を同時に平面加工もしくは断面加工する。 （もっと読む）

【課題】
プロセス制御システムの分野で、システムを構築するに当たってテストを効率化する仕掛けを提供する。
【解決手段】
プロセス制御システムを構成するプロセス機器をソフト的にモデル化し、このソフト的にモデル化した機器モデルを登録する機器モデル登録部２５０と、そのプロセス制御手順を登録するプロセス制御手順登録部２４０とを備え、テスト時には、このプロセス制御手順と関連付けて対応する前記機器モデルを仮想的に作動し、この機器モデルからの動作信号をテスト結果ＤＢ３００に逐次蓄積するとともに、この蓄積データを前記プロセス制御手順と関連付けて登録・テスト用端末６０に画面表示することで、プロセスモデルベースでのテストを実現した。 （もっと読む）

【課題】グラフィック画面を作画する際に、視覚的に登録内容を明確にすることができ、登録・変更を容易に行えてドキュメント作成効率・エンジニアリング効率向上を図ることができる計装用オペレータズコンソールを提供する。
【解決手段】プロセス監視制御システムに用いられ、プロセス状態を表す表示形態を表示してプラント制御装置の運転状態を監視するためのグラフィック画面の作画と表示に用いられる計装用オペレータズコンソールにおいて、表示形態を構成する構成要素と構成要素の詳細情報であるプロパティについての登録情報、及び構成要素とプロパティとの対応を表す関連情報を格納する記憶装置を備える。グラフィック画面２５０上で構成要素が選択されると、登録情報と関連情報に基づき、選択された構成要素と関連付けて、選択された構成要素のプロパティ２６０をグラフィック画面上で表示する。 （もっと読む）

【課題】ミニエンバイロメント装置の筺体の内部における局所的な気流の流速の制御性を向上させ、カセットの内部に保持された処理ワークへの微小異物の付着を抑制する。
【解決手段】内部を清浄な雰囲気に保つ筐体６１と、ファン２及びフィルタ３を含みダウンフロー８を発生させるファンフィルタユニットと、ダウンフロー８を排出するための開口部９と、処理ワーク６を保持するためのカセット４の接続部６２と、ダウンフロー８を局所的に加速するための駆動部を筐体６１の内部に設置した気流発生装置１２とを備えたミニエンバイロメント装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスの際に搬送装置を容易に移動することを可能とし、かつ、再設置時に位置の再現性が得られるようにし、搬送ロボットのティーチングが不要とし、露光装置及びコータ・デベロッパの稼動停止時間の短縮を実現する。
【解決手段】装置固定台２１０と、装置固定台２１０の下面に固定された位置決め用突起部８ａ、８ｂ、８ｃと、位置決め用突起部８ａ、８ｂ、８ｃに対応する位置決め用突起受け部７ａ、７ｂ、７ｃと、装置固定台２１０を鉛直方向に移動させるための昇降機構と、装置固定台２１０を水平移動させるための水平移動機構と、昇降機構を操作するための操作部とを含む搬送装置用位置決め機構を用いる。 （もっと読む）

【課題】コロナ放電を用いたイオナイザの電極針先端部に堆積した不純物がウェーハの表面に落下することを防ぐ。
【解決手段】プリアライナ１の上方を覆うカバー１３と、カバー１３の外周部又は外周部の下方に設置されたイオン供給部１４とを含み、イオン供給部１４のイオン供給口１５がカバー１３とプリアライナ１との間の空間部に向けられているウェーハ除電装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】分散形計算機制御システム（ＤＣＳ）に対し、プロセスデータやアラームイベントデータ、及びオペレータの監視・操作履歴を、互いに関連付けて時系列に保存し、表示することを可能とする運転操作履歴収集システムを提供する。
【解決手段】プラントを制御する分散形計算機制御システム１０９に接続される運転操作履歴収集システム１０８であって、プロセスデータとアラームイベントデータ、分散形計算機制御システムのモニタ１０２の表示画面情報と映像情報、及びオペレータの操作情報を、同期して且つ時系列的に収集し保存する情報収集部と情報保存部を備える。さらに、情報保存部に保存したプロセスデータ、アラームイベントデータ、表示画面情報、映像情報、及び操作情報のうち、任意のデータまたは情報の全てまたは一部を抽出する抽出条件が入力され、抽出条件に基づいてデータまたは情報を抽出し表示装置に同期して表示する演算処理部を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体搬送装置が外部ユニットにアクセスするときに発生する恐れのある気流の乱れ、それによるウェーハへの異物の付着を抑制する。
【解決手段】ファンフィルタユニット４からのダウンフローによって、半導体搬送装置２内の風量は矢印２４のようになる。半導体製造装置１のチャンバー内の状態によって、シャッター２２を開けたときに気流が乱れ、矢印２５，２６，２７の気流が生じ、その影響でウェーハカセット５内のウェーハ６を汚染するおそれがある。そこでロボットアーム２９の上面及び下面に風量測定器２３を設け、気流の乱れ２５，２６を検出して、シャッター２１を閉じることで、ウェーハ６に異物が付着することを防止する。 （もっと読む）

【課題】タンク内の液種が変わった場合でも、作業者の負担を軽減しつつ高精度の液位計測を可能にする。
【解決手段】タンク内の液体の比重を入力する液位計測設定画面、及びタンクの低圧側圧力と高圧側圧力を導入する液体の比重を入力する圧力導入設定画面を表示部２０５に順次に表示し、この設定画面を介して入力された比重を用いて圧力範囲パラメータを算出する演算部２０３と、この演算された圧力範囲パラメータを差圧伝送器に通信する通信部とから設定器を構成することで、差圧伝送器への圧力範囲パラメータを通信によって容易に設定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】長期間不動状態にある信号切替回路において、リレー接点の不伝導皮膜を確実に除去できる信号切替回路および信号切替制御方法を提供する。
【解決手段】長期間不動状態にある信号切替回路において、信号経路を保持したままリレー接点が切替えられリレー接点に電流を流す回路構成とすることにより、リレー接点の不伝導皮膜を除去する。 （もっと読む）