株式会社日立ハイテクコントロールシステムズにより出願された特許

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【課題】質量分析方式を用いて空気中の有害成分等を検知あるいは定量するガス分析装置において、湿度変化による測定対象物質の信号強度の変化に対し、湿度計や内部標準物質を用いることなく簡便に校正する方法を提供する。
【解決手段】大気中に通常含まれる成分ガスのイオンのうち、湿度に対して正の相関を有するイオンと負の相関を有するイオンの湿度依存性をそれぞれデータベースとして保有し、これを利用して測定対象物質の信号強度を校正する。 (もっと読む)


【課題】ウェーハの搬送ハンドを小型、軽量化し、さらに1つのハンドで異なるウェーハ口径でも、ウェーハの撓みや位置ずれを生じさせない最適な吸着位置を選択してウェーハを保持し、ウェーハを目的位置に搬送することができるハンドを提供する。
【解決手段】ウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボットのアームに取り付けられ、ウェーハを吸着保持するための真空吸着穴が設けられたフォークを備えるウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、フォークは、フォーク長手方向を回転軸として自転可能に設けられ、上面がウェーハを保持する保持面を構成し、各保持面には少なくとも1つの真空吸着穴が互いに異なる位置に設けられている構成とした。 (もっと読む)


【課題】本発明は、高い検査精度を保ちつつ分析検査時間を短縮化できる異物探知方法および異物探知装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、検査試料から取得した試料質量スペクトルと標準質量スペクトルより検査試料の異物を求める異物探知方法であって、前記試料質量スペクトルと前記標準質量スペクトルを質量電荷比軸の始端から終端までスペクトル全域に亘り質量電荷比軸方向の区分位置および電荷比区分幅を揃えて両者を区分し、区分した試料質量電荷比区分幅スペクトルと標準質量電荷比区分幅スペクトルを対応する区分位置毎に比較することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】監視制御画面を表示してプラント装置の監視制御を行う際に、操作者の負荷を軽減し、作業効率を向上することができるプラント監視制御システムを提供する。
【解決手段】プラントを制御する制御装置と、制御装置に接続されプラントの監視操作が行われる監視操作卓とを備えるプラント監視制御システムにおいて、監視操作卓は、入出力装置と、制御装置から取得したプラントの監視データを表示する複数の画面15〜17を格納する記憶装置と、記憶装置が格納している複数の画面15〜17を、入出力装置により設定された任意のレイアウトで表示する表示装置とを備える。記憶装置は、表示装置が表示した複数のレイアウトを記憶する。表示装置は、記憶装置が記憶したレイアウトに従って、複数の画面15〜17を1つの表示領域14で表示する。表示領域14に表示されるレイアウトは、入出力装置により切り替え可能である。 (もっと読む)


【課題】点検作業者がプラント内での点検対象設備の設置場所や点検対象設備内の点検箇所が分からない場合であっても点検作業を実施でき、点検漏れや点検ミスを防止することができる現場点検システムを提供する。
【解決手段】携帯端末2は、製造プラントを構成し点検対象となる機器設備5〜9の場所を特定して表示する機能と、機器設備5〜9における点検箇所を特定して表示する機能と、機器設備5〜9の点検結果を入力する機能とを有する。現場点検管理装置1は、携帯端末2に表示する機器設備5〜9の場所を登録しておく機能と、機器設備5〜9の点検箇所を登録しておく機能と、携帯端末2に機器設備5〜9の場所及び点検箇所に関する情報を送信する機能と、携帯端末2から点検結果を受信する機能とを有する。携帯端末2は、印により機器設備5〜9の場所及び点検箇所を特定して表示し、機器設備5〜9の場所を2次元画像または3次元画像で表示する。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェーハ搬送装置の自己診断及び自動補正において、停止時間を短縮し、メンテナンスを簡略化し、半導体ウェーハ搬送装置の原価を低減する。
【解決手段】ウェーハ収納容器を設置可能なロードポート部と、ウェーハを把持するハンドを有し、前記ウェーハを搬送する搬送ロボット部と、前記ウェーハの方向決めを行うアライナとを含む半導体ウェーハ搬送装置であって、前記ロードポート部及び前記アライナの少なくとも一つが前記ロードポート部又は前記アライナに備えられたセンサを有し、前記センサを用いて前記ロードポート部及び前記アライナの少なくとも一つに対する前記ハンドの位置を計測し、この計測値に基づいて前記ハンドの位置の補正を行うコントローラを有する。 (もっと読む)


【課題】既存のセンサ等を利用してウェーハ収納容器の内部に収納されたウェーハサイズを確実に判別する。
【解決手段】ウェーハを収納したウェーハ収納容器を供給するためのロードポート部と、前記ウェーハを把持するハンドを有し、前記ウェーハを搬送する搬送ロボットとを含み、前記ロードポート部に、前記ウェーハの収納状態を検出するためのウェーハ飛び出しセンサを設置したウェーハ搬送装置に、前記ウェーハ収納容器から前記ウェーハを取り出す際に前記ウェーハ飛び出しセンサを用いて前記ウェーハの直径を判別するウェーハサイズ判別部を設ける。 (もっと読む)


【課題】ロボット動作を診断して不具合を回避することができ、かつ、異常部位の詳細表示やパネル上でのロボット動作の再現により、メンテナンス時間を短縮できるロボットの動作診断方法を提供する。
【解決手段】複数の駆動軸をそれぞれ駆動する複数のモーター、マニピュレータ、及びセンサを有し、駆動軸によりマニピュレータを移動させるロボットの動作診断方法において、少なくとも1つの駆動軸に対し、ロボットの診断対象とする動作パターンを設定し、ロボットの初期状態での動作パターンにおいて、複数回計測したモーターを制御する制御装置の複数の入出力信号と、センサまたはマニピュレータを制御する機器の複数の入出力信号とを判定データとし、新たに計測した判定データを診断データとし、統計的パターン認識方法により診断データが判定データに含まれるかを判別することにより、新たに計測した時のロボットの動作が正常であるか判定する。 (もっと読む)


【課題】ウェーハ搬送ロボット内部の配線作業が困難である配線箇所にてノイズ影響に強く、かつ配線作業効率を向上させることができるウェーハ搬送ロボット及びそれを用いたウェーハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハを把持するアームと、そのアームを支持し内部にアームを旋回駆動させる旋回駆動モータ及びアームを伸縮駆動させる伸縮駆動モータを有するロボット本体部と、そのロボット本体部を移動させるための走行手段とを備えたウェーハ搬送ロボットにおいて、ロボット本体部の内部において旋回駆動モータの周囲を通って配線され、アームの駆動に用いられる信号を伝達するための旋回配線部は、シールド処理が施されたフレキシブルプリント基板を備えた。 (もっと読む)


【課題】通信回線の回線数の冗長化を可能にし、複数台の運転監視操作卓間でデータが同時に一致しているというデータの同時性を保つことができるプロセス監視制御システムを提供する。
【解決手段】表示装置とキー入力装置とを有する運転監視操作卓を備える情報処理装置と、プログラマブルコントローラと、プロセス制御の実行を司る専用モジュールと、プロセス入出力インタフェースとを備えるプロセス制御装置と、情報処理装置とプロセス制御装置とを接続する通信回線とを備える。専用モジュールは、通信回線を冗長化する複数の通信チャネルを有する。また、プロセス制御装置は、専用モジュールで実行されるプロセス制御用プログラムとプログラマブルコントローラで実行されるラダープログラムとを保持し、専用モジュールとプログラマブルコントローラとの間でデータ交信をしながらプロセス制御用プログラムとラダープログラムとを実行する。 (もっと読む)


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