【課題】基板位置や基板表面の状態によらず、基板ＩＤを迅速かつ正確に読み取ることができるアライナ装置を提供する。
【解決手段】基板の表面に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置と、基板搬送時における基板の偏心量を計測し基板のアライメントを行うアライナとを備え、基板の偏心量を計測しアライメントを行う際に、基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り機構において、基板ＩＤ読み取り装置は、基板の偏心量に基づいて基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定された複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて基板ＩＤを読み取る構成とした。 （もっと読む）

【課題】ネットワークの使用中に使用環境が変化しても、システム管理者がセンサの送信出力の微調整を必要とすることなく最適な電波状況で運用でき、無線ネットワークの安定稼動及び電池の長寿命化を図ることができる無線データ監視システムを提供する。
【解決手段】基地局と、電池で動作し周期的にデータを計測しその計測データを前記基地局に無線送信するセンサと、基地局とセンサの無線通信経路を中継する中継器とを備える無線ネットワークシステムと、基地局と無線或いは有線で接続され計測データを監視する監視操作端末とを備えた無線データ監視システムにおいて、センサは、計測データと、基地局とセンサの送受信に関する情報である無線ネットワーク通信情報とを記録する記憶手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】プロセス制御システムの分野でループ図パーツを組み合わせてループ図を作成しこれに基づきプロセス制御プログラムを生成するプロセス制御システムの制御プログラム生成装置において、ループ制御の構築に要する時間を短縮する新たな構成を提供する。
【解決手段】プロセス制御システムの分野でループ図パーツを組み合わせてループ図を作成するものにおいて、シンボルとしてのループ図パーツに、温度制御、圧力制御などの部分的ループ制御機能をパターン化して制御パーツとして予め用意しておき、他のパーツと組合せてループ図を作成し、従来のものより短時間でプロセス制御プログラムを生成する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの搬送時において、エンドエフェクタにウェーハを載置している間に、エンドエフェクタに対するウェーハの載置位置を検出することができるエンドエフェクタ及びそれを用いたウェーハ搬送ロボット、並びにそれを備えたウェーハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボットのアームに取り付けられウェーハを保持するエンドエフェクタにおいて、エンドエフェクタに対するウェーハの位置ずれを検出するために、エンドエフェクタのひずみを検出するひずみセンサを少なくとも１つ備えた。特に、ひずみセンサは３つ設けられ、そのうち１つのひずみセンサは、エンドエフェクタの中心線上に配置され、他の２つのひずみセンサは、中心線に対して互いに線対称となる位置に配置される構成とした。 （もっと読む）

【課題】１台のボイラの蒸発系において制御用センサに異常が発生した場合にも、ボイラの運転を継続可能とする方法を提供する。
【解決手段】給水流量調節弁を備えた給水管と、蒸気供給管と、複数個の制御用センサと、制御装置とを含み、蒸気を供給するボイラの運転継続方法であって、前記複数個の制御用センサのうち、いずれかが故障した場合に、正常に機能している前記制御用センサからの信号を用いて前記制御装置で演算処理を行い、前記給水流量調節弁の操作量を出力することにより前記給水流量調節弁の開度を調節する。 （もっと読む）

【課題】制御装置等に入力されるすべてのプロセスデータをあらかじめ選択や登録をすることなく、様々な解析等に対応できるプロセスデータの長期データ保存機能を有するプロセス監視制御装置を提供する。
【解決手段】プロセス制御を行うとともに、プロセスデータを記録する制御装置と、このプロセスデータを転写して保存するバッファメモリと、このバッファメモリの前記プロセスデータを蓄積データファイルに格納し、この蓄積データファイルの情報を圧縮し、プロセスデータ圧縮ファイルを作成する補助記憶装置と、このプロセスデータ圧縮ファイルを蓄積する外部記憶装置とを含むプロセス監視制御装置であって、前記補助記憶装置は、前記蓄積データファイルを短時間のデータに区切って前記プロセスデータ圧縮ファイルを作成する。 （もっと読む）

【課題】異物除去装置において搬送物に混入した異物を除去する際の電力消費量を低減するとともに、異物とともに除去されて使用できなくなる搬送物を少なくする。
【解決手段】連続的に搬送物を搬送するための搬送部と、前記搬送物に混入している異物を検出するための異物検査部と、前記異物に圧縮空気を噴射するための圧縮空気噴射部と、負圧を発生させる吸引手段を有し、前記異物を吸引するための異物吸引部と、前記異物検査部で前記異物を検出した直後に、前記異物吸引部の吸引操作を開始する制御を行う制御部とを含む。 （もっと読む）

【課題】システムの簡素化と高信頼化を実現した無線ネットワークプロセス監視システムを提供する。
【解決手段】信号変換器１ａ〜１ｄに過去の変換器データと演算周期毎に更新するシーケンス番号を保存するデータ保持部と無線伝送を行うＲＦ送受信部データと送信開始するための待ち時間を計時する送信周期タイマを設け、ゲートウェイ４に変換器データの周期更新を行う収集データテーブル５と計測データテーブル６を設け、収集データテーブル５でシーケンス番号を監視し、周期が遅延した場合センサノードの異常と判定する収集データ格納判定部を設けた。上位計算機３に、ゲートウェイの無線伝送チャネルと信号変換器種別とノードアドレスをゲートウェイに設定するＩＤ設定部と、信号変換器の演算周期から過去の変換器データの時刻を算出し収集した過去の変換器データを計測データ記録ファイルに保存するデータ収集警報チェック部を設け変換器データの欠損を補う。 （もっと読む）

【課題】計装システムの制御機能構築を容易とする制御用端子の自動割付装置を提供する。
【解決手段】計装システムのループ制御機能構築時に必要なループ制御を生成するループ制御生成装置と、ループ制御に使用する演算ブロックを構築する演算ブロック生成装置と、計器区分信号割付範囲指定情報記憶装置に格納されている情報から、計器名称に関連する入力、出力区分の信号割付を生成する計器区分情報生成装置と、演算ブロックに関する信号区分の定義をする演算ブロック定義情報記憶装置と、前記演算ブロック生成装置により生成された制御信号の割付情報を記憶する制御信号割付情報記憶装置と、前記計器区分情報生成装置により生成された、ユーザ指定の計器区分情報を記憶する計器区分信号割付範囲指定情報記憶装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】大気中のジフェニルシアノアルシン、ジフェニルクロロアルシン及びビス（ジフェニルアルシン）オキシドを高感度に連続測定できるモニタリング装置を提供する。
【解決手段】吸引配管１中において大気を加湿して比較的高い一定の湿度に調節し、ジフェニルシアノアルシン、ジフェニルクロロアルシン及びビス（ジフェニルアルシン）オキシドに由来する共通のイオンを測定する。 （もっと読む）