【課題】ウェーハの偏心を解消し、搬送ロボットのハンドと搬送先の基板載置台との干渉を防止する。
【解決手段】
プリアライメント装置１３は、ウェーハ３１を載置した回転載置部１３１を回転させたとき、ラインセンサ１３２から得られるウェーハ３１のエッジ位置情報に基づき、ウェーハ３１の偏心ベクトルを検出し、さらに、回転載置部１３１をその偏心ベクトルの方向がハンド１４１のプリアライメント装置１３に対する挿抜方向と同じになるまで回転させる。搬送ロボット１４は、そのウェーハ３１をハンド１４１で保持して、いったん、プリアライメント装置１３から引き抜き、再度、プリアライメント装置１３へ挿入して、回転載置部１３１へ載置する。このとき、搬送ロボット１４は、ハンド１４１を前に挿入したときよりも、偏心ベクトルの大きさの分だけ、前進または後退した位置まで挿入する。 （もっと読む）

【課題】予加重のバラツキが抑えられた保護ダイアフラムを備えた差圧・圧力伝送器を提供する。
【解決手段】複数の接液ダイアフラム(9)と保護ダイアフラム(1)を有し、空間の圧力を当該空間の外部に伝送する伝送経路(13)を有する受圧部材(1,7,9)を複数備えるダイアフラム式の差圧・圧力伝送器(100)において、受圧部本体(19)は、保護ダイアフラム(1)の外周部(51)に接する外周面(25)を有し、受圧部材(7)は、接液ダイアフラム(9)に接する第１の面(71)と、保護ダイアフラム(1)に接する第２の面(5)とを具備し、第２の面(5)は、保護ダイアフラム(1)の内周部(52,53)に接する内周面(5)を有し、内周面(5)は、保護ダイアフラム(1)の内周部(52,53)を押圧するように、外周部(51)よりも高くなった段付の凸状部として形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】音声入力でシステム操作を行う場合に、操作者（音源）を一意に識別し、システムの保全性やセキュリティを高める。
【解決手段】音声データと、音声入力にかかる操作者の操作者識別コードと、前記操作者が使用している音声入出力端末の音声入出端末コードとを音声入出力端末から取得するデータ受信処理部１０２と、前記音声データから抽出した音声特徴データが、記憶部１０９に格納されている前記操作者の音声特徴データと一致し、かつ前記取得した前記操作者識別コードと、音声入出力端末２コードとが、認証済みであるか否かを判定する操作者判定部１０３と、操作者判定部１０３の結果に従って音声入力によるプラントの操作を行う音声データ解析部１０４、要求テキスト生成部１０５、要求テキスト送信部１０６、応答テキスト受信部１０７および応答データ返信部１０８を有する。 （もっと読む）

【課題】安全かつ簡易な構成の半導体搬送装置のメンテナンスにおいて行うロボット遠隔教示作業のインターロック系統切替機構を備えた半導体搬送装置を提供する。
【解決手段】点検調整用の開口部１０と、この開口部１０を蔽う開閉自在のカバー２と、このカバー２が開状態のときインターロック３が作動し、装置の駆動を停止させるインターロック回路３と、を備えた搬送用ロボットによって半導体試料を搬送する半導体搬送装置１であって、さらに、カバー２が開状態のときに、操作できるキースイッチ４を有し、キースイッチ４は、ノーマルモードＮとメンテナンスモードＭを選択することができ、ノーマルモードＮは、インターロック３を有効とし、メンテナンスモードＭは、インターロック３を無効にするとともに、さらに搬送ロボットの搬送位置を調整する遠隔教示用のティーチングペンダント５の使用を有効とさせる構成とした。 （もっと読む）

【課題】比較的大きな交流電流から、小さい直流電流を取得し、駆動用の電池を不要とすることを目的とする。
【解決手段】電動機などに付設され、測定データを送信する通信端末などに備えられる電源装置１４であって、交流で動作する通信端末１に接続されている電源線３１から交流電流を取得して、当該取得した交流電流の電流値を下げるカレントトランス１１と、カレントトランス１１から交流電流を取得し、当該取得した交流電流を直流電流に変換して、当該直流電流を通信端末１の本体装置１３へ流す整流装置１２と、を有する電源装置１４を提供することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プラント等における非常事態時に際して、迅速に操作権限を付与することを目的とする。
【解決手段】人物の顔画像データを取得し、取得された顔画像データから顔輪郭データや、顔特徴データを抽出し、当該顔画像データや、顔特徴データと、予め顔画像ＤＢ１２１に記憶されている顔画像データや、顔特徴データとを照合し、前記照合の結果、所定の値以上の一致率が算出された場合、前記顔画像データの人物に運転監視操作装置１に対する操作権限を与えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料、特に食品の製造、検査の過程で、食品に混入した異物を高速かつ高精度に検出することができる異物検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】上記課題を解決するために、連続的に試料を移送する搬送手段と、ストロボ光源と、該ストロボ光源からの光を反射して試料の表面や裏面を間接的に照射する反射板と、ストロボ光源の発光と同期して試料を撮影する撮影手段とを備え、上記撮影手段は、試料からの反射光の波長帯域を少なくとも２つ以上に分けて撮影するものであり、それぞれの画像または差分画像から組み合わせて画像を生成し、異物を強調するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、製造プラント向け監視制御装置における機器の異常に対して、作業者が早期に対処できるようにするアラーム管理システムを提供する。
【解決手段】本発明は、製造プラントのフィールド機器のアラーム管理システムにおいて、フィールド機器の異常を監視するオペレータコンソールと、オペレータコンソールから無線送信されるフィールド機器の異常の情報が表示されるディスプレイを有する携帯端末とを備え、フィールド機器の異常の場合に、少なくとも発生日時、機器を示す名称、発生箇所、対処方法を携帯端末のディスプレイへ表示させる構成を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、残留塩素計が汚れやすい試料水が流れる場所に取り付けられた場合でも、自動的に定流量弁内部を洗浄でき、かつその洗浄方法に応じた信号処理方法により、メンテナンスの容易な、汚れに強い残留塩素計を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、試料水の残留塩素を計測する残留塩素計において、計測電極の上流に定流量弁を設け、所定の周期で該定流量弁を開閉する制御部を備える。さらに、定流量弁を開閉する所定の周期に同期して計測電極で残留塩素を計測する。また、定流量弁が開いた後の試料水の流量が安定した時点で計測電極で残留塩素を計測する。また、定流量弁が閉じる以前に前記計測電極で残留塩素を計測する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、いかなるタイミングで電源遮断が発生しても、コンパクトフラッシュ等の外部記録メディアのデータ構造を保護し、かつ、電源遮断前のログデータの復帰を可能とする高信頼性のロギングシステムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、ＳＲＡＭ等の高速アクセス可能な不揮発性メモリにログデータ管理領域を設ける。さらに、管理領域のアクセス時間を保証する低電圧検出回路を設け、管理領域の書込み前にはフラグ値を確認することで、データ管理領域書込み中に電源遮断が発生しない仕組みとし、外部記録メディア内のデータ構造破壊を防止する。さらに、不揮発性メモリ内部にメモリブロックを設け、メモリブロックと外部記録メディアの両方にログデータを書きこみ、電源遮断後の再起動時にログデータを比較チェックすることで、ログデータの整合性を保ち信頼性向上を実現する。 （もっと読む）