説明

浜松ホトニクス株式会社により出願された特許

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【課題】軟X線を用いてベースガスイオンを生成し、このベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応により試料分子イオンを生成することによって、安全性が高く、装置の汚染、試料の分解、及びイオン化室の電界への影響などを抑制でき、試料分子を効率よくイオン化できるイオン移動度計およびイオン移動度計測方法を提供する。
【解決手段】イオン移動度計1は、試料分子をイオン化するイオン化装置2と、イオン化された試料分子の移動度を計測するドリフト室11とを備える。イオン化装置2は、ベースガスをイオン化するとともにベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応を促すイオン化室20と、イオン化室20内へ軟X線を照射する軟X線管3とを有する。軟X線管3は、軟X線の照射量を増減可能に構成されている。 (もっと読む)


【課題】受光部における或る行の各画素部に接続される制御信号用配線が断線した場合に隣接行の画素部への影響を回避することができる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】固体撮像装置1に含まれる受光部10は、M×N個の画素部P1,1〜PM,NがM行N列に2次元配列されたものである。各画素部Pm,nは、フォトダイオードPD、増幅用トランジスタT、転送用トランジスタT、放電用トランジスタTおよび選択用トランジスタTを含む。転送用抵抗器RT,mは、転送用配線LT,mに一端が接続され、受光部10の第m行の各画素部Pm,nに含まれる転送用トランジスタTをオンし得る電位に他端が接続される。放電用抵抗器RR,mは、放電用配線LR,mに一端が接続され、受光部10の第m行の各画素部Pm,nに含まれる放電用トランジスタTをオンし得る電位に他端が接続される。 (もっと読む)


【課題】軟X線を用いて試料分子をイオン化する際のイオン密度を高めることができるイオン化装置を提供する。
【解決手段】イオン化装置1は、本体部21、軟X線管3、及び電極4,5を備える。本体部21は、所定の軸方向に延びており試料分子をイオン化するイオン化室2と、イオン化室2に試料分子を導入する導入口22と、試料分子イオンを排出する排出口23とを有する。軟X線管3は、電子源31と、電子源31からの電子を受けて軟X線を発生するターゲット部32とを有する。電極4,5はイオン化室2の一端側、他端側にそれぞれ設けられている。軟X線管3の軟X線出射軸方向は、上記所定の軸方向と交差している。ターゲット部32に設けられた電極32bと電極5とは、互いに短絡されている。導入口22の中心軸方向は、軟X線出射軸方向と交差している。 (もっと読む)


【課題】加工物の厚さや劈開性に依存せず、加工対象物を切断予定ラインに沿って高精度な切断を可能とするレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】シリコンウェハ11の内部に集光点を合わせてレーザ光を加工対象物1に照射し、切断予定ライン5に沿って集光点を相対的に移動させることにより、切断予定ライン5に沿って、加工対象物1の内部に位置する改質領域M1,M2をそれぞれ形成する。その後、加工対象物1の内部において改質領域M1と改質領域M2との間に位置する改質領域を形成する。 (もっと読む)


【課題】、簡単な構成で光学的クロストークの低減が可能な光検出装置を提供すること。
【解決手段】面M1においてy軸に沿って順に配置された光検出領域15及び17を有する光検出素子3と、互いに隣り合う光検出領域15及び17の各々が有する互いに向き合う端辺L1及びL2の間を端辺L1に沿って通る下地部11と、面M2が面M1に向き合うように光検出素子3から離隔して配置された配線基板5と、面M2のうち下地部11と向き合う領域上に設けられた下地部22と、互いに向き合う下地部11から下地部22に連続して延びると共に端辺L1に沿って連続して延びる遮光性の壁部31とを備え、壁部31は、下地部11及び下地部22の各々と密着しており、光検出領域15及び光検出領域17と面M2上に設けられた配線部23とは導電性バンプ29を介して電気的に接続されている。 (もっと読む)


【課題】小型化が可能なAD変換回路および光検出装置を提供する。
【解決手段】AD変換回路20は、差動増幅部21、第1可変容量部22A、第2可変容量部22B、比較部23、接続制御部24、第1帰還部25Aおよび第2帰還部25Bを備える。差動増幅部21の第1出力端子および第2出力端子から差動信号として出力された電圧値は、逐次比較型AD変換回路(第1可変容量部22A,第2可変容量部22B,比較部23および接続制御部24からなる。)により、6ビットのデジタル値に変換されて出力される。第1共通点Pと第2共通点Pとの間の電位差は、第1帰還部25Aおよび第2帰還部25Bにより差動増幅部21に帰還されて、再び、逐次比較型AD変換回路により、6ビットのデジタル値に変換されて出力される。 (もっと読む)


【課題】反射膜としての金属薄膜の安定性をより向上させたシンチレータパネルを提供すること。
【解決手段】本発明に係るシンチレータパネルは、金属反射膜を備えた支持基板にシンチレータを形成したものであって、支持基板は、放射線透過性の導電性基板と、金属反射膜と導電性基板との間に設けられ、金属反射膜および導電性基板に密着してこれらの接触を防止する無機膜からなる中間膜と、金属反射膜上に設けられ、無機膜を少なくとも有する保護膜と、を備える。 (もっと読む)


【課題】光増幅器等において用いられ増幅用光ファイバから励起光源へのASE光の入射を抑制することができて製造が容易な光学部品を提供する。
【解決手段】光学部品14Aは、ガラス管41、6本の光ファイバ42〜42、光ファイバ43、光ファイバ44および樹脂45を備える。ガラス管41は、第1端41aと第2端41bとの間に貫通孔を有しており、その貫通孔の中に6本の光ファイバ42〜42および光ファイバ43それぞれの被覆除去部が挿入されている。ガラス管41の第1端41aの位置において、6本の光ファイバ42〜42は、光ファイバ43の周囲を取り囲むように細密構造で配置されていて、光ファイバ44の端面は、6本の光ファイバ42〜42,光ファイバ43およびガラス管41それぞれの端面と融着接続されている。 (もっと読む)


【課題】消費電力の増加および熱雑音の発生を抑制することが可能な光検出装置を提供する。
【解決手段】光検出装置1は、フォトダイオードPDm,n,フォトダイオード用スイッチSWm,n,積分回路12及びノイズ除去回路13を備える。積分回路12は、フォトダイオードPDm,nからフォトダイオード用スイッチSWm,nを経て入力した電荷を容量素子Cfkに蓄積して、当該蓄積電荷量に応じた電圧値を出力する。ノイズ除去回路13は、アンプA、5つのスイッチSW31〜SW35、4つの容量素子C31〜C34および電源Vを備える。スイッチSW31が最初に閉状態から開状態に転じた時刻に積分回路12から出力される電圧値を取り込み、この時刻以降、積分回路12から出力される電圧値と先に取り込んだ電圧値との差に応じた電圧値を出力する。 (もっと読む)


【課題】検査感度を向上させるとともに、孔部の場所によらず装置全体として検査感度を均一とすることが可能となる光学式検査装置を提供する。
【解決手段】蛍光発生ユニット5に、蛍光を上方へ反射させるテーパ部6aと反射部12cと、蛍光を通過させる貫通穴13a,14aと形成することで、光検出器7を被検査物2とは反対側に配置することとし、光検出器7が被検査物2や検査光源ユニット3と干渉することを防止し、各部品同士の距離を近づける。これによって、検査面積を広げた場合であっても、被検査物2の孔部への検査光量を増加させ、孔部を通過した検査光の蛍光板への入射量を増加させて、被検査物2の孔部に対する検査感度を向上させることを可能とする。また、被検査物2のエッジ部付近の孔部に対しても、十分な検査光量を確保して、装置全体として検査感度を均一とすることを可能とする。 (もっと読む)


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