【課題】 高発振周波数に対応して小型化する圧電振動板の主振動による振動エネルギーを効率よく得ることができると共に、前記圧電振動板を安定して支持することのできる支持構造を備えた幅縦・長さ縦結合モードの圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 幅縦モードの主振動を伴う一対の主振動辺２２ａ，２２ｂ及び長さ縦モードの副振動を伴う一対の副振動辺からなる四角形状の圧電振動板２２と、一対の主振動辺から外方向に延びる支持アーム２５，２３と、圧電振動板２２の外周に設けられ、支持アーム２５，２３の一端が接続されるフレーム２４とを備えた圧電振動子２１であって、一方の支持アーム２５は主振動辺２２ａから２つの屈曲部２５ａ，２５ｂを有し、他方の支持アーム２３は主振動辺２２ｂから２つの屈曲部２３ａ，２３ｂを有し、これら支持アーム２５，２３とフレーム２４との間が一つの経路によって結ばれるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動板の内部形状やこの圧電振動板上に形成される励振電極の膜厚等を変化させることなく、幅縦モードと長さ縦モードによる振動の変動率を長さ縦モードの周波数のみによる独立した調整を可能とすることで、高発振周波数に対応して小型化する圧電振動子の周波数特性や温度特性を最適化することのできる圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 幅縦モードの主振動を伴う一対の主振動辺１２ａ，１２ｂ及びこの一対の主振動辺と直交し、長さ縦モードの副振動を伴う一対の副振動辺１２ｃ，１２ｄを有し、表面に励振電極が形成された四角形状の圧電振動板１２と、前記一対の主振動辺１２ａ，１２ｂから外方向に延びる支持アーム１３，１４と、前記主振動辺の略中間位置から外方向に突出し、先端に重量を調整するための張出部を有する突起片１５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 励振電極を備えた圧電振動板を支持するための支持アームやフレーム板に設けられる配線電極の形成面積を最大限に広くすることによって、励振電極における電気抵抗及び等価直列抵抗値を低減させ、これによって振動効率の向上を図ることのできる圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 極性の異なる一対の励振電極を有する圧電振動板１２と、該圧電振動板１２の外周部の一端から外方向に延び、前記それぞれの励振電極と電気的に導通する配線電極が設けられる一の支持アーム１３とを備えた圧電振動子１１において、前記支持アーム１３には、前記圧電振動板１２に向けて延びる絶縁部１９が設けられ、この絶縁部１９を挟んだ左右方向の上下面及び側面に前記一対の励振電極のそれぞれに導通する第１配線電極２１及び第２配線電極２２を被覆形成した。 （もっと読む）

【課題】 高周波を直接発振させることができると共に、ＡＴカット振動子並みの周波数精度が得られ、発振器を構成した場合において位相雑音やジッタ特性が良好な弾性波素子を提供することである。
【解決手段】 基板内部を板波が伝搬するようにオイラー角（０±２°、３５〜４０°、０±２°）によってカット形成された水晶基板１２と、この水晶基板１２の表面に板波を励振させる少なくとも１つの櫛形励振電極１３と、裏面に周波数の調整を行う周波数調整膜１４とを備え、位相速度が４５００〜６０００ｍ／ｓの範囲にある板波の温度特性が２５℃付近に変曲点を持つ略３次温度特性になるように櫛形励振電極１３と周波数調整膜１４の膜厚を調整した。 （もっと読む）

【課題】 製造時における周波数調整を容易且つ精度よく行うとともに、製造後においても周波数変動やバラツキを防止して安定した発振周波数を得ることが可能な圧電振動子の製造方法を提供することである。
【解決手段】 励振電極２９，３０が形成された振動腕部２３，２４に周波数調整領域を設けることによって、発振周波数Ｆを所定の目標周波数ｆ０に調整する圧電振動子の製造方法において、前記周波数調整領域に第１の金属膜３１を形成した後、この第１の金属膜３１にレーザビームを照射することによって発振周波数Ｆを粗調整する粗調整工程Ａと、前記粗調整された第１の金属膜３１の表面に第２の金属膜３３を形成した後、この第２の金属膜３３にイオンビームを照射することによって発振周波数Ｆを目標周波数ｆ０に向けて微調整する微調整工程Ｂとを備えた。 （もっと読む）

【課題】 第２高調波で発振させることができないように、この第２高調波の発生する周波数帯を基本波に対してより高い周波数帯にシフトさせることで、基本波のみによる正確な発振を得ることができる音叉型の圧電振動片を提供することである。
【解決手段】 基部２２と、この基部２２から所定の腕幅、腕長及び腕厚を有して平行に延び、表面に励振電極２９，３０が形成される一対の振動腕部２３，２４とを備え、基本波の振動を得るための音叉型の圧電振動片２１において、前記一対の振動腕部２３，２４は、それぞれが前記基部２２から延びる第１腕部２３ａ，２４ａと、この第１腕部２３ａ，２４ａの先方に延び、該第１腕部２３ａ，２４ａの腕幅よりも広い腕幅を有する第２腕部２３ｂ，２４ｂとによって形成され、前記第１腕部２３ａ，２４ａに対する第２腕部２３ｂ，２４ｂの腕幅を約２倍以上、腕長を振動腕部２３，２４の全長の３０％以上に設定した。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板の表面付近にエネルギーを集中させて伝搬する水平せん断型表面弾性波の伝搬経路上に水素吸蔵合金の中でも、吸蔵する際に違った挙動を示す結晶材料とアモルファス材料、金属ガラス材料を使用することによって、質量の変化、体積の膨張による応力、水素化物の生成による機械的強度の変化を前記水平せん断型表面弾性波の伝搬特性の変化に着目して、高感度で計測できる溶存水素センサを提供するものである。
【解決手段】 水平せん断型表面弾性波（ＳＨ−ＳＡＷ）４をＳＨ−ＳＡＷ圧電デバイス５の表面に発生させ、且つ、前記ＳＨ−ＳＡＷ４の伝搬経路３１上に水素吸蔵合金６を成膜し、この水素吸蔵合金６を成膜するための膜材と湿潤環境や溶存水素溶液１３中の水素１２の相互反応物質を前記ＳＨ−ＳＡＷ４の伝搬特性変化を通して測定する。 （もっと読む）

【課題】 製造時における音叉腕部や溝部の寸法ズレ等が生じた場合であっても、電界効率の向上及び等価直列抵抗の改善を図ることができるとともに、安定した周波数特性を得ることのできる小型の音叉型屈曲振動子を提供することである。
【解決手段】 音叉基部２２と、この音叉基部２２から平行して延びる一対の音叉腕部２３，２４と、この音叉腕部２３，２４の表面を長手方向に凹設した溝部２５，２６とを備えた音叉型屈曲振動子２１において、前記溝部２５，２６には、長手方向に沿って前記音叉基部２２から延びる補強壁部３３を形成した。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動子のような高真空度における封止が要求される電子部品を容易且つ確実に気密封止することができる電子部品パッケージを提供することである。
【解決手段】 電子部品２１を収容する凹部２６が形成されたケース２２と、このケース２２の上面に載置され、ケース２２との間に設けられた金属ろう材を介して前記凹部２６内を封止する蓋体２５とを備え、前記金属ろう材を前記凹部２６の周囲に沿って溶融することによって連続する封止ラインが形成された電子部品パッケージ２０において、前記封止ラインは、前記凹部２６の周囲の一部に少なくとも一以上の切れ目３２を有して形成される第１の封止ライン３３と、この第１の封止ライン３３の切れ目３２の一端３５と他端３６とを結ぶ直線上からずれた位置で前記端部３５，３６同士を連結する第２の封止ライン３４とによって構成した。 （もっと読む）

【課題】 圧電型基板上に発生させる表面弾性波（ＳＡＷ）を利用する事により、従来では、光学顕微鏡のみの観察であった細胞の増殖・成長・傷害修復過程を、ＳＡＷ伝搬経路上に形成された細胞の物理的、化学的変化によるＳＡＷ伝搬特性として計測することによって検出可能な表面弾性波デバイスバイオセンサを提供する。
【解決手段】 圧電型基板２２に接合させたＩＤＴ２３に高周波電流又は電圧を印加し、圧電型基板２２の表面近傍にＳＡＷ２５を発生させ、このＳＡＷ２５の伝搬特性によって細胞の物理的、化学的変化を検出するＳＡＷデバイスセンサ２１において、前記ＩＤＴ２３にSiO₂を成膜し、圧電型基板２２上に擬似マトリックス２７をコーティング処理した後、培養細胞２８からなるＳＡＷ伝搬経路２４を形成して２チャンネル化し、一方の１チャンネルで温度と溶液質量による変化を補正し、他方の１チャンネルで細胞の物理的、化学的変化を検出するようにした。 （もっと読む）