【課題】水晶デバイスを製造する工程において、レジスト塗布前の基板上に形成されたＡｕ／Ｃｒ耐蝕膜のＡｕ層を短時間のオゾン水により表面の改質処理を施すことで、レジストの付着性を向上させることにより、生産性を向上させる。
【解決手段】基板１の表面に形成されたＡｕ表面４のぬれ性を改善する方法であって、前記Ａｕ表面４を、オゾン濃度が１００ｐｐｍ以上の炭酸を含む５０℃以上のオゾン水３と接触させる。 （もっと読む）

【課題】被処理液中の金属成分を化学濾過するフィルターユニットにおいて、被処理液の透過を濾過材の全処理可能領域で満遍なく行うことのできるフィルターユニットを提供すること。
【解決手段】被処理液の流入口をハウジングの下部端板（入口端板）の中央に、処理液の排出口をハウジングの上部端板（出口端板）に、それぞれ形成し、濾過体のエンドプレートを支持部材で支持して、エンドプレートとハウジングの下部端板間に等間隔の被処理液通路を形成する。 （もっと読む）

【課題】電気式脱イオン装置の目詰まりの発生や処理水の水質悪化を防止するとともに、電気式脱イオン装置の処理効率の低下や、装置の短命化を防止できる純水製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】電気式脱イオン装置１４により脱イオンを行う純水製造処理と、電気式脱イオン装置１４に熱水を供給して殺菌する熱水殺菌処理と、を交互に繰り返して行う純水製造方法であって、純水製造処理時における、電気式脱イオン装置１４の濃縮室１４２内の被処理水の流れ方向を、脱塩室１４１の被処理水の流れ方向に対して向流方向とし、前記熱水殺菌処理時における、電気式脱イオン装置１４の濃縮室１４２内の被処理水の流れ方向を、脱塩室１４１内の被処理水の流れ方向に対して並流方向とする、純水製造方法。 （もっと読む）

【課題】超純水配管の施工から初期通水前までに配管内に存するＴＯＣの濃度を低減した超純水製造システムの運転方法を提供する。
【解決手段】初期通水するにあたり、施工済みの配管の一端を開放し、他端から外気圧より高い圧力で４時間以上除塵除湿気体を通気してから通水する。これにより、初期通水前の配管内に存する残留微粒子数を所定の値に低減させるまでに要する初期通水時間および初期通水量を低減することができる。 （もっと読む）

【解決課題】
消耗部品の交換による運転停止が最小限ですみ、かつ装置構成を小型化可能な液浸露光用超純水の製造方法及び装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
液浸露光装置における投影光学系の最下面とレジスト間の露光光通過空間に供給される液浸露光用の超純水を製造するにあたり、流路に沿って複数の紫外線照射装置を直列配置し、その下流にイオン交換装置を配置して、ＴＯＣ１０ｐｐｂ以下の一次超純水を供給し、紫外線照射装置の一つを使用して液浸露光用の超純水を連続的に製造するとともに使用中の紫外線照射装置の性能を監視する。この紫外線照射装置の性能が所定のレベル以下になったとき、他の紫外線照射装置に切替えて連続運転を続ける。 （もっと読む）

【課題】 半導体用シリコンウエハーの研磨液、アルカリ洗浄液、洗浄用超純水、工業用無機薬品、有機溶媒、工業排液などに含まれる金属化合物、金属イオンを高精度に除去し、かつ自ら不純物の金属溶出を低減した液体濾過用フィルタを提供する。
【解決手段】 下記式［１］で示されるエチレン単位とノルボルネン単位を含むエチレン・ノルボルネン共重合体を素材とするメルトブロー不織布基材からなる液体濾過フィルタであって、該エチレン・ノルボルネン共重合体は、ガラス転移温度（Ｔｇ）が８０〜１８０℃であり、メルトボリュームレート（ＭＶＲ）（試験法ＩＳＯ １１３３準拠、測定条件：２６０℃、２．１６ｋｇ）が３０ｃｍ^３／１０分以上であり、且つ該メルトブロー不織布基材は、平均繊維径が１〜３０μｍの繊維で構成されることを特徴とする液体濾過フィルタなど。
【化１】
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【課題】実験動物の飼育施設から排出される固形物を含む汚水を、比較的低い処理コストで、効率よく滅菌又は殺菌することのできる滅菌装置を提供すること。
【解決手段】実験動物の飼育施設から排出される固形物を含む汚水から、固形物を濾別する固液分離器５と分離された液体を加熱滅菌する滅菌槽７とを備え、高温水蒸気を、固液分離器５から加熱滅菌槽７内に送入して、固液分離器５内に残留する固形物と滅菌槽７内の液体とを同時に加熱滅菌するようにした。 （もっと読む）

【課題】精製水を簡易かつ低コストで製造する。
【解決手段】非加熱の原水を、貯留槽から不活性処理手段及び逆浸透処理装置の少なくとも一方に供給した後、加熱手段に供給して熱水を生成する。次いで、前記熱水を前記貯留槽の排出側に供給するとともに、少なくとも前記逆浸透処理装置を含む系内に循環させることによって、前記系の殺菌を行う。次いで、前記非加熱の原水を、前記貯留槽から前記少なくとも逆浸透処理装置に供給して精製水を製造する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、熱水殺菌工程を含む精製水の製造処理を、効率的かつ短時間で行うことができる医薬用精製水の製造方法、及び製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】精製水の製造工程開始にあたり熱水殺菌工程を行う医薬用精製水の製造方法であって、被処理水の水温６０℃以上での透過水の導電率が４５μＳ／ｃｍ以下の逆浸透膜装置を用い、熱水殺菌工程では、逆浸透膜装置の濃縮水、及び電気式脱イオン装置の濃縮水、電極水、脱塩水の、原水タンクへの返送、または系外への排出を、昇温、均温、降温の各工程で適宜切換することにより、熱水殺菌工程を効率的に行う医薬用精製水の製造方法、及び製造装置である。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ低コストでウエハ表面に形成されたレジスト膜を除去する方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面上にレジスト膜が形成された複数のウエハを所定の間隔で平行配置するとともに、前記洗浄槽内にオゾン水を供給する。次いで、前記洗浄槽内で、前記ウエハの前記表面に沿うようにして前記オゾン水の上下流を形成し、前記レジスト膜を除去して洗浄する。次いで、洗浄後の前記オゾン水を排出する。 （もっと読む）