説明

野村マイクロ・サイエンス株式会社により出願された特許

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【課題】レジスト洗浄の際の腐食性物質を含む洗浄液等と同様の溶液による、金属配線と同様の金属材料の腐食の度合を試験する方法を提供する。
【解決手段】標準溶液中に浸漬した電極セルに対して1mHz〜10Hzの低周波の交流電圧を印加し、前記標準溶液における前記電極セルの標準インピーダンスの時間積算値を計測する。次いで、試料溶液中に浸漬した前記電極セルに対して1mHz〜10Hzの低周波の交流電圧を印加し、前記試料溶液における前記電極セルの試料インピーダンスの時間積算値を計測する。次いで、前記標準インピーダンスの時間積算値と前記試料インピーダンスの時間積算値との差分から、前記試料溶液による前記電極セルの電極材料の溶出度合を導出する。 (もっと読む)


【課題】従来の検出感度を維持しつつ、検出対象物の検出を簡便、
かつ正確に行うことができる電気化学的検出装置に使用する電気化学センサー用電極を提供する。
【解決手段】絶縁膜に円筒状かつ真直であり、均一な孔径の孔道を形成してろ過膜を、トラックエッチング法、フォトリソグラフィ法、パンチング法、レプリカ法及びレーザー法の少なくとも一つを用いて形成する。次いで、前記ろ過膜の表面にスパッタリング法、蒸着法、メッキ法及び印刷法の少なくとも一つを用いて導電膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】アルカリ水溶液中に含まれる金属不純物を簡易かつ高い割合で除去し、残留金属不純物を十分に低減することのできる、アルカリ水溶液の精製方法を提供する。
【解決手段】金属不純物を含むアルカリ水溶液を、繊維母材にキレート化材として作用するN−メチルグルカミン基及び、弱塩基性陰イオン交換体及びキレート化材として作用するイミノジエタノール基の少なくとも一方を導入した材料に接触させ、前記アルカリ水溶液から前記金属不純物を除去する。 (もっと読む)


【課題】分解処理対象のオゾンガスの濃度や湿度が比較的高い場合でも、処理コストを低減させた効果的な分解処理を実現する。
【解決手段】オゾンガス処理装置10は、分解処理対象の排オゾンガスとともに水を活性炭に通過させることが可能なものであって、粒状の活性炭が充填された活性炭タンク15と、活性炭タンク15内にオゾンガスを供給するオゾンガス給気管14と、オゾンガスとの気液混合状態となるように水を活性炭タンク15内に供給する給水管12と、活性炭タンク15内のオゾン分解処理後の排液を排出する排液管16と、から構成されるオゾン分解機構を備えている。 (もっと読む)


【課題】アルカリ水溶液に含まれる金属不純物を簡便な方法で速やかに除去することのできる陰イオン交換体、それを用いたアルカリ水溶液の精製方法及び装置を提供する。
【解決手段】陰イオン交換体を、5.0N以上の高濃度アルカリ処理液と接触させて陰イオン交換体に含まれる不純物を除去する高濃度アルカリ接触工程により得た前処理済の陰イオン交換体並びにその陰イオン交換体3を用いたアルカリ水溶液の精製装置1及びその陰イオン交換体を用いて金属不純物を含むアルカリ水溶液中の金属不純物を除去する金属不純物除去工程を具備するアルカリ水溶液の精製方法。 (もっと読む)


【課題】半導体研磨工程で使用され、チタン成分を含む金属成分を含有し洗浄水で希釈された排スラリーから金属成分を除去する排スラリー中の有用固形成分を回収する。
【解決手段】排スラリーを濃縮し、pHが7より低く、酸化性物質の濃度が100mg/Lより高くなるように調整する。調整された排スラリーを強酸性カチオン交換装置に繰り返し通液してTiを含む金属成分を除去する。 (もっと読む)


【課題】精製前の研磨スラリーのpHに対して、精製後の研磨スラリーのpH変化を抑制する。
【解決手段】精製する研磨スラリーが酸性の場合は、キレート形成繊維中の金属キレート形成能を有する官能基の酸型末端基を酸型(H型)とし、精製する研磨用スラリーがアルカリ性の場合は、キレート形成繊維中の金属キレート形成能を有する官能基の酸型末端基をアルカリ金属塩またはアンモニウム塩として通液処理を行う。 (もっと読む)


【課題】有用な使用済みのスラリーを、洗浄水との粘性の違い、使用量の違いを利用して、簡便な装置を用いて、高い濃度及び回収率で回収できるようにしたスラリー回収方法及び回収装置を提供すること。
【解決手段】スラリーによる研磨工程と洗浄水による洗浄工程とを所定のタイミングで繰り返し行う研磨装置で使用したスラリーを回収する方法において、研磨装置のスラリーと洗浄水の共通の排出口に、内壁を伝って流下するスラリーを捕捉するスラリー捕捉ポケットを設けたスラリー排液回収管を取り付け、スラリー排液回収管の内壁を伝って流下するスラリーをスラリー捕捉ポケットを介して回収する。洗浄水を含む排液はスラリー排液回収管の全体を用いて回収する。 (もっと読む)


【課題】微生物の殺菌効果を高めつつ、しかも効率良く精製水を製造する。
【解決手段】精製水製造装置10は、原水を順に透過させるMF(精密ろ過)膜18及びRO(逆浸透)膜22とこれらの膜を透過した透過水を通過させるEDI装置(電気再生式イオン交換装置)23とを備えている。また、精製水製造装置10は、MF膜18の前段に配置され、かつMF膜18からEDI装置23通過後までの被処理水が50℃以上、90℃以下の温度となるよう原水を加熱する熱交換器16をさらに備えている。これにより、熱水による殺菌処理と精製水を製造する処理とを同時に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】所定の処理工程で使用され排出される不要な異物を含み、かつ希釈された排スラリーから不要な異物を除去する排スラリー中の有用固形成分を回収する。
【解決手段】排スラリーを濃縮する工程と;濃縮された排スラリーに異物を溶解する薬液を添加して異物を溶解し、溶解した異物成分と薬液の一部を膜ろ過する操作を行って、異物を除去する工程と;異物の除去された排スラリーを、イオン交換装置及び/又はキレート化装置に通液して排スラリー中のイオン成分を除去するイオン成分除去工程と;を備えている。薬品の添加は、繰り返し、又は連続的に行われ、新鮮な薬液が常時異物と接触するようにされる。 (もっと読む)


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