説明

野村マイクロ・サイエンス株式会社により出願された特許

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【発明の課題】手間やコスト等の面でも、測定感度の面でも、より優れた金属成分の検査方法を提供する。
【解決手段】微粒子を含む液体中における金属成分の検査方法であって、被検液のpHを調整するpH調整工程と、pH調整工程で得られた被検液を、分離用基材に滴下する滴下工程と、滴下工程で滴下した被検液に対し、液体の移動相によりクロマトグラフィーを行うクロマトグラフィー工程と、クロマトグラフィー工程で分離された金属成分を分析する分析工程と、を有する金属成分の検査方法。 (もっと読む)


【発明の課題】水質の良い超純水を供給するとともに、逆浸透装置における水回収率の向上を図るとともに、安定した純水装置の運転を維持できることが可能な純水製造の方法及び装置を提供する。
【解決手段】カチオン交換樹脂装置1と、脱気装置2と、第1の逆浸透装置3と、第2の逆浸透装置4とを有し、さらに、第1の逆浸透装置3の透過水を製造された純水として収容する透過水ピット5と、前処理装置で処理された被処理水及び第2の逆浸透装置4から返送された透過水を収容する被処理水ピット11と、被処理水をそれぞれ後段の装置へ送液するポンプ12,32と、第1の逆浸透装置3の濃縮水を収容する濃縮水ピット41と、濃縮水ピット41に収容された濃縮水を第2の逆浸透装置4へ送液するポンプ42と、第2の逆浸透装置4の透過水を被処理水ピット11へ返送する配管と、から構成される純水製造装置。 (もっと読む)


【課題】シリコンの加工工程及び回収・再生工程において、不純物金属や炭素とシリコンとの化学反応を抑制することで、これら金属及び炭素によるシリコンの汚染を低減させた電子産業用シリコンの加工方法及び再生方法を提供する。
【解決手段】シリコンインゴットやシリコンウェーハを加工する加工方法又はその加工により生じた加工屑を含有するシリコンスラッジから、シリコンを回収し、電子産業用シリコンとして再生するシリコンの再生方法において、シリコンの加工表面又はシリコン削り屑を含む溶液に酸化還元電位を制御するガスを添加する電子部品用シリコンの加工方法及び再生方法。 (もっと読む)


【課題】高濃度オゾン水中のオゾン濃度の減衰を抑制して、オゾン濃度の高い加熱オゾン水を効率的に製造することができる加熱オゾン水の製造方法を提供する。
【解決手段】純水又は炭酸ガス含有純水にオゾンガスを溶解させたオゾン水を加熱する加熱オゾン水の製造方法において、オゾン水を、液体を加熱媒体とする熱交換手段2により昇温速度6.0〜10.0℃/秒で60〜90℃に加熱する加熱オゾン水の製造方法。 (もっと読む)


【課題】使用済みの薬液について、再生に有用な薬液と洗浄液が混入して再生に適さない薬液とを、効率よく、かつ簡易な装置構成により分別して回収することができる薬液回収装置及び薬液回収方法を提供する。
【解決手段】薬液が流入する薬液流入口と、薬液流入口から流入した薬液の所定量を貯留することができる薬液貯留部と、薬液貯留部の所定量を超えた薬液を排出する薬液排出口と、を有する薬液受け部材1と、薬液貯留部に貯留した回収薬液を吸引する薬液回収ポンプ23と、薬液回収ポンプで吸引した回収薬液を収容する回収タンク24と、薬液排出口から排出される廃棄薬液を収容する廃棄タンク25と、を有する薬液回収装置21。 (もっと読む)


【課題】簡単な構造で、流速又は衝突力を低下させることなく、微細気泡を含む水流を広い角度範囲で生成できるノズル及びそれを備えた装置を提供する。
【解決手段】気泡発生ノズルは、ベンチュリ管を形成する液体流路(ノズル本体1の上流側から先端部の噴出口6に向かって、流路幅が絞られた最小流路部4と、この最小流路部の下流域で流路幅が拡がる拡大流路部5とで構成された液体流路)と、前記最小流路部と合流する気体流路7,8と、前記ノズル本体1の前方方向に延び、噴出口の中心軸線に向かって放物線状に湾曲して形成され、かつ噴出口からの流体を広角に案内するためのガイド壁9とを備えている。ガイド壁のガイド面10は幅方向に断面U字状に湾曲している。 (もっと読む)


【課題】使用済みの研磨用スラリーを再利用する際に、その研磨性能が未使用のものと比べても遜色なく、安定した研磨を行うことができる研磨用スラリーの再生方法を提供する。
【解決手段】使用済みの研磨用スラリーから不純物を除去して、補正液を添加することにより再生する研磨用スラリーの再生方法において、補正液として、触媒、有機酸、硝酸及び殺菌剤を添加し、研磨用スラリー中の砥粒のゼータ電位を制御する研磨用スラリーの再生方法。 (もっと読む)


【課題】従来の検出感度を維持しつつ、検出対象物が含まれていることを検出することができ、特に化学的に不安定な反応中間体をも検出可能とした電気化学センサー並びに電気化学的検出装置及び方法を提供する。
【解決手段】孔道が円筒状かつ真直であり、均一な孔径を有するろ過膜の表面に導電膜を形成した作用極用の電気化学センサー用電極11Aと、孔道が円筒状かつ真直であり、均一な孔径を有するろ過膜の表面に導電膜を形成した対極用の電気化学センサー用電極11Bと、を短絡しないように重ねてなる電気化学センサー11と、作用極及び対極間の電位差を一定にする電位制御手段22と、電気化学センサー用電極において、検出対象物の酸化又は還元による電流値の変化を測定する電流測定手段23と、を有する電気化学的検出装置21。 (もっと読む)


【課題】処理水を濾過するためのフィルターを効率的に洗浄することができる水処理技術を提供する。
【解決手段】処理水中にマイクロナノバブルまたはナノバブルを発生させるバブル発生手段(バブル発生部42)と、前記マイクロナノバブルまたはナノバブルが発生した後の前記処理水を導入する処理槽(第2槽15)と、前記処理槽内に導入される前記処理水と接触可能に設けられる、ポリビニルアルコールからなる、細孔を有する担体16と、前記処理槽内に設けられるとともに、前記処理槽内の前記処理水を濾過して被処理水を作製するフィルター25と、前記処理槽内に設けられるとともに、担体16がフィルター25に接触して流動するように担体16を流動化させる流動化手段(第2散気手段19および水中攪拌機58)と、を備えている水処理装置を用いる。 (もっと読む)


【課題】処理水中に含まれる混入物を効果的に除去し得る水処理装置および水処理方法を提供する。
【解決手段】処理水を浄化するための水処理装置において、ポリビニルアルコールからなり、細孔を有し、微生物を固定化している担体を備えており、処理水を貯める、第1樹脂槽および第2樹脂槽と、活性炭を備えている活性炭吸着塔と、第1樹脂槽において浄化された該処理水を第2樹脂槽に輸送する第1経路と、第2樹脂槽において浄化された該処理水を該活性炭吸着塔に輸送する第2経路とを備える。 (もっと読む)


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