【課題】装置構成が簡素で、製造コストを安価にすることができるとともに、高濃度のオゾン水を容易に製造することができるオゾン水の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】純水を純水配管２に流通させる純水供給手段３と、オゾンガスをオゾンガス配管４に流通させるオゾンガス供給手段５と、純水とオゾンガスとを吸引、混合してオゾン混合水として吐出する混合ポンプ６と、混合ポンプ６から吐出されたオゾン混合水を収容するオゾン水貯留槽７と、オゾン水貯留槽７の内圧を一定にする圧力制御手段８と、オゾン水貯留槽７内のオゾン水を、一旦排出して、混合ポンプ６により吐出されたオゾン混合水と混合してオゾン水貯留槽７へ循環させる循環配管９と、循環配管９において、循環するオゾン水と混合ポンプ６より吐出されたオゾン混合水とを吸引、混合する循環ポンプ１０と、を有するオゾン水の製造装置１。 （もっと読む）

【課題】カチオン交換樹脂装置からの硬度成分のリークを低コストで簡便に監視するリーク監視装置を提供する。
【解決手段】カチオン交換樹脂装置の後段に配置して該装置からの硬度成分のリークを監視するリーク監視装置であって、カチオン交換樹脂装置の処理水にアルカリ剤を添加して、処理水に含まれる硬度成分を硬度スケールとして析出させるアルカリ剤添加手段と、硬度スケールの濃度を計測する計測手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】粗大固形物の混入を完全に除去することができ、さらには極めて寿命の長いフィルターにより、半永久的にろ過精度を維持し、使用することが可能な研磨スラリーのろ過方法並びに研磨材の回収方法及び回収装置を提供する。
【解決手段】ろ過前の研磨スラリーを収容する収容タンク２と、収容タンク２から研磨スラリーを送液するためのポンプ３と、ポンプ３により送液された研磨スラリーをろ過するメンブレンフィルター４と、メンブレンフィルター４を逆洗する逆洗手段５と、メンブレンフィルター４の濃縮水を収容する廃液タンク６と、メンブレンフィルターの透過水を収容する回収タンク７と、から構成される研磨材の回収装置１。 （もっと読む）

【課題】流入水のＴＯＣ濃度に対して、ＵＶを過不足なく照射して、ＴＯＣを確実に酸化分解除去すると共に、ＤＯの増加を防止し、低ＴＯＣ、かつ低ＤＯの超純水を安定に製造することができる超純水製造装置を提供する。
【解決手段】処理水中のＴＯＣ成分を分解する紫外線酸化手段２と、紫外線酸化手段２で分解されたＴＯＣ成分を除去するイオン交換塔３と、を備えてなる超純水製造装置１において、紫外線酸化手段２の出口水の過酸化物濃度を測定する過酸化物濃度測定手段４を有し、該過酸化物濃度測定手段４の測定結果に基づいて紫外線酸化手段２の紫外線照射量を制御する紫外線照射量制御手段５を有する超純水製造装置１。 （もっと読む）

【課題】有効なイオン交換容量が高く、イオン交換速度も速く、実用的な処理流量が確保できてショートパスの発生のない高粘性液体中の金属除去用モジュールを提供すること。
【解決手段】繊維基材の表面にイオン交換能又は金属キレート形成能を有する官能基が固定化された機能性繊維基材を、繊維間を密接させて多数集束、固定してろ液部材を構成する。ろ液部材の外周には、被処理液流入口、処理液流出口及び被処理液流入口から前記ろ液部材を通過して前記処理液流出口に至る流路を備えた液密性の殻体を設ける。 （もっと読む）

【課題】ボンベに充填されたパージガスの熱的パラメータの値の変化を抑え、熱伝導度から求める溶存窒素濃度の測定値を環境要因による測定誤差を生じさせずに求める。
【解決手段】パージガスで置換されたチャンバー１内に、窒素ガス分離膜９を介して被検超純水から分離された溶存窒素ガスを拡散させ、チャンバー１内のガスの熱伝導度から被検超純水内の溶存窒素ガス濃度を求める方法において、パージガスの温度を、温度制御手段１８を用いて、ほぼ一定温度に保持してチャンバー１内のガスの熱伝導度を測定する。 （もっと読む）

【課題】化学的機械研磨に使用する研磨液（スラリー）の回収を効率的に行うとともに、各種汚染が少ない状態の研磨液の回収方法及び回収装置を提供する。
【解決手段】研磨パッド及び研磨ヘッド間に基板を配置し、研磨液を供給するとともに前記研磨パッド及び前記研磨ヘッド間の相対的な回転運動によって、前記基板の表面を研磨する化学的機械研磨方法における研磨液の回収方法であって、研磨使用後の研磨液を、前記研磨パッドの表面から吸引ノズルによって吸引して回収する。 （もっと読む）

【課題】設備コスト、ランニングコスト値をさほど上げることなく、ＴＯＣ濃度を格段に低減させた超純水を製造し得る超純水の製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】被処理水を、紫外線分解装置で処理する紫外線処理工程と、紫外線処理工程を経た被処理水をイオン交換装置で処理する脱イオン工程と、前記紫外線処理工程前、又は前記紫外線処理工程の後前記脱イオン工程の前に、前記被処理水を尿素除去手段で処理する尿素除去工程とからなるＴＯＣ低減工程を備えることを特徴とする超純水の製造方法及び製造装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】ｐＨが７を超える被処理水中に存在する有機質不純物を紫外線照射とイオン交換樹脂の組合せにより除去するにあたり、紫外線照射による分解の効率を上げてランニングコストを低減させること。
【解決手段】微量の有機質不純物を含むｐＨが７以上の被処理水に、紫外線を照射して前記有機質不純物を有機酸及び／又は炭酸に分解し、しかる後前記有機酸及び／又は炭酸を除去する方法において、紫外線の照射に先立って被処理水のｐＨを７未満にすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気泡を生じさせた液体を射出して固体表面を洗浄する際の洗浄効率をより向上させた洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】液体を導入する液体導入部１１と、液体導入部より導入される液体に気体を混入する気体導入部１２と、流断面積を狭める絞り部と気液混合流体の流れ方向に流断面積が徐々に増大する末広部とからなり、気体導入部から導入された気体から多数の微小気泡を生成させる末広ノズル部１４と、生成した多数の微小気泡を含有する気液混合流体を洗浄対象物に射出する射出口１７とを有することを特徴とする洗浄ノズル１０と、洗浄に用いる液体を洗浄ノズルの液体導入部に供給する液体供給手段と、液体導入部より導入される液体に気体を混入するために、洗浄ノズルの気体導入部に気体を導入する気体供給手段と、を有する洗浄装置。 （もっと読む）