説明

野村マイクロ・サイエンス株式会社により出願された特許

71 - 80 / 116


【課題】簡便で、しかも、滅菌の際に、外部の菌が侵入する恐れのない構成の簡単な滅菌水供給システムの滅菌方法を提供すること。
【解決手段】注射用水その他の滅菌水を収容した貯水タンクとユースポイントの弁類間を循環配管で接続し、貯水タンク中の滅菌水をポンプで循環配管中に循環させるようにした滅菌水供給システムの滅菌方法において、循環配管中を流れる滅菌水を、121℃以上の温度に加熱して循環させる。加熱手段としては、配管の外周にジャケットを設け、このジャケット内に加熱水蒸気を供給して配管を介して外部から滅菌水を加熱する。 (もっと読む)


【課題】被処理水中の有機化合物の分解効率を向上させるとともに、紫外線照射装置の後段に酸化剤除去装置を配置することを省略可能な水処理装置および水処理方法を提供する。
【解決手段】水処理装置が、被処理水に亜酸化窒素を添加する亜酸化窒素添加手段と、前記亜酸化窒素を添加された被処理水に紫外線を照射し、水中の有機化合物を分解する紫外線照射装置と、前記紫外線照射装置によって処理された被処理水を導入し、水中のイオンを除去するイオン交換樹脂装置と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】超純水中の溶存酸素濃度の増加を経済的にほぼ防止するとともに、全有機炭素濃度(TOC)の低減を実現する超純水製造方法および超純水製造装置を提供する。
【解決手段】真空脱気塔8により溶存酸素を除去した被処理水に、紫外線照射装置9により紫外線を照射して第1の処理水を生成し、前記第1の処理水に対し混床式イオン交換塔10によりイオン交換を実行して、第2の処理水を生成する超純水製造方法および超純水製造装置であり、少なくとも被処理水中のTOC濃度を測定し、前記測定の結果に基づいて被処理水に照射する前記紫外線の照射量を決定して該照射量の紫外線を被処理水に照射する超純水製造方法および超純水製造装置。 (もっと読む)


【課題】少ない炭酸ガスの使用量で発泡を生じることなく、しかも炭酸ガスを注入した超純水中にオゾンを溶解させる場合よりも安定化されたオゾン水の製造方法及びオゾン水の製造装置を提供する。
【解決手段】オゾンを溶解した炭酸水を超純水に溶解させた下流において、この超純水中に所定量の炭酸ガスをさらに溶解させる。さらに溶解させる炭酸ガスの量は、この溶解点とユースポイント間に超純水の電気伝導度を測定する比抵抗測定器又はpH計からなる炭酸ガス濃度測定装置6を配置して、炭酸ガス濃度測定装置の出力信号により制御する。 (もっと読む)


【課題】半導体用研磨スラリー中に含有される不純物粒子等の異物の検査を行い、その異物に関する情報をより精度よく取得することができるスラリー中の異物の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】半導体用研磨スラリーを採取するサンプリング工程と、サンプリング工程で採取された半導体用研磨スラリーを、半導体用研磨スラリーから抽出した分散液を用いて希釈する希釈工程と、希釈工程で希釈された半導体用研磨スラリー中に含まれる砥粒は通過させ、砥粒よりも大きな異物は捕捉することが可能である、孔径が0.1nm〜100μmのろ過膜に、希釈された半導体用研磨スラリーを通液し、ろ過するろ過工程と、ろ過工程で得られた、希釈された半導体用研磨スラリーを通液したろ過膜の表面にろ別された異物を検査する異物検査工程とを有することを特徴とするスラリー中の異物検査方法。 (もっと読む)


【課題】化学的機械研磨加工の施された半導体デバイス表面を防錆するベンゾトリアゾールに代わる簡便な防錆方法を提供する。
【解決手段】化学的機械研磨加工の施された半導体デバイスの研磨面に炭酸エチレンの皮膜を形成する。炭酸エチレンは、融点 36.4℃の毒性の小さい水溶性の物質であり、皮膜の形成された半導体デバイスを温水等に浸漬することにより容易に除去することができる。 (もっと読む)


【課題】電力コストが安価で、光源の交換が半永久的に不要なため維持管理負担が小さく、小型化された構造に形成可能で、有機物の分解効率の高い超純水製造装置を提供する。
【解決手段】被処理水の流路に沿って順に配置された有機質分解手段とイオン吸着手段からなる有機質除去装置を備えた超純水製造装置において、有機質分解手段は、光透過性を有する絶縁性材料により形成された管体と、管体の内周側又は外周側に積層され、かつ光透過性を有する導電層と、導電層上に積層され、かつ被処理水と接触する光触媒層と、この光触媒層を励起させる励起光を、管体の管壁部及び導電層を透過させつつ光触媒層に照射する発光ダイオードとを具備することを特徴とする超純水製造装置を使用する。 (もっと読む)


【課題】原水の水質の変化が生じた場合においても、その水処理ユニットにおける処理水の水質異常に関して正確に異常を検出することができる水質異常検出装置及び水質異常検出方法を提供する。
【解決手段】イオン交換ユニット10の出口側に、それぞれ並列に接続された同体積の測定用カラム41及び比較用カラム42と、測定用カラム41の水移動方向下流側に配設された測定用pHメータ43と、比較用カラムの水移動方向下流側に配設された比較用pHメータ44と、測定用pHメータ43による比較値及び比較用pHメータ44による比較値に基づいて水質異常の度合いを算出する演算手段49と、を具備する水質異常検出装置40。 (もっと読む)


【課題】装置のコンパクト化、クランピングによる再生不良の防止、シリカリーク等の不純物イオンのリークの防止、さらに再生による交換容量を有効に確保して、高純度の水を効率よく製造することができるイオン交換装置及び方法を提供する。
【解決手段】同一塔内に積層して形成されたカチオン交換樹脂層12とアニオン交換樹脂層13の2種類のイオン交換樹脂層と、この2種類のイオン交換樹脂層の間に設けられた被処理水の流通は許すが、イオン交換樹脂の流通を阻止するように構成された仕切り板14と、その仕切り板の上部近傍に再生剤の出入管15を設けたイオン交換装置であって、再生剤の出入管15全体が、イオン交換能力を保持しない支持材16で覆われているイオン交換装置10。 (もっと読む)


【課題】正確な分析のためのサンプリングが行え、ユースポイントに純度の高い水を供給することができる純水供給ラインにおけるバルブと継ぎ手を提供する。
【解決手段】純水をユースポイントに供給するための純水製造装置の供給ラインにおいて用いられる本体4が金属製のバルブであって、バルブの接液部が、金属溶出を低減する表面処理、例えば、フッ素樹脂3によるコーティング、が施されているバルブ1。 (もっと読む)


71 - 80 / 116