【課題】陽極接地（ターゲット接地）方式の電子放出装置において陽極電流の制御を実際に実現できる電流制御装置を提供する。
【解決手段】陽極３の端子と引出し電極４の端子との間に接続された電流コントロールアレイ８を有しており、この電流コントロールアレイ８は、入力端子１４からの入力信号に応じて電流を制御する互いに直列に接続された複数のトランジスタＴｒ（０）〜Ｔｒ（ｎ）と、陽極３と引出し電極４との間の電圧Ｖｇｔを複数のトランジスタＴｒ（０）〜Ｔｒ（ｎ）のそれぞれに分圧して加える電圧分圧素子（Ｒ０〜Ｒｎ）とを有する電子放出装置１の電流制御装置である。 （もっと読む）

【課題】所望の形状に構成能で、中央部に開口部を形成して近距離での回折Ｘ線の検出に好適な形状に構成可能な半導体Ｘ線検出器を提供する。
【解決手段】半導体Ｘ線検出器は、略中央部に開口部１１を有し、内部に多数のピクセル状のＸ線センサを形成した半導体Ｘ線センサ部１０と、当該半導体Ｘ線センサ部の裏面に配置され、複数のＸ線センサから出力される信号の各々に所定の処理を行って検出信号を出力する読み出し部２０とを備える。読み出し部は、複数の読み出しユニット２２を平面状に一体に組み立てて構成され、各読み出しユニットは、それぞれ、矩形形状に形成され、表面に複数パッドを形成し、内部に複数の処理回路部や貫通ビアを備え、裏面に複数のパッドを備える。半導体Ｘ線センサ部と読み出し部は、積層して一体に形成される。 （もっと読む）

【課題】既存のＡＳＩＣを用いて安価に広いエネルギー範囲のＸ線検出に対応できる減衰回路を提供する。
【解決手段】Ｘ線分析による検出信号を減衰する減衰回路３０であって、入射Ｘ線を検出する多チャンネル型の半導体検出器１０と入射Ｘ線の検出信号を増幅する増幅用集積回路（ＡＳＩＣ）５０との間に接続され、各チャンネルに１個ずつ設けられた複数の第１コンデンサを備える。これにより、既存のＡＳＩＣ５０を用いて安価に広いエネルギー範囲のＸ線検出に対応できる。その結果、異なる用途に対して、ＡＳＩＣ５０を設計し直して莫大な費用を浪費することがなくなる。また、使い慣れたＡＳＩＣ５０を使うことによって、開発期間を短縮できる。また、半導体検出器１０および第１コンデンサを接続する接続点とグランドとの間に接続された第２コンデンサを備えることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折装置において異なる波長のＸ線に基づいた測定データを１回の測定によって同時に取得できるようにする。異なる波長の回折線のデータを２次元検出器の受光面の全領域を使って取得することを可能とする。
【解決手段】Ｘ線発生源２から発生した特性Ｘ線を試料３に照射し、試料３で回折した特性Ｘ線をＸ線検出部器６のＸ線検出部１３によって検出する波長分別型Ｘ線回折装置１である。Ｘ線発生源２は、原子番号が異なる複数の金属によって構成され、それぞれの金属から互いに波長が異なる複数の特性Ｘ線を発生する。Ｘ線検出部１３は、それぞれがＸ線を受光してＸ線の波長に対応したパルス信号を出力する複数のピクセル１２で構成される。ピクセル１２のそれぞれに付設されておりピクセル１２の出力信号を特性Ｘ線の波長ごとに分別して出力する分別回路が設けられている。個々のピクセル１２において波長別にＸ線強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】結晶構造が回転対称の試料だけでなく、回転対称でない試料であっても、簡単に精度のよい分析をすることができるコンパクトな蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、結晶構造を有する試料Ｓが載置される試料台８と、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、試料Ｓからの２次Ｘ線４を検出する検出手段７と、試料台８を回転させる回転手段１１と、試料台８を平行移動させる平行移動手段１２と、試料Ｓの回転角度とその角度で発生する２次Ｘ線４の強度とを対応させて取得した回折パターンに基づいて、隣り合う間隔が１８０°未満であって、回折Ｘ線を回避できる回避角度を少なくとも３つ選択するための選択手段１７とを備え、制御手段１５が、試料台８、回転手段１１および平行移動手段１２が当該装置の他の構造物と干渉しない回避角度に試料Ｓを設定するように回転手段１１を制御する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線測定における割込み測定を簡単に行えるようにし、複数の試料に対する主測定及び割込み測定の両方の信頼性を高く維持する。
【解決手段】試料支持台１２を含むＸ線測定系４を防Ｘ線カバー２で包囲して成るＸ線測定装置１である。主測定の対象である複数のウエハを収容したカセット４３ａを載せるカセット台４１ａと、割込み測定の対象である複数のウエハを収容したカセット４３ｂを載せるカセット台４１ｂとが防Ｘ線カバー２の外側にある。試料室シャッタ５２を開けることによりカセット４３ａ，４３ｂ内のウエハをカバー２の内部のＸ線測定系４へ搬送できる。Ｘ線測定系４によってウエハの主測定又は割込み測定を行っている間、カバー８ａ，８ｂによってカセット４３ａ，４３ｂを覆い、ロック装置４２ａ，４２ｂでカバー８ａ，８ｂを開かないようにして、カセット４３ａ,４３ｂ内のウエハが測定者の意に反して交換されてしまうことを防止する。 （もっと読む）

【課題】装置の動作異常の原因究明を短時間で簡単に行え、その異常部分を短時間で正常にすることができるＸ線分析装置および発光分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線分析装置は、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射し発生する２次Ｘ線６の強度をＸ線検出器７で測定する装置であって、分析室１０の真空度と温度、Ｘ線検出器７の高電圧、Ｘ線検出器７のフローガス流量のうちの少なくとも１つの計測値を求める計測手段１３と、当該装置の動作の異常を検出する異常検出手段２１と、現時点以前の所定の時間内の計測値の時系列を記憶しながら現時点以前の所定の時間内から外れた計測値の時系列を順に消去する記憶手段２２と、異常検出手段２１が異常を検出すると、記憶手段２２から記憶されている計測値の時系列を読出して記憶し、警告情報または異常情報、および記憶した時系列を表示手段２３に表示させる管理手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】標準物質を使用せず、装置の設置場所や測定者の如何にかかわらず、各測定点の測定値のランクを視覚的に容易に判別することができるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、１次Ｘ線２が照射された試料Ｓから発生する２次Ｘ線６の強度を検出する検出手段９と、試料Ｓを測定位置に移動させる試料移動手段８と、試料Ｓを移動させ、試料Ｓの所定の測定点に１次Ｘ線２を照射させて検出された２次Ｘ線６の強度に基づいて複数の測定点について測定値を求める測定手段１０と、測定手段１０による各測定点の測定終了毎に、測定済の測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして、ランクによって大きさおよび色が異なるマークを決定する処理手段１１と、処理手段１１によって決定されたマークを試料Ｓの各測定点に対応した位置に画像表示する表示手段１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線分析装置において湾曲モノクロメータ等といったＸ線光学要素を用いる場合と用いない場合とで、Ｘ線管等といったＸ線光学機器の位置及び角度を簡単な操作だけで適正な状態に正確に設定できるようにする。
【解決手段】試料Ｓに照射されるＸ線を発生するＸ線管２７と、Ｘ線管２７を保持するＸ線源アーム３と、Ｘ線管２７が回転自在に取付けられＸ線源アーム３上を移動可能である可動部材１８と、可動部材１８を移動させるネジ軸２１と、試料Ｓが置かれる位置へ向かって可動部材１８と共に移動するＸ線管２７が当接する第１の位置決め部材２８ａと、試料Ｓが置かれる位置から遠ざかる方向へ可動部材１８と共に移動するＸ線管２７が当接する第２の位置決め部材２８ｂとを有しており、第１及び第２の位置決め部材はＸ線管２７をＸ線源アーム３に対する互いに異なる角度で位置決めする。 （もっと読む）

【課題】試料を密封して持ち運び、所望の雰囲気の下で正確な発生ガス分析を低コストで行うことができる試料容器および発生ガス分析方法を提供する。
【解決手段】発生ガス分析用の試料容器１００であって、試料を収容可能な容器本体１１０と、容器本体１１０を密封するための封止材１２０と、を備え、グローブボックス内の特殊雰囲気下において変質しやすい試料を密封し、密封状態で昇温したとき、封止材１２０が溶融し試料容器１００内の気体の膨張による内圧で試料容器１００の外に向かって開孔する。これにより、試料を密封したままの状態で持ち運ぶことができ、低コストで発生ガス分析を行うことができる。また、常温時に特殊雰囲気下で封止された気体が、昇温されることで膨張し、封止材の融解温度で、膨張による圧力で封止材を自動的に容器の外に向かって開孔させることで正確な発生ガス分析を容易に行うことができる。 （もっと読む）