【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その導電性の観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する方法であって、検査対象の前記基板の所定枚数ごとに一度、異物のない箇所について予め測定する比較用蛍光Ｘ線スペクトルと、前記基板の異物が付着した１或は複数箇所の蛍光Ｘ線スペクトルを測定して、複数のＸ線スペクトルをデータ処理することにより、前記異物が金属元素を含有するか否かを高精度に判定する。 （もっと読む）

【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置１０は、先細りの先端側に第１オリフィス２２があり他端側にガス供給管２６が接続された筒状体の試料セル２０と、先細りの先端側に第２オリフィス５２があり他端側に四重極質量分析器６２が配設された筒状体のスキマー部５１と、をオリフィス側で対向させ減圧室３０に内包した状態で配設している。減圧室３０は、拡散ポンプ３３及びロータリポンプ３４で減圧される。試料セル２０は、高耐熱性材料（アルミナなど）により取り外し可能に配設されており、試料ホルダ２３を接続管２４側から試料セル２０に挿入することにより試料を配置する。この発生気体分析装置１０はで、減圧室３０を減圧することにより対向した両オリフィスの間の試料ガスの移動を分子流領域で行うことが可能であり、試料ガスの不要な拡散を抑制可能である。 （もっと読む）

【課題】画像記録体に記録された画像を正確に、かつ画像記録体の表面に傷をつけずに読み取ることを可能にする放射線画像読取装置を提供する。
【解決手段】平面形状で放射線画像が記録された画像記録体を円筒形状に曲げて画像読取を行う放射線画像読取装置１００であって、画像記録体が保持されたフィルム状ホルダの両端を支持し、画像読取時に所定方向にスライドする一対の支持部１１０と、フィルム状ホルダを覆い、画像記録体の表面が第１の基準曲面に至るまで画像記録体を弾性的に押圧する被覆部１２０と、固定位置に形成され、スライドする画像記録体の表面を第２の基準曲面に規制する一対の面規制部１３０と、一対の面規制部の中間に設置され、画像記録体に記録された放射線画像を読み取る読取部とを備える。 （もっと読む）

【課題】プレート状の画像記録体を均一に搬送し、画像記録体に記録された放射線画像を正確に読み取ることができ、さらに蓄像の読み取りとその後の残像の消去を一連の動作として、一体化することにより、正確性と高速性とを兼ね備えた放射線画像読取装置および画像記録体を提供する。
【解決手段】プレート状の画像記録体に記録された放射線照射画像を読み取る放射線画像読取装置であって、円筒面で画像記録体の記録面を支持する記録体支持部と、微小な吸盤１３８を表面に有する樹脂製の搬送ベルト１３３により、画像記録体の記録面を記録体支持部の円筒面に押し付けつつ、円筒面の軸方向へ画像記録体を搬送する搬送部と、を備え、搬送される画像記録体に記録された放射線照射画像の読み取りと消去を連続して行う。搬送ベルト１３３が微小な吸盤１３８を有するため、画像記録体を十分な力で搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】試料が搭載される基板（基材）の元素と、試料に含まれる元素が同一でも、安定して、微小部分の成分計測が可能な微小部Ｘ線計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置と、放出されるＸ線を５０μｍ径以下の断面積に収束照射するＸ線光学素子と、蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器と、光学像を撮像可能な光学顕微鏡と画像認識機能を備え、試料を二次元で移動して位置決めが可能で、かつ、高さ方向にその位置調整が可能な試料相対移動機構とを備え、試料の特定位置における蛍光Ｘ線計測が可能であり、かつ、基材の上に置かれた測定試料からの蛍光Ｘ線も計測可能な微小部Ｘ線計測装置では、Ｘ線の照射位置と前記Ｘ線検出器との間の蛍光Ｘ線の光路を蛍光Ｘ線の減衰を抑制する構造（真空又はヘリウム置換）とし、かつ、基材上の測定試料が基材と同一の金属元素を含んでも、測定試料の同一の金属元素の含有が判定可能なデータ処理機能を備えたデータ処理部を備えている。 （もっと読む）

【課題】長尺の被検体を短時間で精密に撮像し、滑らかな３次元ＣＴ画像データを得られる３次元ＣＴ測定装置を提供する。
【解決手段】小動物をマイクロＣＴにより測定する３次元ＣＴ測定装置であって、被検体にＸ線コーンビームを回転照射し、１回転ごとに被検体４５を撮像する撮像部と、回転照射による１回転分の３次元撮像範囲Ｌだけ、Ｘ線照射方向に垂直な方向Ｂに、被検体を平行移動させる移動部と、回転照射による各回転分の撮像データから、各３次元部分データを再構成する再構成部と、再構成された３次元部分データのうち、３次元部分データの各結合面の平面データの各結合面について相関の高い位置に隣り合う３次元部分データの一方の座標を補正する補正部と、補正された座標で隣り合う３次元部分データの各結合面の平面データを介して、複数の３次元部分データを結合する結合部とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料の径が大きくなっても、試料に対応した大面積の面状のＸ線検出器を、Ｘ線トポグラフの分解能を低下させること無く、使用できるようにする。また、試料の径が大きくなったことに対応して大面積の面状のＸ線検出器を使用することになった場合でも、Ｘ線検出部の全体形状を大きくしなくて済むようにする。
【解決手段】試料１１を線状のＸ線で走査したときに試料１１で回折したＸ線をＸ線検出器２８によって検出して平面的な回折像を得るＸ線トポグラフィ装置である。Ｘ線検出器２８は試料１１よりも大きい面積を有する円筒形状のイメージングプレート２８であり、線状のＸ線の走査移動Ｆに関連させてイメージングプレート２８を円筒形状の中心軸Ｘ０を中心としてα回転させる。円筒形状の中心軸Ｘ０は線状のＸ線の走査移動方向Ｆと直角方向に延在する。 （もっと読む）

【課題】基本的にはインクリメンタル型エンコーダを基本とする簡単で扱い易い構成を有し、アブソリュート型エンコーダのような複雑で高価な構成を用いることなく回転体の基準となる角度位置を認識できる測角器を提供する。
【解決手段】ウオームホイール２２，２３の回転角度を測定するための測角器２において、ウオームホイール２２，２３に設けられた測角用の第１識別用マーク３３と、第１識別用マーク３３を読取る第１検出部３６と、ウオームホイール２２，２３に設けられた第２識別用マーク３４と、第２識別用マーク３４を読取る第２検出部３７とを有しており、第１識別用マーク３３及び第２識別用マーク３４はウオームホイール２２の表面上に直接に形成されており、第２識別用マーク３４はウオームホイール２２，２３の回転中心線Ｘ１を中心とした一部の角度範囲に設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板表面などに存在する被測定物を反応性ガスにより溶解後、その基板に溶液を滴下して保持具で保持しながら基板表面で移動させ、被測定物を回収後乾燥させて基板表面に保持する試料前処理装置などにおいて、溶液の残量の影響を受けずに、所望の一定の滴下量が得られ、被測定物の回収が正しく行われるものを提供する。
【解決手段】溶液４の残量、弁８２の開放時間および溶液４の滴下量の相関関係をあらかじめ記憶するとともに、溶液４の残量を検知し、その検知した溶液４の残量と相関関係とに基づいて、溶液４を滴下するための弁８２の開放時間を決定する。 （もっと読む）

【課題】散乱線内標準法を用いる蛍光Ｘ線分析方法において、油類、有機溶媒、水溶液などの液体試料における軽元素の濃度を正確に算出できる方法を提供する。
【解決手段】炭素、酸素および窒素のうちの少なくとも１元素と水素を主成分とする液体試料３Ａに１次Ｘ線２を照射し、液体試料３Ａ中の原子番号９〜２０の各元素から発生する蛍光Ｘ線４の強度と、液体試料３Ａで散乱する１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２の強度とを測定し、各元素から発生する蛍光Ｘ線４の測定強度と１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２の測定強度との比に基づいて、液体試料３Ａにおける元素の濃度を算出する蛍光Ｘ線分析方法であり、１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２の波長を、各元素から発生する蛍光Ｘ線４の波長よりも短く、かつ、液体試料３Ａにおける組成の変動範囲内で、１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２についての測定強度と質量吸収係数とが反比例するように、設定する。 （もっと読む）