説明

株式会社アドテックエンジニアリングにより出願された特許

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【課題】 プリント配線基板のサイズに対応できる露光装置を提供する。
【解決手段】搬送装置1を露光部50内に移動し、可動ハンド20の係止シリンダ30がマスクホルダベース63の直下に到達する位置で停止し、係止シリンダ30を駆動し、マスクホルダベース63に押し当てて、可動ハンド20をマスクホルダベース63に係止する。固定シリンダ26を解除し、可動ハンド20を移動可能なフリーの状態にし、固定ハンド10を移動し、固定ハンド10と可動ハンド20の距離X(幅)を所定の距離に設定する。
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【課題】 アライメント精度の高い分割露光が可能な露光装置を提供する。
【解決手段】 マスクマーク20の位置と基板マーク30の位置が露光の際にオーバラップし、且つマスクマーク20は基板マーク30より大きく、露光光を遮光する。円形のマスクマーク20の直径φMと、円形の基板マーク30の直径φBは、φM>φBとなっている。またマスクマーク20には、遮光膜が形成されている。 (もっと読む)


【課題】基板とフォトマスク及びプラテンの除塵を効率的に行うことにより、歩留まりの高い露光を実現する。
【解決手段】搬入ハンドの搬入と退避動作の際に、第1クリーニングヘッドがプラテンの上面に接触し除塵を行う。第2クリーニングヘッドはフォトマスクの除塵を行う。除塵に際して加圧装置16により軸受17を通して軸22に荷重をかけ、この荷重は硬質連結カラー23、軟質連結カラー24、ローラ芯21、クリーニング部20へと伝わり、クリーニング部20がクリーニング面8に押し当てられる。加圧装置16の荷重により軸22は撓むが、軸22の撓みは軟質連結カラー24により吸収され、ローラ芯21は撓まずにフラットな状態を保つ。これにより、クリーニング面への圧力分布が均一になり、効率的なクリーニングが可能となる。 (もっと読む)


【課題】 精度が高く、露光時間も短縮できる露光装置を提供する。
【解決手段】 露光テーブル1を上昇させ、フィルムマスク2と基板90を接触させ、密閉空間40を形成し、減圧ポンプ60により減圧し、フィルムマスク2と基板90の1次密着を行う。次に導入孔52から1kpa以上20kpa以下の範囲の加圧空気を導入し、フィルムマスク2とガラス30の間に加圧空間25を形成し、フィルムマスク2と基板90を更に密着させ、2次密着を行う。1次密着で、フィルムマスク2と基板90は既に密着した状態であるため、導入孔52からの空気の導入量は微少で良く、加圧による膨出量も微少であり、短時間で導入が完了し、フィルムマスク2の膨張による変形などの弊害がない。 (もっと読む)


【課題】電極の片減りを防止できるなぞり式回路基板検査装置を提供する。
【解決手段】接点Iおよび接点Nをオンとし、他の接点をオフとすれば、定電流源31からの電流が接点I、ニードル11、回路パターン51、ニードル13、接点Nと流れ、ニードル11の極性はプラス、ニードル13の極性はマイナスである。電圧測定器36は、ニードル11とニードル13間の電圧を測定し、判定装置4は異常/正常の判定を行う。接点Mおよび接点Jをオンとし、他の接点をオフとすれば、定電流源31からの電流が接点M、ニードル13、回路パターン51、ニードル11、接点Jと流れ、ニードル13の極性をプラス、ニードル11の極性をマイナスとすることができる。スイッチマトリクス2への極性切替は制御装置5からの指令により行われ、操作者の指示或いは他の指令などに対応して行われる。 (もっと読む)


【課題】 フォトマスクM及びプラテン5の粘着性塵埃の除去を効率的に行うことにより、歩留まりの高い露光を実現する。
【解決手段】
第1クリーニングヘッド1は搬入ハンド3の露光部20側に装着され、搬入ハンド3の搬入動作の際に、所定位置でスクレーパ11が延出してプラテン5の上面に接触し、搬入ハンド3の移動に伴ってプラテン5上を移動しつつ塵埃を除去する。第2クリーニングヘッド2は搬出ハンド4の露光部20側に装着され、搬出ハンド4の露光部20への移動及び/又は搬出動作の際に、フォトマスクMの除塵を行う。 (もっと読む)


【課題】 多層回路基板製造において、各層の位置合わせを精度良く行うためのアライメントマークを効率的に形成するマーキング装置を提供する。
【解決手段】 基板5のコア基板60に形成された基準マーク50、51をX線発生器11からのX線照射により蛍光板12上に像を結び、これを可視光CCDカメラ13で撮像して基準マーク50、51の位置を同時に検出する。該基準マーク50、51の検出位置を基準として、ミラー22、23から紫外線をドライフィルムレジスト層55上に照射し、フォトマスク24、25に描かれたマークをドライフィルムレジスト層55上に焼き付ける。 (もっと読む)


【課題】 個々のランプの状態を把握できる複数のランプを有する露光用照明装置を提供する。
【解決手段】
各ランプ1毎に電源モジュール2が設けられ、該複数の電源モジュール2を制御装置3により制御して、各ランプ1の点灯を行わせる。電源モジュール2は点灯回路20を有し、点灯回路20に点灯検出器21が付属して、各ランプ1の点灯不点灯の信号を制御装置3に送り、表示装置4に表示させる。点灯回路20には電圧検出装置22が接続し、各ランプ1のランプ点灯時の電圧を検出し、電圧判定装置23はランプが定格仕様電圧で点灯しているか否かを判別する。電圧判定装置23における上限と下限の基準電圧は、上下限基準電圧設定装置5により任意に設定でき、ランプ1の特性や露光の条件などに応じてランプ電圧の適否基準を変更できる。電圧判定装置23による判定結果は制御装置3に送られ、表示装置4に表示され、告知される。 (もっと読む)


【課題】 フィルム剥離中に基板の端部の折れ曲がりが発生しないフィルム剥離装置を提供する。
【解決手段】 補助剥離装置4での補助剥離後に、クランプ部10の先端に露出部91が到来した時に、プリント配線基板90の送りを停止し、露出部91をクランプ部10によりクランプし、クランプ部10を保持しているスライド部11を搬送方向にスライドさせ、粘着ローラ2を回転させてフィルム93を貼り付かせて、フィルム93の先端部分を剥離する。そして露出部91の把持を解放し、搬送ローラ55を駆動し、粘着ローラ2も回転駆動して、フィルム93の剥離を継続する。 (もっと読む)


【課題】 フォトマスクと基板の密着性の高い密着型露光装置を提供する。
【解決手段】
基板2の外側周囲に枠体3が装着され、吸着口56により吸着固定される。枠体3によりフォトマスクと基板の密着性が向上する。また枠体3は一体であるため、吸着によって確実に固定が可能であり、また取り付け取り外しを簡単に行え、更に自動化も用意である。枠体3の裏面には流通溝30が形成され、枠体30と基板2との間に生じる隙間35の吸引を行い、フォトマスク1と基板2の密着を確実に行う。 (もっと読む)


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