【課題】 フォトマスクＭ及びプラテン５への離型剤塗布を効率的に行うことにより、歩留まりの高い露光を実現する。
【解決手段】
第１離型剤塗布装置１は搬入ハンド３の露光部１０側に装着され、昇降装置１４により上下方向移動可能になっており、搬入ハンド３の移動の際に、所定位置で第１離型剤塗布装置１が下降してプラテン５の上面に接触し、搬入ハンド３の移動に伴ってプラテン５上を移動しつつ離型剤塗布を行う。
第２離型剤塗布装置２は搬出ハンド４の露光部１０側に装着され、昇降装置１４により上下方向移動可能になっており、搬出ハンド４の移動の際に、フォトマスクＭへの離型剤塗布を行う。 （もっと読む）

【課題】 基板ＢとフォトマスクＭ及びプラテン５の除塵を効率的に行うことにより、歩留まりの高い露光を実現する。
【解決手段】
第１クリーニングヘッド１は搬入ハンド３の露光部１０側に装着され、昇降装置１４により上下方向移動可能になっており、搬入ハンド３の搬入と退避動作の際に、所定位置で第１クリーニングヘッド１が下降してプラテン５の上面に接触或いは近接し、搬入ハンド３の移動に伴ってプラテン５上を移動しつつ除塵を行う。その後搬入ハンド３が搬入部３０に退避する際には、第１クリーニングヘッド１は基板Ｂの上面に接触或いは近接し、搬入ハンド３の移動に伴って基板Ｂ上を移動しつつ除塵を行う。
第２クリーニングヘッド２は搬出ハンド４の露光部１０側に装着され、昇降装置１４により上下方向移動可能になっており、搬出ハンド４の露光部１０への移動と搬出動作の際に、２回フォトマスクＭの除塵を行う。 （もっと読む）

【課題】 分割露光において、クーポン等の情報を周囲に露光することが可能な投影露光装置を提供する。
【解決手段】 フォトマスク１にはプリント配線基板２に露光すべき全てのパターンが描かれ、独立した回路パターンであるピース１０と、プリント配線基板２の周囲に露光されるクーポン１２が描かれる。露光領域を区分する区分線１９により、６つの領域に区分して露光を行う。フォトマスク１はフォトマスクステージ５に装着され、フォトマスク移動装置５０により露光領域を照射エリア７０に移動し、アライメントマーク１５と基板マーク（図示せず）を用いて、位置合せ装置（図示せず）により位置合せを行う。
そして、マスキング装置３により露光領域周囲をマスキングした上で、露光を実行する。
以上の動作を、順次各領域について行い、プリント配線基板２全体の露光を終了する。 （もっと読む）