ナノフォーカス アクチエンゲゼルシャフトにより出願された特許

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本発明は、フィルタディスクとして、透過光モードで使用することができるピンホールディスクに関しており、殊に共焦点式顕微鏡内で使用可能であり、且つ、固定の外経rmax及び内経rminの内孔を有する透光性材料製のピンホールディスクに関している。透光性材料は、少なくとも大きな領域に非透過性層が設けられており、この領域に、透過性ピンホールのパターンが設けられている。このピンホールは、ほぼ均一の点密度がディスク上に得られるような規則に従って配置構成されている。
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本発明は、反射型顕微鏡で使用するための、光反射が最小化された、均一な光の強さで照射するための装置に関している。均一に放射する光源(1)を有しており、該光源(1)には、放射方向で後続して設けられた、焦点距離が短い焦点距離fの組合せレンズ(2)が設けられており、焦点距離fは、光源(1)が無限遠で結像されるように調整されており、組合せレンズ(2)の後ろ側の焦点面には、矩形の絞り開口(3)が使用されており、後ろ側の焦点面には、組合せレンズ(2)のフーリエ面が位置しており、焦点距離fの別のレンズ(4)によって、矩形の絞り開口(3)が顕微鏡(9)の中間像面(6)上に結像され、且つ、別のレンズ(4)の後ろ側の焦点面に、円形の絞り(5)が設けられており、焦点距離fの別のレンズ(4)によって、光源(1)がシャープに結像される。
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本発明は、コンピュータ制御型共焦点顕微鏡で、顕微鏡基部、当該顕微鏡基部に取り付けられた対物レンズ付チューブ、水平方向に位置している並進器(3)付偏向光学系(2)を有する共焦点顕微鏡を用いて、エンジンブロック内の円筒部内面の3次元表面画像を形成するための方法に関する。
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