説明

株式会社 パスカルにより出願された特許

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【課題】試料に予備処理を施すことなく、チャージアップを防止することができる、原子プローブを用いた二次イオンによる分析装置および分析方法を提供する。
【解決手段】分析装置は、試料41に中性粒子ビームNを入射するための中性粒子ビーム源と、試料から放出された二次イオンを加速するイオン加速手段と、中性粒子ビームが入射されて試料から放出された二次イオンのエネルギーまたは質量を測定する測定装置とを備える。 (もっと読む)


【課題】 中性粒子ビームの強度を測定することができる、中性粒子ビーム形成装置、それを用いた表面分析装置、中性粒子ビーム形成方法、および表面分析方法を提供する。
【解決手段】 中性ガスを導入してイオンビームを該中性ガスにより中性化して中性粒子ビームに変換する中性化室3と、中性粒子ビームの強度をモニタする中性粒子ビーム強度モニタ機構とを備え、中性粒子ビーム強度モニタ機構は、中性ガスとイオンビームとの電荷交換反応によって中性ガスが帯電して生じる帯電粒子の電荷を計測する機構であることを特徴とする。 (もっと読む)


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