【課題】本発明の課題は、カーボンナノ材料を陰極に使用する電界放射電子銃に於いて、長時間安定したビーム放射方向を維持し軸ずれのない構造を提供することにある。
【解決手段】カーボンナノ材料を先端に接合した陰極と対向するように先端を先鋭化した導電性針を引出電極の開口部に陰極に突き出すように配置し、電位は引出電極と同一とする。電界放射された電子は電界集中した導電性針に向かって軌道を描き、長時間安定した電子ビームを得ることができる。電界放射された電子は、徐々にエネルギーが与えられるので全ての電子が導電性針に吸収されることはなく多くは電子ビームとして取り出せる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、永久磁石レンズを使用した超小型のSEMにおいては、磁気飽和により、加速電圧に応じてコンデンサレンズの段数を変更しなければならないが、比較的容易にこれを実現する方法を考案することにある。
【解決手段】図１で、加速電圧5kVでの電子レンズは、補助コンデンサレンズ３を外した構成になっている。加速電圧５ｋVでは、コンデンサレンズの磁気飽和がなくレンズ2段で構成可能である。
次に、加速電圧を１５ｋVにした場合、コンデンサレンズ2段ではもはや磁気飽和を起して十分な縮小率が得られないので、補助コンデンサレンズ３をコンデンサレンズ（１）４と陽極との間に挿入する。すると、コンデンサーレンズ（１）４、コンデンサーレンズ（２）５での縮小率の減少分をこの補助レンズが補うので、コンデンサレンズ全体としての縮小率減少はなくなる。 （もっと読む）

【課題】 任意の試料（生細胞など生の生物試料を含む）に対して、前処理を全く必要とせず、大気圧の状態で観察を行うことができる電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 真空筐体１００に電子透過膜（例えば、コロジオン膜）１３２付きの微小なオリフィス１３０を設けて差動排気を行う。また、電子線Ｂを走査する代わりに、可動ステージ２０２（特にスキャナ２０４）を用いて試料Ｓを走査する。さらに、試料Ｓを電子透過膜（コロジオン膜）１３２に近づけて、電子線Ｂの照射による試料Ｓからの反射電子Ｒ（および二次電子）を、高真空側の上部反射電子検出器３０４と大気圧側の下部反射電子検出器３０６（ならびに高真空側の二次電子検出器３０２）を用いて検出する。
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