説明

日新イオン機器株式会社により出願された特許

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【課題】 アラーム発生の原因究明を容易にする。
【解決手段】 アラーム管理装置20は、管理対象装置10が発するアラームデータおよび管理対象装置10の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置22と、それで収集したデータを格納するデータベース装置24と、それに格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置26とを備えている。アラーム統計装置26は、管理対象装置10が発するアラームと管理対象装置10の状態を表す装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段と、このトレンドグラフ作成手段で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段とを備えている。 (もっと読む)


【課題】 X方向に平行走査されるイオンビームのX方向のビーム幅を、更には発散角を、簡単にかつ精度良く測定する。
【解決手段】 X方向において互いに離間して配置された二つのビーム計測器36、38を横切るようにイオンビーム4を走査して、各ビーム計測器36、38におけるビーム電流の流入開始時点Ta 、Tc 、流入終了時点Tb 、Td をそれぞれ求め、これらの時点と、各ビーム計測器のビーム入射孔37、39のX方向の幅Wd1、Wd2と、両ビーム入射孔のX方向の中心間距離Ld とに基づいて、イオンビーム4のX方向の予備的なビーム幅Dを求める。また、このビーム幅Dを用いてイオンビーム4の適切な走査距離を設定し、その状態でのイオンビーム4のビーム幅を求める。また、当該ビーム幅をイオンビーム4の進行方向Zの前後2箇所で求めて、イオンビーム4の発散角を測定する。 (もっと読む)


【課題】 イオンビームのy方向における進行角を修正する。
【解決手段】 前段多点ファラデー24および後段多点ファラデー28の複数の検出器をそれぞれ電気的に並列接続した状態で、各多点ファラデー24、28にy方向においてイオンビーム4が徐々に入射するようにして、イオンビーム4のy方向における中心位置をイオンビーム進行方向の上流側および下流側の2箇所で求めて、当該中心位置間のy方向における距離および前記2箇所間のz方向における距離を用いて、ターゲット16付近でのイオンビーム4のy方向における進行角を測定する進行角測定工程と、この工程で測定した進行角を小さくする方向に、イオン源の引出し電極系のy方向における傾き角度を変化させて、イオン源から引き出すイオンビームのy方向における角度を変化させる進行角修正工程とを、進行角測定工程で測定した進行角が第1の許容範囲内に入るまで1回ずつ以上行う。 (もっと読む)


【課題】 高周波放電型のプラズマ発生装置において、アンテナカバーの溶断を速やかに検出することができるようにする。
【解決手段】 このプラズマ発生装置10は、プラズマ生成容器12内に設けられていて高周波を放射するアンテナ26と、プラズマ生成容器12内のアンテナ26全体を覆うものであって絶縁物から成るアンテナカバー42とを備えている。更に、アンテナ26とプラズマ生成容器12との間の直流電圧VD を測定する直流電圧測定器60と、それで測定した直流電圧VD を基準値VR と比較して、前者の絶対値が後者の絶対値よりも大きいときに警報信号SW を出力する比較器80とを備えている。アンテナカバー42が溶断すると、その溶断箇所44でプラズマ20がアンテナ26に接触して、アンテナ26にはプラズマポテンシャルに相当する直流電圧VD が発生するので、上記警報信号SW が出力される。 (もっと読む)


【課題】 静電チャックと基板間の残留吸着力の判定を慎重に行ってスループットの低下を抑えることができ、しかもセンサ系や基板状態等に異常がある場合にそれを検出することができる装置を提供する。
【解決手段】 この基板保持装置60は、基板2の押し上げの際に押し上げ部材34に加わる力を検出する力センサ36と、制御装置50とを備えている。制御装置50は、力センサ36が検出する力Fを測定して、測定した力Fが、下限値FL 以上かつ上限値FH 以下のときは正常信号SN を出力し、下限値FL より小さいときは異常信号SL を出力し、上限値FH より大きいときは、所定時間T待機した後に、力センサ36が検出している力Fを再測定して、再測定した力Fが、下限値FL 以上かつ上限値FH 以下のときは正常信号SN を出力し、下限値FL より小さいときは異常信号SL を出力し、上限値FH より大きいときは異常信号SH を出力する機能を有している。 (もっと読む)


【課題】 ビームモニタの各ビーム検出器に流入するビーム電流の波形を、少ない数の電流測定器を用いて短時間で精度良く測定する。
【解決手段】 ビームモニタ30の各ビーム検出器32を、スイッチSをそれぞれ介して一つの電流測定器40に接続しておく。そして、各ビーム検出器32のビーム入射孔のX方向の幅をWf、隣り合うビーム入射孔間のX方向の間隔をWs、イオンビーム4のX方向のビーム幅をWb、ビーム検出器32の総数をpとし、nを0≦n≦(p−2)の整数とすると、次式を満たすn個ずつ飛ばして複数のスイッチSを同時にオン状態にしている状態で、ビームモニタ30によってイオンビーム4を受けて電流測定器40に流入するビーム電流の波形を測定する測定工程と、同時にオン状態にしているスイッチSを前記条件の下で切り換える切換工程とを繰り返す。
Wb<{n・Wf+(n+1)Ws} (もっと読む)


【課題】 リボン状のイオンビームのX方向における進行角を、Y方向(長手方向)における複数位置において簡単な方法で測定する測定方法を提供する。
【解決手段】 このイオンビーム測定方法は、イオンビーム2の進行方向Zの上流側および下流側にそれぞれ設けられていて複数のビーム検出器12、22をX方向にそれぞれ有していてY方向に可動の二つのビームモニタ10、20を用いて、互いにY方向における実質的に同じ位置において、イオンビーム2のX方向における中心位置x1 、x2 をそれぞれ測定し、測定した中心位置間のX方向における距離L2 および二つのビームモニタ10、20間のZ方向における距離L1 に基づいてイオンビーム2のX方向における進行角θを測定し、しかも両ビームモニタ10、20をY方向に移動させて進行角θの測定をY方向における複数の位置において行うものである。 (もっと読む)


【課題】 ウエハ表面の様々な箇所においてチャージアップ状態を測定することができるイオン注入装置を提供する。
【解決手段】 このイオン注入装置は、注入室10と大気側との間でウエハ4を出し入れするための真空予備室20と、真空予備室20内のウエハ4の表面の電位を非接触で測定する表面電位測定器80とを備えている。表面電位測定器80は、真空予備室20内に設けられていて、真空予備室20内においてウエハ4を静止した状態で支持する支持部を兼ねる弁体22上に支持されているウエハ4の表面に接近するように、かつウエハ4の面内において分散させて配置されていて、ウエハ4の表面の電位を非接触でそれぞれ検出する複数のプローブ82を有している。 (もっと読む)


【課題】 イオンビームの空間電荷効果等によるY方向の発散を補償して、イオンビームの輸送効率を高めることができ、しかもエネルギーコンタミネーションの発生を抑制することができるイオン注入装置を提供する。
【解決手段】 このイオン注入装置は、ターゲットよりも上流側に設けられていて、イオンビーム4の経路を挟んでY方向において相対向するように配置された第1および第2の永久磁石列40、42を備えている。永久磁石列40は、X方向に一対の磁極をそれぞれ有する複数の永久磁石44を、各永久磁石44のN極を同一方向に向けて所定の間隔でX方向に配列したものである。永久磁石列42は、X方向に一対の磁極をそれぞれ有する複数の永久磁石46を、各永久磁石46のN極を永久磁石列40とは反対の同一方向に向けて所定の間隔でX方向に配列したものである。 (もっと読む)


【課題】 イオンビームの空間電荷効果等によるY方向の発散を補償して、イオンビームの輸送効率を高めることができ、しかもエネルギーコンタミネーションの発生を抑制することができるイオン注入装置を提供する。
【解決手段】 このイオン注入装置は、リボン状のイオンビーム4の経路を挟んでY方向において相対向するように、かつイオンビーム4の進行方向に対して交差するように配置されていて、イオンビーム4のX方向の寸法をカバーする長さを有する第1および第2の磁石50、52を備えている。両磁石50、52は、イオンビーム4の入口側および出口側に一対の磁極を有していてしかもその極性が両磁石50、52で逆であり、イオンビーム4に対して両磁石50、52間に内向きのローレンツ力を働かせる方向の磁界を発生させる。 (もっと読む)


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