【課題】イオンビーム照射装置において、安価かつ簡単な構成で、広範囲に渡って基板割れの検出を行う。
【解決手段】基板８の裏面と対向する面に１つ以上の開口部を有する基板支持部材９と、基板８を搭載した基板支持部材９を駆動させて、イオンビーム３の少なくとも一部が基板８上に照射される照射領域とイオンビーム３が基板８上に照射されない非照射領域に基板８を搬送する基板駆動機構と、基板８の下流側でイオンビーム３が照射される位置に配置されたビーム電流計測器１１を備えたイオンビーム照射装置１で、照射領域内に基板８が搬送されているときに、ビーム電流計測器１１によって計測されたビーム電流の計測値に基づいて、基板割れの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー線照射システムにおいて、異なる寸法のワークに効率的にエネルギー線を照射できるコンパクトで低コストの搬送機構を実現する。
【解決手段】異なる寸法のワークＷ１、Ｗ２がそれぞれ搭載される第１、第２ワークホルダ３１ａ、３２ａと、各々のワークホルダを各々のワーク授受領域とエネルギー線照射領域ＡＲ１との間で進退移動させる進退機構３３と、互いに異なる位置に設けられた第１及び第２ワーク収容部２１ａ、２２ａと、第１のワーク授受領域にある第１ワークホルダ３１ａと第１ワーク収容部２１ａとの間でワークＷ１を搬送する第１搬送アームと、第２のワーク授受領域にある第２ワークホルダ３２ａと第２ワーク収容部２２ａとの間でワークを搬送する第２搬送アームとを設けた。 （もっと読む）

【課題】電界の染み出し量を小さくして、イオン源より所望するイオンビームの引出しを容易に行うことのできるイオンビーム引出し用電極とこれを備えたイオン源を提供する。
【解決手段】イオン引出し用電極１は、中央に開口部３を有する電極枠体２と、開口部３内に少なくとも一方の端部が移動可能に支持されて、一方向に沿って互いに隙間を開けて並べられた複数のイオン引出し孔形成部材７とを有している。そして、イオン引出し孔形成部材７の少なくとも一つは、略棒状の本体部５と本体部５から延設された渡り部６とを有する構造体であって、１つのイオン引出し孔形成部材７を構成する渡り部６は隣りに配置された別のイオン引出し孔形成部材７に当接している。また、イオン源の構成としては、内部に陰極を備えたプラズマ容器に隣接して、上記のイオン引出し用電極１を少なくとも１枚以上備えている。 （もっと読む）

【課題】 イオン源の引出し電極系を構成する電極の広い領域に亘って高速で堆積物を除去することができるクリーニング装置を提供する。
【解決手段】 引出し電極系１０の相対向する二つの電極１１、１２間にクリーニングガス４８を供給して当該電極間のガス圧をグロー放電を発生させるガス圧に保つクリーニングガス源４２等の手段と、両電極１１、１２間に直流電圧を印加してグロー放電８０を発生させるグロー放電電源６０とを備えている。かつ、所定時間内の電極１１、１２間の異常放電の発生回数Ｎを測定する異常放電測定器８４と、それで測定した異常放電の発生回数Ｎを用いてグロー放電電源６０の出力電流Ｉ_g を所定幅ずつ増減させる制御を行う電源制御器８６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
複数枚のスリット電極を有するイオン源において、電流量と制御性のバランスの取れたイオンビームの引出しを行う。
【解決手段】
この発明のイオン源１は、引出し電極系として複数枚のスリット電極７〜１０を有するイオン源１である。そして、スリット電極７〜１０は、開口部１５を有する電極枠体１４と開口部１５内に並設された複数本の電極棒１６とから構成されているとともに、イオン源１より発生されるイオンビーム２の進行方向に沿って最も上流側に位置するスリット電極５を構成する電極棒１６において、隣り合う電極棒１６間に形成されるスリット状開口部１７の形状がイオンビーム３の進行方向に沿って略テーパー状となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】エネルギー線照射システムにおいて、ワークに効率的にエネルギー線を照射できるようにしながらも、飛躍的なコンパクト化を可能とする。
【解決手段】エネルギー線ＩＢを所定の照射領域Ｐに向かって射出するエネルギー線射出機構と、前記エネルギー線ＩＢが照射される対象物である第１ワークＷ１を、前記照射領域Ｐを含む第１周回軌道Ｏ１に沿って周回させる第１周回機構１と、前記エネルギー線が照射される対象物である第２ワークＷ２を、前記照射領域Ｐ１を含む第２周回軌道Ｏ２に沿って周回させる第２周回機構２とを具備し、各周回軌道によって形成される仮想の周回面と垂直な方向から視たときに、前記第１周回軌道Ｏ１で囲まれる領域と前記第２周回軌道Ｏ２で囲まれる領域との少なくとも一部が重なるように構成した。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム引出し用電極の電極棒を交換する際の作業効率を改善する。
【解決手段】引出し用電極は、スリット状開口部４を有するスリット電極１により構成される。スリット電極１は電極枠体２および電極棒５より構成される。電極枠体２は一体構造であり、荷電粒子ビームを通過させる開口部３、及び溝状の電極支持部を有している。電極棒５は、開口部３を跨いで電極枠体２上に配列され、両端を電極支持部により支持されて、スリット状開口部４を形成する。 （もっと読む）

【課題】
スリット状開口部を形成する複数本の電極棒を交換する際の作業効率の改善されたスリット電極を提供する。
【解決手段】
この発明のスリット電極１は、開口部３を有する電極枠体２と、長手方向と交差する方向に沿って開口部３内に並設された複数本の電極棒５と、開口部３を挟んで各電極棒５の長手方向の端部を支持する複数の電極棒支持部７とを備えている。さらに、電極枠体２上に配置され、電極棒５が並設される方向に沿って複数の電極棒支持部７の上面を覆う蓋体６を備えていて、この蓋体６が電極棒支持部７の上面に配置された際、電極棒５の長手方向において電極棒支持部７に開放端部１３が形成されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】
プラズマの閉じ込め効率が改善されたプラズマ閉じ込め容器を提供する。
【解決手段】
プラズマ閉じ込め容器４は、容器外壁の表面から離間する方向に沿って一対の極性を有するカスプ磁場生成用の複数の永久磁石１２が互いに隙間を空けて容器外壁に沿って配置されたプラズマ閉じ込め容器４である。また、複数の永久磁石１２の少なくとも一部は隣り合う永久磁石同士のプラズマ閉じ込め容器４側の極性が同極性となる永久磁石組であって、プラズマ閉じ込め容器４内には、永久磁石組を構成する各永久磁石の一部と永久磁石組間に形成された隙間に亘って、プラズマ閉じ込め容器４の壁面を介して対向配置された磁性体１５が設けられている。
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【課題】 ビームモニタを構成するビーム検出器の不良をチェックする不良チェック方法を提供する。
【解決手段】 ビームモニタ１０をイオンビーム２の経路に入れてそれにイオンビーム２が入射している状態で、まず最初に、複数のビーム検出器１２の内の任意の１個のビーム検出器１２によってイオンビーム２のビーム電流を測定してそのビーム電流値を記憶手段に記憶し、その後、ビームモニタ１０をＸ方向にビーム検出器１２の間隔ずつ移動させて、最初の測定と同じ位置において、複数のビーム検出器１２の内の残りのビーム検出器１２によってイオンビーム２のビーム電流を順次測定してそのビーム電流値を記憶手段にそれぞれ記憶し、その後、記憶したビーム電流値同士をそれぞれ比較して、所定の許容範囲内から外れたビーム電流値があるか否かを判定し、外れたビーム電流値があれば当該外れたビーム電流値を測定したビーム検出器１２は不良であると判定する。 （もっと読む）