日新イオン機器株式会社により出願された特許

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【課題】イオンビーム照射装置において、安価かつ簡単な構成で、広範囲に渡って基板割れの検出を行う。
【解決手段】基板8の裏面と対向する面に1つ以上の開口部を有する基板支持部材9と、基板8を搭載した基板支持部材9を駆動させて、イオンビーム3の少なくとも一部が基板8上に照射される照射領域とイオンビーム3が基板8上に照射されない非照射領域に基板8を搬送する基板駆動機構と、基板8の下流側でイオンビーム3が照射される位置に配置されたビーム電流計測器11を備えたイオンビーム照射装置1で、照射領域内に基板8が搬送されているときに、ビーム電流計測器11によって計測されたビーム電流の計測値に基づいて、基板割れの有無を検出する。 (もっと読む)


【課題】エネルギー線照射システムにおいて、異なる寸法のワークに効率的にエネルギー線を照射できるコンパクトで低コストの搬送機構を実現する。
【解決手段】異なる寸法のワークW1、W2がそれぞれ搭載される第1、第2ワークホルダ31a、32aと、各々のワークホルダを各々のワーク授受領域とエネルギー線照射領域AR1との間で進退移動させる進退機構33と、互いに異なる位置に設けられた第1及び第2ワーク収容部21a、22aと、第1のワーク授受領域にある第1ワークホルダ31aと第1ワーク収容部21aとの間でワークW1を搬送する第1搬送アームと、第2のワーク授受領域にある第2ワークホルダ32aと第2ワーク収容部22aとの間でワークを搬送する第2搬送アームとを設けた。 (もっと読む)


【課題】 イオン源の引出し電極系を構成する電極の広い領域に亘って高速で堆積物を除去することができるクリーニング装置を提供する。
【解決手段】 引出し電極系10の相対向する二つの電極11、12間にクリーニングガス48を供給して当該電極間のガス圧をグロー放電を発生させるガス圧に保つクリーニングガス源42等の手段と、両電極11、12間に直流電圧を印加してグロー放電80を発生させるグロー放電電源60とを備えている。かつ、所定時間内の電極11、12間の異常放電の発生回数Nを測定する異常放電測定器84と、それで測定した異常放電の発生回数Nを用いてグロー放電電源60の出力電流Ig を所定幅ずつ増減させる制御を行う電源制御器86とを備えている。 (もっと読む)


【課題】
複数枚のスリット電極を有するイオン源において、電流量と制御性のバランスの取れたイオンビームの引出しを行う。
【解決手段】
この発明のイオン源1は、引出し電極系として複数枚のスリット電極7〜10を有するイオン源1である。そして、スリット電極7〜10は、開口部15を有する電極枠体14と開口部15内に並設された複数本の電極棒16とから構成されているとともに、イオン源1より発生されるイオンビーム2の進行方向に沿って最も上流側に位置するスリット電極5を構成する電極棒16において、隣り合う電極棒16間に形成されるスリット状開口部17の形状がイオンビーム3の進行方向に沿って略テーパー状となるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】電界の染み出し量を小さくして、イオン源より所望するイオンビームの引出しを容易に行うことのできるイオンビーム引出し用電極とこれを備えたイオン源を提供する。
【解決手段】イオン引出し用電極1は、中央に開口部3を有する電極枠体2と、開口部3内に少なくとも一方の端部が移動可能に支持されて、一方向に沿って互いに隙間を開けて並べられた複数のイオン引出し孔形成部材7とを有している。そして、イオン引出し孔形成部材7の少なくとも一つは、略棒状の本体部5と本体部5から延設された渡り部6とを有する構造体であって、1つのイオン引出し孔形成部材7を構成する渡り部6は隣りに配置された別のイオン引出し孔形成部材7に当接している。また、イオン源の構成としては、内部に陰極を備えたプラズマ容器に隣接して、上記のイオン引出し用電極1を少なくとも1枚以上備えている。 (もっと読む)


【課題】エネルギー線照射システムにおいて、ワークに効率的にエネルギー線を照射できるようにしながらも、飛躍的なコンパクト化を可能とする。
【解決手段】エネルギー線IBを所定の照射領域Pに向かって射出するエネルギー線射出機構と、前記エネルギー線IBが照射される対象物である第1ワークW1を、前記照射領域Pを含む第1周回軌道O1に沿って周回させる第1周回機構1と、前記エネルギー線が照射される対象物である第2ワークW2を、前記照射領域P1を含む第2周回軌道O2に沿って周回させる第2周回機構2とを具備し、各周回軌道によって形成される仮想の周回面と垂直な方向から視たときに、前記第1周回軌道O1で囲まれる領域と前記第2周回軌道O2で囲まれる領域との少なくとも一部が重なるように構成した。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子ビーム引出し用電極の電極棒を交換する際の作業効率を改善する。
【解決手段】引出し用電極は、スリット状開口部4を有するスリット電極1により構成される。スリット電極1は電極枠体2および電極棒5より構成される。電極枠体2は一体構造であり、荷電粒子ビームを通過させる開口部3、及び溝状の電極支持部を有している。電極棒5は、開口部3を跨いで電極枠体2上に配列され、両端を電極支持部により支持されて、スリット状開口部4を形成する。 (もっと読む)


【課題】
スリット状開口部を形成する複数本の電極棒を交換する際の作業効率の改善されたスリット電極を提供する。
【解決手段】
この発明のスリット電極1は、開口部3を有する電極枠体2と、長手方向と交差する方向に沿って開口部3内に並設された複数本の電極棒5と、開口部3を挟んで各電極棒5の長手方向の端部を支持する複数の電極棒支持部7とを備えている。さらに、電極枠体2上に配置され、電極棒5が並設される方向に沿って複数の電極棒支持部7の上面を覆う蓋体6を備えていて、この蓋体6が電極棒支持部7の上面に配置された際、電極棒5の長手方向において電極棒支持部7に開放端部13が形成されるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】
プラズマの閉じ込め効率が改善されたプラズマ閉じ込め容器を提供する。
【解決手段】
プラズマ閉じ込め容器4は、容器外壁の表面から離間する方向に沿って一対の極性を有するカスプ磁場生成用の複数の永久磁石12が互いに隙間を空けて容器外壁に沿って配置されたプラズマ閉じ込め容器4である。また、複数の永久磁石12の少なくとも一部は隣り合う永久磁石同士のプラズマ閉じ込め容器4側の極性が同極性となる永久磁石組であって、プラズマ閉じ込め容器4内には、永久磁石組を構成する各永久磁石の一部と永久磁石組間に形成された隙間に亘って、プラズマ閉じ込め容器4の壁面を介して対向配置された磁性体15が設けられている。
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【課題】 ビームモニタを構成するビーム検出器の不良をチェックする不良チェック方法を提供する。
【解決手段】 ビームモニタ10をイオンビーム2の経路に入れてそれにイオンビーム2が入射している状態で、まず最初に、複数のビーム検出器12の内の任意の1個のビーム検出器12によってイオンビーム2のビーム電流を測定してそのビーム電流値を記憶手段に記憶し、その後、ビームモニタ10をX方向にビーム検出器12の間隔ずつ移動させて、最初の測定と同じ位置において、複数のビーム検出器12の内の残りのビーム検出器12によってイオンビーム2のビーム電流を順次測定してそのビーム電流値を記憶手段にそれぞれ記憶し、その後、記憶したビーム電流値同士をそれぞれ比較して、所定の許容範囲内から外れたビーム電流値があるか否かを判定し、外れたビーム電流値があれば当該外れたビーム電流値を測定したビーム検出器12は不良であると判定する。 (もっと読む)


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