説明

アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社により出願された特許

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【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器などの被搬送物を、搬送する搬送システムにおいて、バーコードラベル等の識別マークを利用して制御を実行する際の実行位置や実行内容についての自由度を高める。
【解決手段】搬送システム(100)は、軌道(1)と、軌道に相互に間隔をおいて夫々付けられた複数の識別マークと、軌道に沿って走行して被搬送物を搬送すると共に、複数の識別マークのうち通過した識別マークを読み取る読取手段を有する搬送手段(3)と、軌道に沿った複数の識別マーク間に予め仮想的に夫々付けられた複数の仮想マークのうち、搬送手段が通過した仮想マークを、読み取られた識別マークに基づいて、特定する仮想マーク特定手段(10)と、特定された仮想マークに基づいて、搬送手段を制御する搬送制御手段(10)とを備える。 (もっと読む)


【課題】処理装置の処理能力をより十分に発揮できる。
【解決手段】製造装置(処理装置)には基板を収容した容器Fが搬入される(S1)。処理装置は、搬入された容器から基板を取り出し、基板に加工処理を施した後に、基板を容器に収容する。製造装置において基板が取り出された空の容器Fは、一旦小ストッカへと搬出される(S2)。そして、基板に加工処理が施されている間に製造装置へと次の容器Fが搬入される(S3、NO→S6、NO→S1)。一方、製造装置において基板の加工処理が終了すると(S3、YES)、小ストッカに一旦保管された空の容器Fが製造装置へと搬入される(S4)。製造装置において加工処理済みの基板が収容された容器Fは、製造装置から小ストッカへと搬出される(S5)。 (もっと読む)


【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器などの被搬送物を、カーブを含む軌道上で搬送する搬送装置において、カーブにある障害物との衝突を回避する。
【解決手段】搬送装置(20)は、カーブ用速度で走行すべきカーブした第1軌道区間、及び第1軌道区間に隣接し且つ第1軌道区間の上流側にあると共にカーブ用速度で走行すべき第2軌道区間を有する軌道に沿って、被搬送物を搬送する。搬送装置は、被搬送物が積載される積載部を有すると共に軌道上を走行する搬送手段(3)と、搬送手段が第2軌道区間に進入したか否かを判定する判定手段(6,10)と、第2軌道区間に進入したと判定された場合に、カーブ用速度で走行するように搬送手段を制御する走行制御手段(10)とを備える。 (もっと読む)


【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器などの被搬送物を、軌道上で搬送する搬送車において、渋滞を防止しつつ、効率よく走行する。
【解決手段】搬送車(3)は、走行時に、障害物を検知可能な第1検知手段(5)と、搬送車の存在を示す存在提示信号を、軌道(1)における本体部の後方に向けて発信する発信手段(8)と、軌道における本体部の前方に存在すると共に、前方走行車が備える発信手段と同一構成を有する発信手段から発信された存在提示信号を受信する受信手段(7)と、第1検知手段により障害物が検知された場合に、検知された障害物への衝突を避けるように搬送車の走行を制御し、存在提示信号が受信されたことを条件に、検知された障害物と搬送車との間の車間距離が、存在提示信号が受信されない場合より短くなるように、搬送車の走行を制御する走行制御手段(9)とを備える。 (もっと読む)


【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器などの被搬送物を、カーブを有する軌道上で搬送する搬送システムにおいて、搬送手段を自由に構成する。
【解決手段】搬送システム(100)は、軌道(1)と、軌道における所定の位置に付けられた補正マークと、軌道に沿って走行して被搬送物を搬送すると共に、所定の位置を通過する際に補正マークを読み取る読取手段(6)、及び軌道に沿って走行した走行距離を検出する距離検出手段(7)を有する搬送手段(3)と、読み取られた補正マークに基づいて、検出された走行距離を補正するための補正係数を取得する補正係数取得手段(5)と、取得された補正係数を用いて検出された走行距離を補正すると共に、補正された走行距離を補正距離として特定する補正距離特定手段(5)とを備える。 (もっと読む)


【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器などの被搬送物を、カーブを有する軌道上で搬送する搬送システムにおいて、障害物の衝突を防止しつつ、安定的に搬送する。
【解決手段】搬送システム(100)は、軌道(1)と、軌道に沿って走行すると共に、被搬送物を搬送する搬送手段(3)と、搬送手段に夫々取り付けられており、搬送手段の走行時に搬送手段及び被搬送物の少なくとも一部が接触する可能性のある障害物を、相異なる領域を検知領域として夫々検知可能な複数のセンサ(4)と、搬送手段の走行位置に応じて、複数のセンサのうち障害物の検知に使用される少なくとも一のセンサを選択する選択手段(6)とを備える。 (もっと読む)


【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容する荷を搬送する搬送車との間で、荷の出入庫が夫々行われる複数の保管庫が組み合わされてなる保管庫セットが軌道に沿って敷設される保管庫装置において、比較的簡単な構成を採用しつつ、効率良く荷を出入庫することを可能ならしめると共に、稼働率を高く維持する。
【解決手段】保管庫装置に備えられる保管庫10は夫々、荷3を水平一方向及び鉛直方向に往復移動可能な駆動手段11,13,14と、該駆動手段により移動される荷を収容又は載置可能な棚部分を、鉛直方向に複数段に渡って段毎に水平一方向に一又は複数有する棚15とを備える。保管庫装置は、少なくとも複数の保管庫のうち一又は複数の保管庫からなるグループ毎に出入庫を制御すると共に相互に補完制御可能に夫々構成されている複数のコントローラを備える。 (もっと読む)


【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するFOUP等の被搬送物を搬送する搬送車に対して、各種制約を考慮しつつ、簡単な構成により識別手段及び障害物検知手段を配置する。
【解決手段】側面の下端側に識別タグ(12)を有する被搬送物(10)を搬送する搬送車(20)は、下方及び一側方に夫々開いている本体部(20a)と、識別タグが一側方を向いた状態にある被搬送物を上下移動可能である上下移動手段(21)と、識別タグが一側方を向いた状態にある被搬送物を水平移動可能である水平移動手段(22)と、識別タグを読み取る識別手段(23)と、識別手段を、本体部における一側方の下端側に取り付ける取付手段(24)と、本体部における一側方の上端側に取り付けられており、識別手段及び取付手段の脇を介して、下方に存在する障害物を検知する障害物検知手段(25)とを備える。 (もっと読む)


【課題】装置全体の重量を抑制しつつ比較的簡易に被搬送物の昇降を制御する。
【解決手段】昇降用モータ26が回転軸15を回転させると、その駆動力を駆動力伝達機構30が昇降体4へと伝達し、昇降体4を昇降させる。昇降体4はリニアスライダ18を有しており、各棚91との間でカセット95を般出入する。回転軸15にはウォームホイール102が固定されている。ウォームホイール102にはウォーム101が噛み合っており、ウォーム用モータ103がウォーム101を回転させることができる。昇降体4を昇降させる際には、ウォームホイール102の回転に応じてウォーム用モータ103がウォーム101を回転させる。昇降体4を保持させる際には、ウォーム101及びウォームホイール102がセルフロックすることにより、昇降体4の重量を保持する。 (もっと読む)


【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するFOUP等の荷の入出庫が、OHT等の搬送車との間で行われる保管庫において、簡単な構成により効率良く荷を出入庫する。
【解決手段】保管庫10は、内部が複数段に分断されていると共に、荷3を出し入れ可能な出入口H1,H2が、複数段のうちの一の段に設けられている本体部と、本体部内に、複数段の各々において、荷を夫々載置可能である複数の載置部と、本体部内における出入口H1,H2に隣接する内部出入位置を含む鉛直空間内で上下移動可能であると共に、複数段の各々において、鉛直空間に隣接する一の載置部との間で荷が移載される上下移動手段12と、本体部外における出入口H1,H2に隣接する外部出入位置に配置されており、内部出入位置にある上下移動手段12との間で、且つ本体部外に敷設された搬送手段30との間で、荷が移載される入出庫ポートP1,P2とを備える。 (もっと読む)


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