【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の荷の入出庫が、ＯＨＴ等の搬送車との間で行われる保管庫において、簡単な構成により効率良く荷を出入庫する。
【解決手段】保管庫１０は、内部が複数段に分断されていると共に、荷３を出し入れ可能な出入口Ｈ１，Ｈ２が、複数段のうちの一の段に設けられている本体部と、本体部内に、複数段の各々において、荷を夫々載置可能である複数の載置部と、本体部内における出入口Ｈ１，Ｈ２に隣接する内部出入位置を含む鉛直空間内で上下移動可能であると共に、複数段の各々において、鉛直空間に隣接する一の載置部との間で荷が移載される上下移動手段１２と、本体部外における出入口Ｈ１，Ｈ２に隣接する外部出入位置に配置されており、内部出入位置にある上下移動手段１２との間で、且つ本体部外に敷設された搬送手段３０との間で、荷が移載される入出庫ポートＰ１，Ｐ２とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えば搬送車との間で、半導体素子製造用の各種基板を収容する荷の入出庫が行われる保管庫において、効率良く荷を出入庫する。
【解決手段】保管庫（１０）は、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、荷（３）を出し入れ可能な出入口が、複数段の各々に且つ軌道（１）に沿って一列に並ぶように、軌道に沿った一側面に設けられている本体部と、本体部内に、複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、荷を夫々収容又は載置可能であると共に相互間で荷を水平移動可能に夫々構成されている複数の載置部（２１）と、本体部の外側において出入口に隣接する位置に夫々配置された複数の入出庫ポート（１１）と、複数段の各々において、出入口に隣接する一の載置部と入出庫ポートとの間で出入口を介して荷を水平移動可能な外内移動手段（１２）とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の被搬送物において、耐久性を有する構成により、搬送手段から把持手段及びフランジを介して本体部に伝わる振動を安定して抑制する。
【解決手段】搬送車（１）により搬送されると共に該搬送車に設けられた把持手段（２ａ）により把持される被搬送物（１００）は、本体部（１１）と、把持手段により把持されるフランジ（１２）と、フランジ及び本体部の間に配置され、搬送車から把持手段及びフランジを介して本体部に伝わる振動を吸収する吸振手段（１３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えばビークル等の搬送車との間で、半導体素子製造用の各種基板を収容する荷の入出庫が連続して行われる保管庫において、簡単な構成で効率良く荷を入出庫する。
【解決手段】保管庫（１０）は、筐体（１０ａ）と、筐体内に配置され且つ一の荷（３）及び他の荷（３）を載置可能であり、（ｉ）筐体の外壁に設けられた一の出入口を介して筐体の内側並びに外側間で水平移動可能に構成されており、該外側へ移動された際に搬送車（２）から一の荷が縦載置により載置される入庫ポートとして機能する一の棚部分及び（ｉｉ）一の棚部分よりも上方に位置しており、筐体の外壁に設けられた他の出入口を介して、他の荷が搬送車へ横移載により取り出される出庫ポートとして機能する他の棚部分を含む、上下方向に配列された複数の棚部分（１５）と、一の棚部分を外側及び内側へ選択的に水平移動させる外内移動手段（２１）とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数のベルトを巻き取ったり繰り出したりする構成が簡易に実現する。
【解決手段】吊り下げベルト２１４ａ〜２１４ｄによって荷を把持する把持機構２１５が吊り下げられている。吊り下げベルト２１４ａ〜２１４ｄを巻き取りドラム２２４ａ〜２２４ｄが巻き取ったり繰り出したりすることにより、把持機構２１５が昇降される。巻き取りドラム２２４ａ〜２２４ｄはいずれも回転軸部材２２３に固定されており、１つの駆動モータ２２１が回転軸部材２２３を回転させることにより、全てのドラムが回転する。 （もっと読む）

【課題】例えばビークル等の搬送車との間で、半導体素子製造用の各種基板を収容する荷の入出庫が連続して行われる保管庫において、簡単な構成により効率良く荷を入出庫する。
【解決手段】保管庫（１０）は、一の荷（３）及び他の荷を載置可能であり、入庫ポートとして機能する一の棚部分を上側に含む上下方向に配列された複数の棚部分（１５）と、一の荷及び他の荷を夫々支持可能な載置部（１１）を、複数の棚部分の相互間で移動可能であると共に、入庫ポートの上方であって搬送車（２）の下方の空間に設定されており且つ棚部分が存在しない仮想出庫ポート及び複数の棚部分間で移動可能である駆動手段（１９）と、入庫時に、仮想出庫ポートから載置部を退避させるように駆動手段を制御し、出庫時に、仮想出庫ポートに、他の荷を載置している載置部を移動させるように駆動手段を制御する制御手段（２０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】被搬送物が正常に載置されないことを抑制する。
【解決手段】被搬送物を懸垂状態で搬送する場合、被搬送物を載置ポートへと降下させる際に揺れが生じやすい。そこで、被搬送物を把持した把持部を降下させ（Ｓ２）、載置ポート上に被搬送物が載置されると、把持部の降下を停止する（Ｓ３）。載置ポート側からのＬ＿ＲＥＱ信号がオン状態である、つまり、被搬送物が正常に載置されていないと判定した場合（Ｓ４、ＮＯ）、その状態が所定の時間保持されたとき（Ｓ１０、ＹＥＳ）には、リトライ動作を実行する。すなわち、把持部を一旦上昇させ（Ｓ１１、Ｓ１２）、その後再び把持部を降下させる（Ｓ２、Ｓ３）。 （もっと読む）

【課題】電力供給システムの設置の際に必要な工数が抑制される。
【解決手段】軌道１００側の給電ユニット１１０は、磁心１１７Ｌ及び１１７Ｒ、並びに、これらの磁心に巻かれたコイル１１１Ｌ及び１１１Ｒを有している。コイル１１１Ｌ及び１１１Ｒに電流を流すことで、対向レール部１１５及び１１６間に磁界を発生させることができる。一方、搬送台車２００側の受電ユニット２１０は、磁心２１２及び磁心２１２に巻かれたコイル２１１を有している。搬送台車２００が軌道１００に沿って走行すると、対向レール部１１５及び１１６間を受電ユニット２１０が通過する。このとき、磁心２１２を通る磁束の時間変化によってコイル２１１に誘導起電力が生じる。これによって、受電ユニット２１０が給電ユニット１１０から電力供給を受ける。 （もっと読む）

【課題】軌道の傾斜領域を滑らないように走行する搬送台車を簡易な構成で実現する。
【解決手段】軌道１１０は水平な領域と傾斜した領域とを有している。軌道１１０の傾斜領域にはラック１１１が敷設されている。搬送台車１２０は、車輪１２２ｆとピニオン１２４とを有している。車輪１２２ｆ及びピニオン１２４は、車軸１２３ｆを介して駆動モータ１２５によって駆動される。搬送台車１２０は、軌道１１０上の水平領域においては、車輪１２２ｆで走行し、ピニオン１２４は軌道１１０の底面１１０ａから離隔している。一方で、軌道１１０の傾斜領域においては、ピニオン１２４をラック１１１と咬み合わせつつ、ピニオン１２４と一方の車輪１２２ｆとで走行する。 （もっと読む）

【課題】半導体素子製造用の各種基板を収容する荷を一時的に保管する保管庫において、簡単な構成により効率良く荷を出入庫或いは保管庫内搬送する。
【解決手段】搬送車２との間で荷３の出入庫が行われる保管庫１０は、荷を搬送車から又は搬送車へ移載可能であるポートと、荷を収容又は載置可能な複数の棚部分１５と、荷を、複数の棚部分及びポート間並びに複数の棚部分の相互間で移動可能な駆動手段と、複数の棚部分からポートへ荷を移動させる場合、先ず、複数の棚部分のうちの一つである仮出庫用棚部分へ移動させ、仮出庫用棚部分に一旦収容又は載置した後に、仮出庫用棚部分から荷をポートへ移動させるように駆動手段を制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）