説明

アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社により出願された特許

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【課題】半導体素子製造用の各種基板を収容する荷を軌道に隣接した位置で一時的に保管する保管庫を複数組み合わせてなる保管庫セットおいて、工場等内に安定に配置でき、簡単な構成により効率良く荷を出入庫或いは保管庫内搬送する。
【解決手段】保管庫セット10xを構成する複数の保管庫は夫々、荷を水平一方向に往復移動可能であると共に鉛直方向に往復移動可能な駆動手段と、駆動手段により移動される荷を収容又は載置可能な棚部分を、鉛直方向に複数段に渡って段毎に水平一方向に一又は複数有する棚とを備える。保管庫セットは、複数の保管庫に対し保管庫セットに組み合わされた状態で相互間の連結及び固定を行うことで複数の保管庫の転倒を防止すると共に、連結及び固定を解除可能である転倒防止手段80を備える。 (もっと読む)


【課題】半導体素子製造用の各種基板を収容する荷を一時的に保管する保管庫において、簡単な構成により効率良く荷を出入庫或いは保管庫内搬送する。
【解決手段】搬送車2との間で荷3の出入庫が行われる保管庫10は、荷を搬送車から又は搬送車へ移載可能であるポートと、荷を収容又は載置可能な複数の棚部分15と、荷を、複数の棚部分及びポート間並びに複数の棚部分の相互間で移動可能な駆動手段と、複数の棚部分からポートへ荷を移動させる場合、先ず、複数の棚部分のうちの一つである仮出庫用棚部分へ移動させ、仮出庫用棚部分に一旦収容又は載置した後に、仮出庫用棚部分から荷をポートへ移動させるように駆動手段を制御する制御手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】フロア間における搬送効率を向上させると共に、レイアウトの自由度を高める。
【解決手段】1階及び2階の2つのフロア間で昇降可能な搬送ケージ34、44をそれぞれ有する第1及び第2リフタ装置30、40を備えている。第1及び第2リフタ装置30、40は、第1収容領域34a、44a及び第2収容領域34b、44bをそれぞれ有している。第1及び第2収容領域34a、44a、34b、44bは、いずれも1つのキャリア2を収容可能な領域である。また、各フロアには、該フロアに設置された第1ストッカ3又は第2ストッカ4の搬入ポート3a又は4a、搬出ポート3b又は4bと、搬送ケージ34、44の第1収容領域34a、44a及び第2収容領域34b、44bとの間でキャリア2の移載を行うローダ20がそれぞれ設けられている。 (もっと読む)


【課題】半導体素子製造用の各種基板を収容する荷を、軌道に隣接した位置で一時的に保管するストッカ等の保管庫、特にこのような保管庫を複数組み合わせてなる保管庫セットおいて、軌道に沿った小さいスペースにも配置可能であり、メンテナンスが容易であり、簡単な構成により効率良く荷を出入庫すること或いは効率良く保管庫内搬送する。
【解決手段】複数の保管庫10が組み合わされてなる保管庫セット10xであって複数の保管庫は夫々、荷3を水平一方向に往復移動可能であると共に鉛直方向に往復移動可能な駆動手段と、該駆動手段により移動される荷を収容又は載置可能な棚部分を、鉛直方向に複数段に渡って段毎に水平一方向に一又は複数有する棚15とを備える。複数の保管庫は、水平一方向が揃うように且つ荷の出入庫用のポートが一列に並ぶように配列されている。 (もっと読む)


【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するFOUP等の荷を一時的に保管するストッカ等の保管庫において、簡単な構成により効率良く荷を出入庫すること或いは効率良く保管庫内搬送する。
【解決手段】保管庫(10)は、荷(3)を支持可能な支持部(11)と、支持部を水平一方向に往復移動可能な水平駆動部(13)と、載置部を鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動部(14)と、支持部が鉛直駆動部により到達可能な鉛直方向の複数段に、水平駆動部により到達可能な水平位置に一又は二つ以上ずつ設けられると共に、支持部との間で荷を相互に移載可能に夫々構成されている複数の載置面を有する棚(15)とを備える。複数の載置面の少なくとも一つは、荷の出入庫用のポートとして機能する。 (もっと読む)


【課題】半導体素子製造用の各種基板を収容するFOUP等の荷を、軌道に隣接した位置で一時的に保管するストッカ等の保管庫において、軌道に沿った小さいスペースにも配置可能であり、メンテナンスが容易であり、簡単な構成により効率良く荷を出入庫する或いは保管庫内搬送する。
【解決手段】軌道1上で荷を搬送する搬送車2との間で荷の出入庫が行われる保管庫10は、荷を水平一方向に往復移動可能であると共に鉛直方向に往復移動可能な駆動手段と、駆動手段により移動される荷を収容又は載置可能な棚部分を、鉛直方向に複数段に渡って段毎に水平一方向に複数有する棚とを備える。棚は、軌道の方位に対して水平一方向の方位が直交するように、軌道に対して配置される。 (もっと読む)


【課題】搬送効率を低下させることなく、モータの焼きつきを防止する。
【解決手段】4つの走行ユニット4〜7は、走行駆動輪を駆動する駆動モータ12、及び駆動モータ12を駆動するドライバ30をそれぞれ備えている。ドライバ30は、駆動モータ12の負荷状態を判別する判別回路を備えている。そして、ドライバ30は、判別回路によって駆動モータ12が過負荷状態であると判別された場合には、無人搬送車1全体を制御する車両制御部20に備えられたトルク制限部27への警告信号の送信を開始し、過負荷状態が解消されたと判別されると、警告信号の送信を停止する。トルク制限部27は、警告信号を受信している間は、該警告信号を送信したドライバ30に対して、駆動モータ12のトルクを所定の第2閾値以下に制限するトルクリミット信号を送信する。 (もっと読む)


【課題】搬送システムにおいて、簡単な構成で、確実に搬送車同士が衝突してしまうことを防止する。
【解決手段】搬送システムは、合流箇所を有する軌道(100)と、軌道を夫々走行する複数の搬送車(210、220)と、搬送車の走行方向を基準として、軌道のうち少なくとも合流箇所の手前にある二つの軌道部分の各々の左側の縁に設けられた左部及び右側の縁に設けられた右部を有し、二つの軌道部分の一方における左部及び他方における右部間並びに一方における右部及び他方における左部間で、信号を伝達可能な伝達手段(310、320)とを備える。搬送車は、信号を右部及び左部の一方を介して送信する送信手段(410、420)、並びに信号を右部及び左部の他方を介して受信する第1受信手段(510、520)及び信号を右部及び左部の一方を介して受信する第2受信手段(610、620)を備える。 (もっと読む)


【課題】移載装置による被搬送物の移載先である載置ポートにおける障害物の有無をより確実に検出する。
【解決手段】無人搬送車がカセットを移載する製造装置の前で停止すると(S1)、該製造装置のINポートに設けられたリミットスイッチが該INポートにおけるカセットの有無を検出する(S2)。リミットスイッチによってカセットが検出されなかった場合には(S3:NO)、無人搬送車に設けられたセンサが該INポートにおけるカセットの有無を検出する(S5)。そして、センサによってカセットが検出されなかった場合には(S6:NO)、移載装置によって、無人搬送車に積載されたカセットのINポートへの移載が行われる(S8)。 (もっと読む)


【課題】搬送システムにおいて、被搬送物を識別しつつ、効率的な搬送を行う。
【解決手段】搬送システムは、軌道部100と、軌道部100上で荷500を搬送する搬送車200と、搬送される荷500が一時的に保管される保管場所600における荷500の存否を検出可能な検出手段310と、荷500に対し所定種類の識別処理を実行可能な識別手段320と、命令に応じて存否を検出するように検出手段310を制御し、荷500が存在すると検出された場合に識別処理を実行するように識別手段320を制御する制御手段1000とを備える。 (もっと読む)


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