【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板などを搬送する搬送車が、クリーンルーム内を走行する搬送システムにおいて、走行レールをビークル等の搬送車が走行する際に発生する塵を、確実に或いは効率的に清掃するようにする。
【解決手段】搬送システム（１００）は、クリーンルーム内に敷かれた走行レール（１）と、走行レールを走行可能であり、被搬送物を搬送するためのビークル（２）と、走行レールの所定箇所に設けられ、ビークルを清掃するための清掃部（３）と、定期又は不定期に、ビークルが清掃部を走行するように、ビークルを制御する走行制御部（５）とを備える。 （もっと読む）

【課題】床面上を所定の走行ルートに従って走行する従来の無軌道型の無人搬送車では，磁気テープなどを用いて誘導を行っていたため，磁気の広がりなどによって走行制御の精度に限界があった。
【解決手段】走行ルートに沿って連設された光学的マークを撮像するための撮像手段と，各光学的マークと，基準となる光学的マークとの位置関係を確認すると共に，最新の画像に含まれる上記位置関係が確認された光学的マークの当該画像上の位置に基づいて，現在の車体の走行位置を検出する走行位置検出手段と，上記基準となる光学的マークに対して位置関係が定められた光学的マークのうち，少なくとも上記所定の走行ルートに沿った光学的マークに対して設定された教示走行位置と，上記走行位置検出手段により検出された現在の車体の走行位置とに基づいて，車体の走行制御を行う無人搬送車。 （もっと読む）

【課題】搬送システムが多数の装置を含んでいても、装置の設置位置変更を行なったときの搬送システムの立上げ、搬送システムの変更時に要する工数および時間を抑制できること
【解決手段】軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取るＯＨＴ搬送台車１において、基準画像記憶部は基準画像を記憶する。バーコード検出部３３は、レール１０に付されたバーコード２５を検出する。走行距離測定部は、バーコード２５からの走行距離を測定する。走行指示部は、走行距離が予め決められた距離となったときに、当該ＯＨＴ搬送台車１を停止させる。ＣＣＤカメラ２は、ＯＨＴ搬送台車１が停止したときに、レール１０を含む画像を撮像する。停止位置判定部は、基準画像記憶部から読み出した基準画像とＣＣＤカメラ２が撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する。 （もっと読む）

【課題】気流の影響によらず、容易に搬送物を載置位置に載置する。
【解決手段】走行機構１７がレール１１に沿ってポート４３上に移動する。昇降機構１３が懸垂ベルト１４を繰り出すことによって、ＦＯＵＰ２１が降下する。距離センサ３１が降下距離を測定し、ＦＯＵＰ２１が位置決めピン２３近傍まで降下したと判断した場合、風向風速センサ２５が水平方向に関する風向及び流速を測定し、重量センサ３０がＦＯＵＰ２１の重量を測定する。次に、ズレ量記憶部が参照されて位置ズレ量が推定され、この位置ズレ量に基づいて、水平移動機構１２によって昇降機構１３が水平方向に移動する。そして、再度昇降機構１３が懸垂ベルト１４を繰り出すことによって、ＦＯＵＰ２１は降下して、ＦＯＵＰ２１の位置決めピン２３と位置決め穴とが重ね合う。 （もっと読む）

【課題】収納能力を高める。
【解決手段】一方向に伸延する保管棚２において、その伸延方向に直交する方向に沿って、保管物９が載置される載置領域を２つ設ける。保管物９は、その下面における保管棚２の伸延方向両側を支持された状態で保管棚２に載置される。保管棚２とポート３との間で保管物９の移載を行うスタッカ装置４は、保管棚２の伸延方向と直交する方向に沿って進退可能なハンド４７を有している。載置された保管物９の下面と当接するハンド４７の当接面の進退方向に沿う長さは、保管棚２においてハンド４７の進退方向に沿って設けられる２つの載置領域に跨る長さ以上である。ハンド４７は、当接面が当該２つの載置領域のうち、スタッカ装置４側に位置する載置領域と鉛直方向に重なる位置まで前進する状態と、当該２つの載置領域の両方と鉛直方向に重なる位置まで前進する状態とを取り得る。 （もっと読む）

【課題】コンベアを停止させることなくＦＯＵＰを移送する。
【解決手段】このストッカ１は、製造過程にあるＦＯＵＰ２を搬送するコンベア３に隣接して配置される。このストッカ１は、コンベア３上を移動するＦＯＵＰ２を摘出し、且つ、コンベア３上にＦＯＵＰ２を載置するピックアップロボット４０と、ＦＯＵＰ２の搬入用及び搬出用のポート３０と、ＦＯＵＰ２を保管する棚１０ａ及び１０ｂと、ポート３０に載置されるＦＯＵＰ２を棚１０ａ又は１０ｂに移送し、且つ、棚１０ａ又は１０ｂに保管されるＦＯＵＰ２をポート３０に移送するスタッカクレーン２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】一時的に棚部を退避させる場合であっても再設置後の被搬送物の載置位置のティーチング作業を必要としない。
【解決手段】被搬送物が所定の載置位置に載置される棚部３０と、軌道や天井に上端が支持された支柱１０とを有している。棚部は支柱１０の下端に支持されている。支柱１０は、上支柱１１と下支柱１２とからなり、上支柱１１が前記軌道又は天井に支持された状態で下支柱１２を上支柱１１から分離できるように、上支柱１１と下支柱１２とが接続されている。 （もっと読む）

【課題】コストを低減し、省スペースを実現する。
【解決手段】ストック１は、収納用フープ２０と複数のパージユニット５０と測定用フープ３０とスタッカクレーン６０とを備えている。収納用フープ２０は、内部に半導体ウェハを収納している。測定用フープ３０は、内部に流量計を備えている。パージユニット５０は、収納用フープ２０が載置される複数のパージ台からなるパージ棚５１を備えており、パージ台上に載置された収納用フープ２０内に窒素ガスを供給する。スタッカクレーン６０は、パージ台へ収納用コンテナ２０を搬送するとともに、複数のパージ台同士の間で測定用フープ３０を搬送する。 （もっと読む）

【課題】搬送装置に搬送物を搬送させる前の準備作業である位置合わせを多大な時間をかけることなく簡易に行う。
【解決手段】フープを把持する把持機構にフープを介してマーカーを固定する（Ｓ１）。ここでマーカーは、先端のインク付着部が下方に位置し、フープの下面に形成された位置決め穴と水平方向に関して所定の位置関係を有するように固定される。次に、把持機構を下降させ、フープの載置台上にマーカーで位置合わせマークを形成する（Ｓ５）。そして、位置決め穴に対応する位置決めピンが固定されたテーブルを、位置決めピンが位置合わせマークに対して上記所定の位置関係を有するように、載置台上に固定する（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】搬送台車の走行方向前方にある障害物の検知、及び搬送台車の下方にある障害物の検知を低コストで実現する。
【解決手段】搬送台車２０に、搬送台車２０の走行方向前方に位置する前方監視領域及び下方に位置する下方監視領域を含む領域をスキャニングすることができるセンサ３０を設ける。そして、選択部は、搬送台車２０が走行している際には、センサ３０によるスキャニング領域のうち前方監視領域を選択し、搬送台車２０が搬送物であるＦＯＵＰ８０の回収作業又は載置作業を行っている際には、下方監視領域を選択する。監視部は、選択部によって選択された監視領域内の障害物を監視する。 （もっと読む）