【課題】２つの軌道を接続する接続軌道を短くする。
【解決手段】接続軌道１３には、その幅方向他方側（図２中左方）に設けられており、その伸延方向に延びる方向制御ガイド１５と、その幅方向一方側（図２中右方）に設けられており、その伸延方向に関して方向制御ガイド１５と離隔領域を隔てて離隔していると共に、その伸延方向に沿って延びる方向制御ガイド１７とが設けられている。搬送台車３０が順方向（図２中矢印で示す方向）に走行する際において、走行ユニット４０が有するガイドローラ４２、４４の方向制御ガイド１５による案内が解除された後に、当該走行ユニット４０のガイドローラ４１が、方向制御ガイド１７に案内される位置まで当該走行ユニット４０をシフトさせるシフト動作を行う。係るシフト動作の最中に、ガイドローラ４２と当接する当接面１８ａを有する順シフトガイド１８を設ける。 （もっと読む）

【課題】処理装置からの処理済み物品の引取、ならびに処理装置への未処理物品の支給を行う時間を極力短縮化することによって、半導体処理装置などの遊休時間を短縮し処理効率の向上を図った物品搬送システムを提供することである。
【解決手段】複数の搬送台車１３、ストッカ１４、走行路、及び処理済み物品引取制御手段と未処理物品支給制御手段とから構成される搬送台車制御手段２６を備え、上記処理済み物品引取制御手段は、処理装置１５から物品の処理が終了するまでの予測時間を受信する予測時間受信手段と、当該予測時間が所定時間に達したら、物品の搬送が可能な搬送台車１３のうち、処理装置１５に最も早く到着する一の搬送台車１３を、キャリア２０の引取を行う引取台車に指定する引取台車指定を行う引取台車選定手段とを有し、上記引取台車に、キャリア２０の引取処理を指令することを特徴とする物品搬送システム。 （もっと読む）

【課題】カセットとカセット収納棚との間に滑り磨耗が発生するのを防止する。
【解決手段】この搬送台車１の台座１１に取り付けられる車輪１４の近傍には、油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂが設けられている。この油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂは、カセット棚装置４側に配置される一対の前方ジャッキ３０ａと、一対の前方ジャッキ３０ａのカセット棚装置４の反対側に配置される一対の後方ジャッキ３０ｂとから構成されている。そして、一対の前方ジャッキ３０ａ及び一対の後方ジャッキ３０ｂをジャッキ制御部により制御することによって、前方ジャッキ３０ａを後方ジャッキ３０ｂより高位置に保持して、車体部１０を傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】被搬送物を移載するための機構が設けられていない中継バッファを介して、その上面に被搬送物を載置して軌道上を走行する台車と、その下端において被搬送物を把持し、軌道に懸垂された状態で走行する台車との間で、被搬送物の受け渡しを行う
【解決手段】グリッパ４７によりＦＯＵＰ３５を把持したＯＨＴ搬送台車１６は、中継バッファ５に対向する位置において昇降ベルト４６によりグリッパ４７を降下させ、棚板２１ａ、２１ｂの上面に跨るようにＦＯＵＰ３５を載置する。ＯＨＳ搬送台車８は、中継バッファ５に対向する位置において昇降テーブル６４を上昇させて棚板２１ａ、２１ｂの間を通過させることによってその上面にＦＯＵＰ３５を載置し、その後、中継バッファ５に対向しない位置まで移動させてから昇降テーブル６４を降下させることにより、ＦＯＵＰ３５をＦＯＵＰ載置台６０に載置する。 （もっと読む）

【課題】搬送台車の停止位置補正教示工数を極限まで削減することができる被搬送物保管システムを提供する。
【解決手段】天井に敷設されたレール５２０ａ〜５２０ｆに沿ってＯＨＴ搬送台車３００がＦＯＵＰを把持して走行する。レール５２０ａ〜５２０ｆ下方に被搬送物保管棚２００が設けられる。レール５２０ａ〜５２０ｆに複数のマスターバーコードが所定の間隔で貼着される。被搬送物保管棚２００には、複数のキネマティックピンを有する位置決めプレートが複数枚配設され当該個々の位置決めプレートが所定の間隔で貼着された個々のマスターバーコードとの間で相対的に配置される。一の位置決めプレートの座標と、相対的に配置された一のマスターバーコードに基づいて停止したＯＨＴ搬送台車３００のグリッパの座標との誤差量が補正装置に記録され、制御手段が他の被搬送物保管棚またはマスターバーコードに展開する。 （もっと読む）

【課題】保管棚および移送手段から保管容器が落下するのを確実に防止する。
【解決手段】保管棚システム１は、次工程の処理を受けるために待ち時間が生じたシリコンウエハを収納したＦＯＵＰ１０を入出庫させるシステムである。そして、スタッカロボット２２によりＦＯＵＰ１０が保管棚２１に入庫される場合には、保管棚２１の外周キネマティックピン２１ａは、ＦＯＵＰ１０の外周ピン窪み１１ｄに侵入することにより、スタッカロボット２２の内周キネマティックピン２３ａとＦＯＵＰ１０のロック爪１６との係合を解除するとともに当該係合が解除されたロック爪１６に係合する。また、スタッカロボット２２によりＦＯＵＰ１０が保管棚２１から出庫される場合にはスタッカロボット２２の内周キネマティックピン２３ａは、ＦＯＵＰ１０の内周ピン窪み１１ｅに侵入することにより、保管棚２１の外周キネマティックピン２１ａとＦＯＵＰ１０のロック爪１６との係合を解除するとともに当該係合が解除されたロック爪１６に係合する。 （もっと読む）

【課題】天井付近に敷設された軌道を走行して収納容器を搬送するＯＨＴにおいて用いられる収納容器を一時的に保管する一時保管棚装置であって、収納容器の識別情報の目視確認や、保管棚からの収納容器の摘出を容易に実行できる一時保管棚装置を提供する。
【解決手段】天井付近に敷設された軌道に沿って走行する懸垂式昇降搬送装置により搬送される被搬送物を一時的に保管し、軌道に沿った位置に設置される一時保管棚装置であって、被搬送物を載置する棚手段と、被搬送物を載置した状態で棚手段を昇降させる昇降手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】物品の収納能力を増強させつつ、搬送台車による搬送時間を少なくする。
【解決手段】収納空間１には、互いに平行に４つの収納棚２３が配列され、隣接する収納棚２３の間にレール２５が敷設されている。移載ロボット２４は収納棚２３及び収納ポート３２との間でキャリア１８の受け渡しを行うとともに、レール２５に沿って移動して収納棚２３と収納ポート３２との間でキャリア１８を搬送する。昇降台６は収納ポート３２及び搬入出ポート２６との間でキャリア１８の受け渡しを行うとともに、天井５を貫通して鉛直方向に移動して収納ポート３２と搬入出ポート２６との間でキャリア１８を搬送する。ＯＨＴ搬送台車１７は、搬入出ポート２６及び半導体製造装置との間でキャリア１８の受け渡しを行うとともに、工程内軌道１３に沿って移動して搬入出ポート２６と半導体製造装置との間でキャリア１８を搬送する。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ安価な構成により収納効率を向上させることができ、タイプを問わずに適用することができる作業用足場及び物品収納棚を提供すること。
【解決手段】所定のスペースを挟んで互いに対向配置される一対の収納部２を有する物品収納棚１に設けられる作業用足場構造２０であって、前記一対の収納部２の対向する側にそれぞれ設けられ、前記スペースを挟んで水平方向に平行に延びて対をなすレール２１と、前記レール２１を走行可能な複数の足場部材２２と、前記スペースの開放端２６の外部近傍に設けられ、前記複数の足場部材２２を収容する収容部３０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パーティクル等を発生させることなく被搬送物を収納装置に収納する。
【解決手段】カセットを水平移動させる移送装置と、カセットを昇降させる荷台とを備えた搬出入装置によりカセットを搬入出可能に保管する棚ユニットにおいて、搬出入装置により載置位置の上方まで水平移動された後に下降されることによって、載置位置にカセットが載置される桟と、カセットを桟に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる、水平移動方向に移動自在なスライド部材２０とを備えている。 （もっと読む）