説明

有限会社NAS技研により出願された特許

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【課題】 対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集装置と物質捕集方法とそれに用いる回収ヘッドとを提供しようとする。
【解決手段】
従来の基板を液滴で処理する物質捕集装置にかわって、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面の一部に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと、物質を取り込むことをできる液体を貯留できる回収液ボトルと、前記液体を前記第一開口から噴き出させる液送り機器と、前記第二開口から吸い込んだ液体を前記回収液ボトルに戻す液戻し機器と、を備えるものとした。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で、基板の表面を液滴で処理する基板処理方法と基板処理装置とを提供する。
【解決手段】円形の仮想線に沿って設けられた開口から気体を噴き出し可能になった治具10と前記治具10の内部での内部圧力を検出する圧力センサとを準備し、基板5の表面の直交方向から基板5を見て基板5の表面に付着した液滴を前記開口で囲う様に前記治具10を保持して前記開口から噴き出した気体を基板5の表面に吹き付けながら前記内部圧力と特定圧力値との差圧を小さくする様に前記治具10の基板5の表面の直交方向に沿った位置を調整し、基板5の表面の直交方向から基板を見て基板の表面に付着した液滴を前記開口で囲う様に前記治具10を保持して前記開口から噴き出した気体を基板の表面に吹き付けながら前記治具10を基板の表面に沿って相対移動させる。 (もっと読む)


【課題】 基板の表面に付着する液滴から水分を飛ばす液滴乾燥方法を提供しようとする。
【解決手段】
従来の基板を液滴で処理する液滴乾燥方法にかわって、開口に連通した窪みを形成し前記開口の周囲を囲う輪状の縁部を持ち前記開口を基板の表面に対面させ基板の表面に付着した液滴を前記窪みで覆って基板の表面に付着した液滴に接触しない様に支持され雰囲気を基板の表面と前記縁部との隙間から吸引し前記窪みの奥から外へ排出できる様になった液滴保持治具を準備する準備工程と、前記窪みの中の気体を前記窪みの奥から外へ排出する排気工程と、前記液滴保持治具を支持して基板の表面と前記縁部との離間距離を所定の距離に維持する支持工程と、を備えるものとした。 (もっと読む)


【課題】 簡易な構成で、基板の表面を液滴で処理する基板処理方法と基板処理装置と液滴保持治具とを提供しようとする。
【解決手段】
従来の基板を液滴で処理する基板処理方法にかわって、環状の開口を形成され前記開口から気体を噴き出すことをできる治具を準備する準備工程と、基板の表面に液滴を付着させる付着工程と、基板の表面の直交方向から基板を見て基板の表面に付着した前記液滴を前記開口で囲う様に治具を保持して前記開口から基板の表面に気体を吹き付けながら前記治具を基板の表面に沿って相対移動させる走査工程と、を備える、ものとした。 (もっと読む)


【課題】 簡易な構成で、室内に設置され科学機材を用いることをできるドラフトチャンバーを提供しようとする。
【解決手段】
従来のドラフトチャンバーにかわって、側部に外側から科学機器にアクセスするための主開口部を設けられた作業空間と下方に向いた上部開口部を持ち前記主開口部より上方に位置する上部空間と上方に向いた下部開口部を持ち前記主開口部より下方に位置する下部空間とを形成する主構造体と、前記主開口部を閉止および開放でき互いの間に隙間空間を形成する二重扉と、室内の雰囲気を前記作業空間に案内する第一案内機材と、前記作業空間の中から気体を排気する第一排気機材と、前記下部空間の中から気体を排気する第二排気機材と、を備えるものとした。 (もっと読む)


【課題】 基板を検査する目的で基板に液滴を付着させてた後でその液滴を回収するための回収治具と基板処理装置と基板処理方法とを提供しようとする。
【解決手段】
従来の基板を検査する目的で基板に液滴を付着させ相対移動させるための基板処理装置にかわって、液滴を貯留可能な内部空間と該内部空間と下端部に位置する開口とを連通する貫通孔とを設けられ上下方向に沿った軸心を持つ筒状部を有する回収治具と、前記内部空間から露出した液滴を基板に付着させた状態で前記回収治具を基板の面に沿って相対移動させることをできる移動機構と、を備え、前記開口の大きさが所定の量の液滴を前記内部空間に貯留させて前記回収治具を宙に支えた際に液滴が前記開口から垂れるが落ちない寸法をもつものとした。 (もっと読む)


【課題】 簡易な構造と方法とで測定精度をより向上させることのできる基板処理装置と基板処理方法とを提供しようとする。
【解決手段】
従来基板を処理する基板処理方法にかわって、基板の面に対向する開口部と前記開口部に連通した内部空間とをもつ気相分解治具を用意する気相分解治具準備工程と、基板の酸化膜を溶解可能な第一溶液の蒸気である第一蒸気を前記内部空間に案内する第一蒸気案内工程と、基板の母材を溶解可能な第二溶液の蒸気である第二蒸気を前記内部空間に案内する第二蒸気案内工程と、を備えるものとした。 (もっと読む)


【課題】 簡易な構成で、室内に設置され科学機材を用いることをできるクリーンドラフトを提供しようとする。
【解決手段】
従来の室内に設置され科学機材を用いるためのクリーンドラフトにかわって、科学機材を収納可能な作業空間の下側を覆う作業面を形成する下部構造を有する架台と、前記作業空間の側部と上部とを覆い横側に前記作業空間と室内とを連通可能な開口部を設けられたフードと、前記開口部を各々に閉止しまたは開放することをでき間に隙間空間を挟んだ二重扉と、室内の雰囲気を前記作業空間の中に案内する吸気配管系と、前記作業空間の中の気体を排気する第一排気配管系と、前記隙間空間の中の気体を排気する第二排気配管系と、を備えるものとした。 (もっと読む)


【課題】 簡易な構造と方法とで測定精度をより向上させることのできる基板処理装置と基板処理方法とを提供しようとする。
【解決手段】
従来の本発明に係る基板を検査するために基板に液滴を付着させて移動させる基板処理装置にかわって、基板の面に付着した液滴に上方から接することをできる接触部を持つ保持治具と、保持治具を基板の面の上で相対移動させることをできる移動機構と、上下方向に長尺な部材であり下部開口から上部開口に向かって拡がる断面を持った空間を設けられたノズルと上部開口に連通される吐出口を持つシリンダとピストンとを有する液滴取り扱い機構と、を備え、移動機構が基板の面に付着した液滴に接触部を上側から接した保持治具を基板の面に沿って移動させた後で、移動機構が保持治具を所定の位置で上方へ移動させてから、中空空間を空にしたノズルの下部開口を所定の位置の面の近傍に位置させてピストンを直動させる、ものとした。 (もっと読む)


基板検査装置を、基板を保持面で保持して回転させる基板回転機器と、ベースに回転自在に支持されたディスク本体と該ディスク本体の上側に固定され回転方向へ傾斜した傾斜面で構成されたカム面を形成する3個のリフトカムとを有するディスクと、基板を乗せる支持面を持ち上下方向に移動自在に案内されたリフタ本体と該リフター本本の下側へ突起して各々固定されたリフター従動節とを有するリフターと、を備え、前記リフ
ター従動節の下側が前記カム面に摺動自在に各々の接触点で当接し、前記接触点が前記傾斜面の上側に移動すると前記支持面が前記保持面よりも高くなる、ものとした。この構成により、測定精度をより向上させることのできる基板検査装置と基板検査方法、及び基板の外面に液滴を付着させて外面に沿って移動させるのに好適な基板検査装置と基板検査方法と回収治具とを提供できる。 (もっと読む)


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