【課題】より短時間で被検査部材の壁面等の欠陥の検査が可能な欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】投光用光ファイバと受光用光ファイバとを用い、前記投光用光ファイバの出射面と前記受光用光ファイバの入射面が一定の距離を保つように対向させて配置するとともに、前記投光用光ファイバから出射する検出光を透過する被検査部材を前記投光用光ファイバの出射面と前記受光用光ファイバの入射面との間に配置し、前記投光用光ファイバの出射面及び前記受光用光ファイバの入射面を前記被検査部材の表面に沿って前記被検査部材に対して相対的に移動させ、前記投光用光ファイバの出射面から出射されて前記被検査部材を透過して前記受光用光ファイバの入射面に入射された検出光の強度の変化に基づいて前記被検査部材の欠陥を判定する。 （もっと読む）

【課題】より短時間で内周壁面の欠陥の検査が可能な欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】投光用光ファイバから出力されて内周壁面にて反射して受光用光ファイバに入力された検出光の強度に応じた電圧信号に変換する信号変換手段と、信号変換手段から出力される電圧信号を、予め設定した第１基準電圧にシフトするとともに電圧信号のうねり成分を除去する帰還部を有する帰還制御手段と、帰還制御手段から出力される電圧信号を、予め設定された第２基準電圧にシフトさせる電圧シフト手段と、電圧シフト手段から出力される電圧信号において、波高値が第１所定電圧以上の電圧信号に対しては増幅し、波高値が第１所定電圧未満の電圧信号に対してはカットあるいは減衰させる折れ線状増幅手段と、折れ線状増幅手段から出力される電圧信号において、波高値が第２所定電圧以上の信号を欠陥と判定する判定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】より短時間で内周壁面の欠陥の検査が可能な欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】略円柱状空間の軸方向に沿って当該円柱状空間内に挿入される検出パイプと制御装置とを備える。検出パイプの先端に受光用光ファイバの入射面を、円柱状空間の内周壁面に対向するように配置する。投光用光ファイバの出射面を受光用光ファイバの入射面と隣接するように且つ同一方向となるように配置する。制御装置は、投光用光ファイバの入射面に光を入力し、円柱状空間の軸方向に沿って挿入された検出パイプを、受光用光ファイバの入射面及び投光用光ファイバの出射面の各々から対向する円柱状空間の内周壁面までの距離を一定に保つように、円柱状空間の内周壁面の円周方向に沿って相対的に回転または軸方向に沿って相対的に往復させ、受光用光ファイバの出射面から出力される検出光に基づいて円柱状空間の内周壁面の欠陥を判定する。 （もっと読む）