【課題】ＳｉＧｅ層をエッチングする際に、Ｓｉ層の増速エッチングを防止できるように
した半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｓｉ基板上にＳｉＧｅ層を形成する工程と、ＳｉＧｅ層上にＳｉ層を形成する工程と、Ｓｉ層とＳｉＧｅ層とを部分的にエッチングして、ＳｉＧｅ層の側面を露出させる溝を形成する工程と、溝を介してＳｉＧｅ層をエッチングすることによって、Ｓｉ基板とＳｉ層との間に空洞部を形成する工程と、を含み、空洞部を形成する工程では、Ｓｉ基板に対して例えばフッ硝酸溶液を用いたエッチング処理と、純水を用いた水洗処理とを交互に繰り返し行う。 （もっと読む）

【課題】新規な架橋ポリマー及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の架橋ポリマーは、分岐構造を有するポリマーと、マトリックスポリマーを架橋させたポリマーである。ここで、限定されるわけではないが、分岐構造を有するポリマーは、デンドリティックポリマーであることが好ましい。また、限定されるわけではないが、マトリックスポリマーは、ポリベンズオキサゾール、ポリイミド、ポリエーテルスルホン、またはポリエーテルケトンを含むことが好ましい。本発明の架橋ポリマーの製造方法は、末端がスルホニルクロライド基またはスルホニルブロミド基である、分岐構造を有するポリマーと、マトリックスポリマーを架橋し、スルホニルクロライド基またはスルホニルブロミド基からスルホン酸基への官能基変換を行う方法である。また、本発明の架橋ポリマーの製造方法は、末端がスルホン酸基である、分岐構造を有するポリマーと、マトリックスポリマーを架橋する方法である。 （もっと読む）

【課題】低コストで、水素発生量が従来より多く、しかも安定して長期間にわたって得ることができる水素製造方法を得ることができる。
【解決手段】反応管１１の内部に金属酸化物１３を加熱機構１４をもつガス流路中に取り付け、水素吸蔵（還元）時には、２個の水素ボンベ１６の一方を混合器１８に導入し、水素ボンベ１６の他方を水タンク２０にバブリングさせた後混合器１８に導入して、混合器１８において水素と水とが所定の割合で混合された混合ガスを得、この混合ガスを、電磁弁１５を介して反応管１１入口に一定の流量で流す。水素放出（酸化）時には、反応管１１入口に設けた電磁弁１９を介して水を、窒素ボンベ１７から窒素ガスを水タンク２０にバブリングすることにより供給する。 （もっと読む）

【課題】低い電圧で大きな被吸着力が得られ、被吸着物の表面粗さを吸収できる静電誘導吸着具及び静電誘導吸着方法を提供する。
【解決手段】静電誘導により被吸着物を吸着する静電誘導吸着具において、糸状の誘電材１２内に並置された複数本の導電線１４ａ，１４ｂを有する静電誘導糸１０と、導電線間に静電場を発生する電源と、を備え、電源により導電線間に静電場を発生し、静電誘導により静電誘導糸の表面付近で被吸着物を吸着する。 （もっと読む）

【課題】研究分野における論文や研究者のネットワークに注目して、統合的な情報をユーザに支援する研究は行われているが、研究分野に注目し分野を超えて俯瞰図的さらに部分的な各分野の構成の状況や、各研究分野間の関係、時系列的な構成の状況を、統合的にユーザに提供することはできなかった。
【解決手段】複数ユーザから入力される構造知識とそれに付随する定義知識、それらをフィルタリングした情報から、ウインドウ比較表示、階層化構造表示、ネットワーク分析情報表示、差分グラフ表示、エゴセントリックネットワーク表示、クリーク表示などの各表示装置を利用することで得られる俯瞰図的な構造知識、部分的構造知識、時系列的構造知識を複数人により構築し共有することで比較を可能にする。 （もっと読む）

【課題】低コストで、長期間、多量の、しかも安定した水素発生と酸化（貯蔵）とが可能である水素製造方法を得ることができる。
【解決手段】還元工程においては、鉄材１３を含有する反応管１１に水素１６を導入し、液体マスフローメータ２５により発生した水の総重量を読み取り過還元になる手前で酸化環境に切り替える。酸化工程においては、鉄材１３を含有する反応管１１に水を注入し、ガスマスフローメータ２８により発生する水素ガスの総流量を読み取り、水分が過剰に投入される手前で還元環境に切り替える。 （もっと読む）

【課題】ＭＩＭＯ技術を中継ノードに適用することにより、高速な伝送レートと高い信頼性を有する無線ネットワークを構築できるようにした、ＭＩＭＯメッシュネットワークを提供する。
【解決手段】複数の中継ノードを有し、各中継ノードは、複数のアンテナを有するとともに、各中継ノード間に無線リンクを張ることにより、無線ネットワークを構築するＭＩＭＯメッシュネットワークであって、ＭＩＭＯマルチプルアクセスとＭＩＭＯブロードキャストを交互に連結した構成となっており、被干渉・与干渉回避を実現するとともに、各中継ノードに前向き無線リンクに加えて後向き無線リンクを多重伝送することにより、ネットワーク全体の周波数利用効率を改善する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート廃材から再生骨材を取り出す過程において排出される廃セメント微粉末を用いて、純度の高い合成炭酸カルシウムを製造する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の廃セメント微粉末を用いた合成炭酸カルシウムの製造方法は、廃セメント微粉末を塩酸溶液に溶解させ、不溶不純物を沈殿させて除去する第１の工程と、第１の工程で得られた溶液にアンモニア水を滴下し、溶液のｐＨを２．０〜３．０に調整することにより、溶液中の金属イオンを水酸化物として沈殿させて除去する第２の工程と、第２の工程で得られた溶液に炭酸ガスを導通させる、又は、溶液に炭酸アンモニウム水溶液を滴下することにより炭酸カルシウムを析出させる第３の工程からなる。 （もっと読む）

【課題】生体内で医療用として使用することが可能で、無害な磁性ナノ粒子を提供する。
【解決手段】強磁性粒子コアに、アパタイトを被覆させる場合に、強磁性粒子コア表面にレピドクロサイト含有層を形成させ、そのレピドクロサイト含有層の上にアパタイト層を形成させることにより、強磁性粒子コアの周囲に十分な量のアパタイト層を形成することが可能である。それによって、強磁性粒子コアの金属イオンが生体成分と直接接触することを防ぎ、金属イオンが生体の体液中に溶出することがなく、生体親和性の高いアパタイト被覆磁性ナノ粒子を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】電波資源をできるだけ無駄なく活用しつつ交差偏波通信の２重化を行うことができるアンテナおよびそれを用いた通信システムの実現。
【解決手段】アンテナは、４個の導波管スロットアレーアンテナを、それらの開口面を同一方向に向けて２行２列の田の字状に配列し、各アンテナの偏波面は行方向および列方向で隣り合うアンテナ間では直交し、使用周波は行間又は列間で異なるようにし、このアンテナを無線局間で対向させて設け、一方の無線局が送信アンテナとして用いる周波数の異なる２つのアンテナの偏波面と他方の無線局が受信アンテナとして用いる周波数の異なる２つのアンテナの偏波面とが使用周波数毎に同じであり、他方の無線局が送信アンテナとして用いるアンテナと一方の無線局が受信アンテナとして用いるアンテナについても同様であるように送信装置および受信装置を接続する。 （もっと読む）