【課題】本発明は、工程チャンバと真空ポンプの間に位置し、低圧プラズマを生成して工程チャンバから排出される汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】プラズマ反応器３１０は、内部にプラズマ生成空間を形成する少なくとも１つの誘電体３０と、誘電体３０の少なくとも一端に連結する接地電極４１，４２と、誘電体３０の外周面に固定され、交流電源部６０と連結して交流駆動電圧が印加される少なくとも１つの駆動電極５０と、を含み、接地電極４１，４２は、プラズマ反応器３１０の長さ方向に沿って非均一直径を有する。 （もっと読む）

【課題】導電性メッシュを透明電極内部に埋設することによって導電性メッシュが透明電極から突出しなくなり、これによって透明電極の接触性能を向上させる一方、導電性メッシュが透明電極から分離しないようにする透明電極の導電性メッシュ埋設方法を提供する。
【解決手段】ＰＤＭＳ材質の伝達部１２０に導電性メッシュＭを付着する段階と、伝達部１２０を基板Ｓ上の透明電極Ｅに加圧密着させる段階と、伝達部１２０を透明電極Ｅから分離することで導電性メッシュＭが伝達部１２０から分離する一方、透明電極Ｅから突出しないように透明電極Ｅに埋設されるようにする段階と、を含む、透明電極の導電性メッシュ埋設方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は燃料を予熱して排気ガスと混合することにより、排気ガス内の粒子状物質を効果的に酸化させて除去するプラズマバーナ及び煤煙濾過装置を提供する。
【解決手段】プラズマバーナ５００は、排気管の内部に設置される反応炉５１０と、反応炉５１０の内部に設置される電極５２０とを含み、電極５２０と反応炉５１０の内壁との間でプラズマ放電を発生させる。反応炉５１０は、反応炉５１０内部に流入する燃料を排気ガスと混合し、混合気体を反応炉５１０と電極５２０の間に誘導するように、排気ガスを供給する排気ガス流入口５３３を含み、火炎噴出口は、反応炉５１０の他の側に形成され混合気体のプラズマ放電による火炎ＦＬを噴出する。排気ガス流入口５３３側には、排気ガス流入口５３３の直径よりも大きい直径に拡張形成され、排気ガス流入口５３３に排気ガスを誘導するガイド部材５４０が備えられている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、溶湯表面に安定した保護被膜を形成することで大気中あるいは一般の不活性雰囲気下でも溶解や鋳造が可能となり、発火抵抗性に極めて優れていてチップの自然発火を抑制できるのみならず、優れた強度と軟性を併せ持つマグネシウム合金に関する。本発明に係るマグネシウム合金は、７．０重量％〜１１．０重量％のＡｌと、０．０５重量％〜２．０重量％のＣａと、０．０５重量％〜２．０重量％のＹと、０重量％超過６重量％以下のＺｎと、残部としてのＭｇ、及びその他不可避な不純物とを含み、前記ＣａとＹとの合計含量は、前記マグネシウム合金の全重量に対して０．１重量％以上２．５重量％未満であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】発火抵抗性に優れ、且つ優れた強度と軟性を併せ持つマグネシウム合金が提供される。本発明に係るマグネシウム合金は、１．０重量％〜７．０重量％のＡｌ、０．０５重量％〜２．０重量％のＣａ、０．０５重量％〜２．０重量％のＹと、０重量％超過及び６.０重量％以下のＺｎと、残部としてのＭｇ、及びその他不可避な不純物を含み、前記ＣａとＹとの含量は、前記マグネシウム合金の全重量に対して０．１％〜２．５％であることを特徴とする。本発明に係るマグネシウム合金は、保護被膜として働く緻密な複合酸化層を形成することで極めて優れた耐酸化性及び発火抵抗性を示し、大気中や一般の不活性雰囲気（Ａｒ、Ｎ₂）下で溶解、鋳造及び加工が可能となり、機械加工工程の際に堆積するチップの自然発火を抑制することができる。 （もっと読む）

本発明は、連続的に供給される基板にインプリント工程を実行するインパクトプリントタイプのホットエンボシング装置に関し、より詳細には、連続的に基板を供給する基板供給部と、前記基板を加熱し、加熱された基板にドット形態またはライン形態でインパクトしてインプリント工程を実行するインプリント部とを含んで構成されることを特徴とする、インパクトプリントタイプのホットエンボシング装置に関する。
このような本発明は、既存のドットプリンタあるいはラインプリンタにおける印刷方式を採用したホットエンボシング装置であり、微細な探針または微細形状が刻まれた印刷ヘッド方式の機構を利用して基板上にパターンを形成する。
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本発明は、印刷用紙を自動的に供給して回収する自動供給機が一体に備えられることによって量産性を高められるようにした、印刷用紙自動供給機を有する印刷装置に関する。
本発明は、ベースと、移動ステージと、印刷用紙自動供給機と、印刷ロールと、を備える。移動ステージは、ベースに沿って直線移動が可能であり、その上面には印刷パターンが形成された平版が載置される。印刷用紙自動供給機は、移動ステージに設置される。印刷用紙自動供給機は、印刷用紙を供給するアンワインディングロールと、印刷用紙を回収するアンワインディングロールと、印刷用紙が前記移動ステージの印刷領域を通過するように案内する複数の案内ロールと、を備えている。印刷ロールは、ベースに設置され、平版の印刷パターン内に凹入された印刷インクを移動ステージ上に位置する印刷用紙に転写印刷する。
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本発明は、圧電素子の中心部で音圧が集中することなく広い面積に渡って均一な音圧が発生するようにし、被洗浄物に損傷を与えずに洗浄効率を高めることができる超音波精密洗浄装置に関する。本発明の超音波精密洗浄装置は、被洗浄物に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、セラミック体およびセラミック体の上部および下部にそれぞれ蒸着した上部電極、下部電極を備えて超音波を発生させる圧電素子と、圧電素子の端部に結合して被洗浄物と対向するように備えられ、圧電素子で発生する超音波を被洗浄物に伝達する超音波伝達体と、ハウジングと、電源線と、を含む超音波洗浄装置であって、圧電素子または超音波伝達体の中心には垂直ホールが形成される。
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【課題】構造が非常に簡便でありながらも、工作物を立体加工することができる３Ｄ可変型加工システムを提供する。
【解決手段】本発明の３Ｄ可変型加工システムは、地面から離隔して配置される支持フレーム１０と、支持フレーム１０に回動可能に設けられる円形の回動フレーム２０，３０と、回動フレーム２０，３０の円周上でスライド可能に設けられるスライド部材４０，５０と、スライド部材４０，５０に垂直に設けられ、回動フレーム２０，３０に沿って旋回できるように設けられる主軸６０とを含んで構成される。 （もっと読む）