【課題】液晶ディスプレイ用ガラス基板等の被研磨物について初期から加工数を重ねていっても研磨後の被研磨物の品質に影響を与える表面形状を変化させることなく、これにより一定の研磨品質を維持することができ、さらに、被研磨物の品質に影響のある保持面の表面平坦性が向上し、大型で極薄の被研磨物であっても研磨中にはこれを堅固に保持することができ、かつ、研磨後は安全かつ容易に剥がすこともできる片面研磨用保持材の製造方法を提供する。
【解決手段】発泡層と緻密な発泡による表面部分を有する樹脂シートを湿式成膜法により製造する工程と、表面に凸部を有する加熱可能なディンプルロールに樹脂シートを供給して樹脂シートの緻密な発泡による表面部分を圧接させることにより、樹脂シートを構成する材料の流動開始温度以上で熱成形加工する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被研磨物のスクラッチの発生を大幅に抑制できる研磨布を提供する。
【解決手段】発泡層を有するシート状の精密研磨用の研磨布であって、バフィング加工がされておらず、発泡層における顔料の含有量が１０質量％以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 不織布に熱可塑性ポリウレタンを湿式凝固させたあといろいろな後加工を施し硬度をあげることが提案されているが、十分な硬度まで達成できなく研磨評価も満足できるものではなかった。
【解決手段】 本発明の研磨用クロスは、不織布に樹脂が含浸された研磨用クロスであり、その室温でのＳｈｏｒｅＡ硬度が９０以上であり、その室温乾燥状態のＳｈｏｒｅＡ硬度と室温湿潤状態のＳｈｏｒｅＡ硬度との硬度差が小さく、湿潤状態においてのＳｈｏｒｅＡ硬度との硬度差が小さい研磨用クロスにより解決しうる。 （もっと読む）